080903-微电子学与固体电子学

红外MEMS器件

2002-09--2008-01   中国科学院上海技术物理研究所   理学博士
1993-09--1996-09   中国科学院上海技术物理研究所   理学硕士
1987-09--1991-07   成都科技大学   理学学士

   

1996-09~2011-07,中国科学院上海技术物理研究所, 研究实习员/助理研究员/副研究员
1991-07~1993-09,成都铝材厂, 技术员/工程师

   

（1） 国防科学技术进步奖, 三等奖, 部委级, 2008
（2） 航空科学技术奖励, 三等奖, 院级, 2008
（3） 上海市科学技术进步奖, 三等奖, 省级, 2003
（4） 中国科学院科技进步奖, 二等奖, 部委级, 1999

（ 1 ） 用于硅腐蚀的四甲基氢氧化铵腐蚀液及制备方法, 发明, 2004, 第 2 作者, 专利号: ZL200410017032.9
（ 2 ） 一种用于硅各向异性腐蚀的装置, 发明, 2004, 第 2 作者, 专利号: ZL200410017033.3

   

[1] 马文超, 张涛, 马斌. 电阻阵列型红外景象仿真系统的设计与实现. 红外与激光工程[J]. 2010, 383-388, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34603440.

[2] 马斌, 梁平治, 陈世军, 程正喜. 基于热电堆结构的微型热传导真空传感器. 真空科学与技术学报[J]. 2009, 218-223, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29785279.

[3] 陈世军, 马斌. 电阻阵列红外景像产生器瞬态响应优化. 航空科学技术[J]. 2008, 36-40, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=4000168393.

[4] 陈世军, 马斌. 金属布线结构对电阻阵列辐射均匀性的影响. 激光与红外[J]. 2008, 38(7): 668-670, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27694977.

[5] 马斌, 梁平治, 陈世军, 程正喜. 硅基热电堆真空传感器的制造技术. 微细加工技术[J]. 2008, 23-27, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=28225549.

[6] 马斌. 硅基热电堆真空传感器的耦合场有限元分析. 纳米技术与精密工程. 2008, 
[7] 肖云鹏, 马斌, 梁平治. 国产电阻阵列动态红外景像投射器研制进展. 红外技术[J]. 2006, 28(5): 266-270, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=22109816.

[8] 肖云鹏, 马斌, 梁平治. 电阻阵动态红外景象投射器单元电路研究. 科学技术与工程[J]. 2006, 6(14): 2116-2118, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=22433981.

[9] Bin Ma, Pingzhi Liang, Junjie Si, Erzhu Chen, Shijun Chen, Xuemin Zhang, Yi Ding. An Improved CMOS-compatible Bulk-silicon-micromachined Microemitter for Dynamic Infrared Scene Projector. 2006, http://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=0&CurRec=1&recid=&FileName=IEEE200610002186&DbName=IPFD9914&DbCode=IPFD&yx=&pr=&URLID=&bsm=.

[10] 蔡小五, 马斌, 梁平治. 微机械非制冷红外热电堆探测器. 红外技术[J]. 2005, 27(1): 34-38, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=11479027.

[11] 司俊杰, 马斌. 10％TMAH硅湿法腐蚀技术的研究. 微细加工技术[J]. 2004, 39-44, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10222496.

[12] []. 国产MOS电阻阵列动态红外景像产生器新进展. 2010年全国光电技术学术交流会论文集――红外与激光工程 2010年39卷增刊. 

   

（ 1 ） 256x256元MOS电阻阵列红外图像转换器, 主持, 国家级, 2007-07--2011-09

已指导学生

肖云鹏  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

程正喜  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邓若汉  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈柳炼  硕士研究生  077303-微电子学与固体电子学  

张志浩  硕士研究生  077303-微电子学与固体电子学  

白涛  硕士研究生  077403-微电子学与固体电子学