070207-光学

精密光机系统装调，检测
衍射光学元件设计

2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位
1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位

   

2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任
2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长
2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员

   

（1） 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析，光学学报，2011，第1作者
（2） 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计，光学精密工程，2008，第1作者

   

（1） 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究，主持，国家级，2012-01--2014-12
（2） 高NA浸没光学系统关键技术研究，参与，国家级，2009-01--2013-12