基本信息
王丹  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: wangdan@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
集成电路光刻技术 光学精密检测

教育背景

2008-09--2010-07   北京理工大学   光学工程 硕士
2004-09--2008-07   北京理工大学   电子科学与技术 学士

工作经历

   
工作简历
2019-02~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2017-11~2019-01,同方华光系统科技有限公司, 光学工程师
2015-09~2017-10,深圳中科飞测有限公司, 光学工程师
2011-07~2015-09,中国科学院微电子研究所, 光学工程师
2010-07~2011-06,中国科学院光电技术研究所, 光学工程师

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 一种样品形貌测量装置及方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN111649693B

( 2 ) 晶圆轮廓图的构造方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN111089539B

( 3 ) 用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN110908249B

( 4 ) 用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN110967943B

( 5 ) 对准信号数字化同步解调方法及装置, 发明专利, 2021, 第 8 作者, 专利号: CN111077743B

( 6 ) 样品表面位置在线定位测量装置及其漂移监测方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113358569A

( 7 ) 真空兼容的平面光学元件调整装置, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113359261A

( 8 ) 光学器件调整装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113176645A

( 9 ) 带密闭设计及光电信号无失真的光电探测装置及实现方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112539833A

( 10 ) 一种反射式样品形貌测量装置及方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111982020A

( 11 ) 一种基于空间分光的形貌测量装置及方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111678460A

( 12 ) 一种用于精密运动控制的反演抗积分饱和方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111624870A

( 13 ) 用于EUV真空环境中的光电转换电子学装置及光刻机, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN110967944A

( 14 ) 反射式光学系统及其装调测试方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110941075A

( 15 ) 一种垂向调整装置, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104390605A

( 16 ) 一种调焦调平传感器测量装置, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104181777A

( 17 ) 一种光学精密系统的对准装置, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103955124A

出版信息

   
发表论文
(1) 调焦调平传感器增益系数工艺相关性研究, Gain Coefficient Process Dependency of Focusing and Leveling Sensor, 光学学报, 2022, 第 2 作者
(2) 用于光刻调焦调平的反射式投影光学系统设计, Design of Reflective Projection Optics Used in Lithographic Focusing and Leveling System, 光学学报, 2020, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 离轴对焦技术研究与部件开发, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
( 2 ) 光刻精密对焦技术研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2020-12
( 3 ) 浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估, 参与, 国家任务, 2012-01--2014-12

指导学生

现指导学生

张肖依  硕士研究生  080300-光学工程