微细加工装备是信息化时代的关键设备，技术要求高，研制难度大，其电控系统尤为复杂。本研究领域包括微细加工装备照明、工件台、对准、检焦等关键单元技术以及微细加工装备整机电控所涉及高速、高精度电控系统关键技术研究。