基本信息
金春水  男  博导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: jincs@sklao.ac.cn
通信地址: 长春市东南湖大路3888号
邮政编码: 130033

研究领域

紫外-极紫外成像光学
紫外-极紫外光学薄膜技术
超高精度光学检测

招生信息

紫外-极紫外光学设计 
紫外-极紫外光学薄膜
光学检测
招生专业
070207-光学
招生方向
光学设计,光学薄膜,光学检测

教育背景

2000-09--2003-06   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   博士学位
1987-09--1990-03   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   硕士学位
1983-09--1987-06   浙江大学   学士学位
学位
1987年于浙江大学光学仪器工程学系获学士学位;
1990年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获硕士学位;
2003年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获博士学位。

工作经历

1990-04--今 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

课题组简介

   
学科方向
         金春水研究员为国家科技重大专项02专项总体专家组专家,应用光学国家重点实验室极紫外光刻光学技术(EUVL, Extreme Ultra-Violet Lithography)研究方向的学术带头人,该方向继承并发展了本室在短波光学领域的特色学科优势。以极紫外/软X射线多层膜技术为根基,辐射带动了极紫外光源、极紫外光学元件检测、极紫外光学系统集成等其他极紫外成像技术发展,历时十余年,形成了极紫外光学的应用技术基础。
        极紫外光刻是极紫外光学的重要应用领域,工作波长为13.5nm,适用于特征尺寸为16nm及其以下数代超大规模集成电路光刻工艺。
        学科组在02国家重大科技专项的牵引下(极紫外光刻关键技术研究项目,研究经费合计2.1亿),以突破制约我国极紫外光刻发展的核心光学技术为目标,系统开展了关键技术研究,内容涵盖超高精度光学元件检测技术、膜厚控制达原子量级的极紫外多层膜技术、光学元件无应力支撑技术及衍射极限极紫外光学系统设计集成等技术。
        目前极紫外光刻各项单元关键技术得到了长足发展,为我国极紫外光刻机样机研制奠定了较为坚实的技术基础和人才基础。

专利与奖励

   
专利成果
[1] 于杰, 张旭, 金春水. 光学系统的自由曲面优化方法、装置和计算机存储介质. CN: CN113204113A, 2021-08-03.
[2] 张海涛, 刘钰, 王鹍, 毕春利, 金春水. 一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法. CN: CN110842658B, 2021-03-30.
[3] 姚舜, 刘铭恩, 李春, 邓文渊, 金春水. 一种多层膜的制备方法及多层膜. CN: CN112578480A, 2021-03-30.
[4] 喻波, 郭涛, 金春水. 磁控溅射方法、装置、设备及可读存储介质. CN: CN112522671A, 2021-03-19.
[5] 毕然, 周烽, 王辉, 王丽萍, 金春水. 一种六自由度调整转台的控制方法. CN: CN110968118B, 2021-01-05.
[6] 吴越, 王丽萍, 金春水. 一种光学系统薄膜分析方法、设备及存储介质. CN: CN110703564B, 2021-01-05.
[7] 王鹍, 张海涛, 于杰, 金春水. 一种激光动态干涉仪. CN: CN110823088B, 2020-11-03.
[8] 于杰, 张海涛, 金春水. 非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质. CN: CN110487211B, 2020-07-24.
[9] 李强, 周烽, 王辉, 王丽萍, 金春水. 一种多自由度位移平台控制解耦方法及装置. CN: CN111077774A, 2020-04-28.
[10] 李渊明, 王辉, 周烽, 金春水. 一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置. CN: CN111015577A, 2020-04-17.
[11] 毕春利, 张海涛, 郭本银, 金春水. 一种沥青抛光盘制备装置. CN: CN110977801A, 2020-04-10.
[12] 毕然, 周烽, 王辉, 王丽萍, 金春水. 一种复杂机电系统的辨识控制方法和系统. CN: CN110989357A, 2020-04-10.
[13] 毕春利, 张海涛, 郭本银, 金春水. 一种抛光垫辅助粘贴装置. CN: CN110900416A, 2020-03-24.
[14] 李强, 周烽, 王辉, 王丽萍, 金春水. 一种控制系统及设计方法. CN: CN110879532A, 2020-03-13.
[15] 郭涛, 喻波, 金春水. 一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法. CN: CN110850520A, 2020-02-28.
[16] 邓文渊, 李春, 金春水, 姚舜. 一种深紫外波段宽带分束薄膜膜层的制备方法. CN: CN108169827B, 2020-02-14.
[17] 郭本银, 毕春利, 金春水. 一种柔性控制研磨抛光用磨头. CN: CN110732970A, 2020-01-31.
[18] 周烽, 王辉, 王丽萍, 李渊明, 金春水. 一种六自由度运动平台的控制系统. CN: CN110501958A, 2019-11-26.
[19] 苗亮, 刘钰, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 基于零位补偿系统的被检非球面镜的装配方法及装置. CN: CN106598084B, 2019-11-22.
[20] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种极紫外多层膜及其制备方法. CN: CN106338882B, 2019-11-05.
[21] 王辉, 周烽, 王丽萍, 李渊明, 金春水. 一种磁悬浮支撑装置. CN: CN110376707A, 2019-10-25.
[22] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春. 一种减反射膜的制备方法及大角度入射减反射膜. CN: CN106772710B, 2019-09-27.
[23] 王君, 王丽萍, 金春水, 谢耀, 姚舜. 一种用于极紫外光刻的掩模结构及其制备方法. CN: CN106249538B, 2019-09-27.
[24] 于杰, 张海涛, 马冬梅, 金春水. 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法. CN: CN106338258B, 2019-06-28.
[25] 苗亮, 张文龙, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调方法及装置. CN: CN106767498B, 2019-04-26.
[26] 王辉, 周烽, 郭本银, 谢耀, 王丽萍, 金春水. 一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置. CN: CN106556911B, 2019-04-23.
[27] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 金春水. 一种离轴非球面的调整方法. CN: CN106595471B, 2019-03-05.
[28] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 非球面空间位置的快速调整方法. 中国: CN105627946B, 2018.09.21.
[29] 金春水, 卢增雄, 马冬梅, 张海涛, 于杰. 光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法. 中国: CN104748946B, 2018.07.27.
[30] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春. UV光的应用方法及UV光薄膜处理应用装置. 中国: CN105855243B, 2018.07.20.
[31] 邓文渊, 金春水, 喻波, 姚舜, 靳京城. 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置. 中国: CN106249550B, 2018.07.06.
[32] 靳京城, 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法. 中国: CN105444714B, 2018.06.22.
[33] 苗亮, 刘钰, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法. 中国: CN105627944B, 2018.01.05.
[34] 邓文渊, 金春水, 姚舜, 喻波, 靳京城. 一种极紫外光学元件表面污染清洗装置及方法. 中国: CN106238427B, 2018-10-23.
[35] 苗亮, 张文龙, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 一种干涉测量中成像畸变的标定系统及标定方法. 中国: CN106247972B, 2018-09-21.
[36] 金春水, 马冬梅, 于杰, 周烽, 张海涛. 一种光学检测平台及光学检测方法. 中国: CN106338383B, 2018-09-04.
[37] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春. CaF2光学薄膜元件的制备方法及CaF2光学薄膜元件. 中国: CN106405688B, 2018-08-10.
[38] 张文龙, 苗亮, 刘钰, 王辉, 周烽, 郭本银, 马冬梅, 金春水. 一种干涉测量系统成像畸变标定装置. 中国: CN105627914B, 2018-08-07.
[39] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 旋转平移绝对检测法中快速调节光学元件的装置及方法. 中国: CN105571514B, 2018-06-26.
[40] 苗亮, 张文龙, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 球面透镜材料均匀性的检测方法. 中国: CN105572050B, 2018-06-26.
[41] 张文龙, 于杰, 张海涛, 王辉, 苗亮, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 一种反射镜支撑调整装置. 中国: CN105445895B, 2018-06-22.
[42] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 旋转平移绝对检测法中确定光学元件中心的装置及方法. 中国: CN105444673B, 2018-06-22.
[43] 王辉, 周烽, 郭本银, 谢耀, 王丽萍, 金春水. 可实现光学元件主动面形控制的支撑装置. 中国: CN105403154B, 2018-04-06.
[44] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 一种气体群折射率的测量装置及测量方法. 中国: CN105445225B, 2018-01-23.
[45] 金春水, 谢耀, 王丽萍, 郭本银, 王君. 有限距成像系统垂轴放大率的测量方法. 中国: CN105388000B, 2018-01-05.
[46] 谢耀, 周烽, 王丽萍, 王辉, 郭本银, 张文龙, 金春水. 微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法. 中国: CN105589305B, 2017.10.03.
[47] 郭本银, 王辉, 周烽, 王丽萍, 谢耀, 金春水. 五自由度调整装置. 中国: CN105572830B, 2017.10.03.
[48] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法. 中国: CN105627945B, 2017-12-26.
[49] 苗亮, 刘钰, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 透射球面波镜头拟合光轴的确定方法. 中国: CN105510002B, 2017-12-26.
[50] 王丽萍, 金春水, 王君, 谢耀. 一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法. 中国: CN105069194B, 2017-12-26.
[51] 金春水, 卢增雄, 马冬梅, 张海涛, 于杰. 光纤点衍射干涉仪等光程位置调整方法. 中国: CN104792424B, 2017-12-26.
[52] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 一种复位被测非球面空间位置的调整方法. 中国: CN105547183B, 2017-11-28.
[53] 金春水, 马冬梅, 于杰, 张海涛. 高精度恒温控制装置及方法. 中国: CN105468062B, 2017-10-03.
[54] 靳京城, 李春, 邓文渊, 金春水. 一种制备多层膜元件过程中非灵敏层误差控制方法及装置. 中国: CN106756864A, 2017-05-31.
[55] 于杰, 张海涛, 金春水. 一种移相装置以及定位方法. 中国: CN106707501A, 2017-05-24.
[56] 王丽萍, 谢耀, 周烽, 张海涛, 金春水. 用于EUV光刻的变形镜及其制备方法. 中国: CN106646856A, 2017-05-10.
[57] 张海涛, 王丽萍, 金春水, 张文龙. Nd:YAG晶体及其表面抛光方法. 中国: CN106531627A, 2017-03-22.
[58] 王丽萍, 谢耀, 金春水, 王君. 一种透镜以及线光源系统. 中国: CN106444051A, 2017-02-22.
[59] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春. 一种CaF 2 光学基底深紫外激光辐射诱导表面变化检测方法. 中国: CN106404745A, 2017-02-15.
[60] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春. 一种CaF 2 光学基底表面和亚表面损伤探测方法. 中国: CN106404746A, 2017-02-15.
[61] 谢耀, 于杰, 王丽萍, 郭本银, 王辉, 周烽, 金春水. 一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法. 中国: CN106338379A, 2017-01-18.
[62] 谢耀, 喻波, 王丽萍, 周烽, 金春水. 一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置及方法. 中国: CN106338471A, 2017-01-18.
[63] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于OD测量的金属膜厚度快速测量方法. 中国: CN105627936A, 2016.06.01.
[64] 姚舜, 郭本银, 喻波, 金春水. 用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮. 中国: CN105598084A, 2016.05.25.
[65] 郭本银, 苗亮, 刘钰, 王辉, 周烽, 王丽萍, 谢耀, 金春水. 一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置. 中国: CN105600704A, 2016.05.25.
[66] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜. 中国: CN105572769A, 2016.05.11.
[67] 郭本银, 王丽萍, 谢耀, 王辉, 周烽, 金春水. 一种柔性六自由度并联精密调整装置运动控制方法. 中国: CN105508823A, 2016.04.20.
[68] 王丽萍, 谢耀, 周烽, 王君, 王辉, 郭本银, 金春水. 光刻系统中照明均匀性测量方法. 中国: CN105446086A, 2016.03.30.
[69] 苗亮, 张文龙, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 一种光学玻璃的材料均匀性检测方法及装置. 中国: CN106248350A, 2016-12-21.
[70] 邓文渊, 金春水, 靳京城, 李春, 周烽. 一种在线测试光学元件激光损伤的方法及装置. 中国: CN106066318A, 2016-11-02.
[71] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法. 中国: CN105631193A, 2016-06-01.
[72] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的磁控溅射调速曲线反演方法. 中国: CN105608495A, 2016-05-25.
[73] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的磁控溅射速率空间分布反演方法. 中国: CN105608494A, 2016-05-25.
[74] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种极紫外光学基底的清洁处理方法. 中国: CN105583186A, 2016-05-18.
[75] 张文龙, 苗亮, 刘钰, 于杰, 张海涛, 马冬梅, 金春水. 一种高精度曲率半径测试装置及方法. 中国: CN105571481A, 2016-05-11.
[76] 王君, 金春水, 王丽萍, 谢耀. 一种用于弹性发射加工的工具轮. 中国: CN105563271A, 2016-05-11.
[77] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法. 中国: CN105572068A, 2016-05-11.
[78] 张海涛, 金春水, 马冬梅, 于杰. 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置. 中国: CN105563270A, 2016-05-11.
[79] 张文龙, 苗亮, 刘钰, 王辉, 周烽, 郭本银, 马冬梅, 金春水. 一种用于光学均匀性测试的柔性支撑装置. 中国: CN105572043A, 2016-05-11.
[80] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法. 中国: CN105571499A, 2016-05-11.
[81] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 一种透明光学材料群折射率测量装置及测量方法. 中国: CN105572072A, 2016-05-11.
[82] 靳京城, 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外凹面反射镜表面粗糙度评估方法. 中国: CN105548617A, 2016-05-04.
[83] 周烽, 王辉, 郭本银, 谢耀, 王丽萍, 金春水. 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置. 中国: CN105552695A, 2016-05-04.
[84] 苗亮, 刘钰, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 基于厚度基准传递的光学透镜中心厚测量方法. 中国: CN105466345A, 2016-04-06.
[85] 喻波, 姚舜, 金春水. 高热稳定性极紫外多层膜. 中国: CN105467472A, 2016-04-06.
[86] 王辉, 周烽, 郭本银, 谢耀, 王丽萍, 金春水. 一种具有面形调整功能的光学元件支撑装置. 中国: CN105467545A, 2016-04-06.
[87] 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外波段宽带Mo/Si多层膜的制备方法. 中国: CN105445819A, 2016-03-30.
[88] 王君, 王丽萍, 金春水, 谢耀. 用于高NA极紫外光刻物镜的掩模结构. 中国: CN105446071A, 2016-03-30.
[89] 喻波, 姚舜, 金春水. 具有抗溅射损伤和抗氧化性的高热稳定性极紫外多层膜. 中国: CN105445823A, 2016-03-30.
[90] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种具有光谱纯化功能的角宽带极紫外多层膜. 中国: CN105445822A, 2016-03-30.
[91] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置. 中国: CN105445213A, 2016-03-30.
[92] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法. 中国: CN105446087A, 2016-03-30.
[93] 金春水, 孙诗壮, 王君, 姚舜. 具有微结构和光谱纯化层的光源收集镜. 中国: CN105446088A, 2016-03-30.
[94] 苗亮, 张文龙, 刘钰, 马冬梅, 金春水. 一种干涉仪激光波长的测量方法. 中国: CN105444895A, 2016-03-30.
[95] 刘钰, 苗亮, 张文龙, 马冬梅, 金春水. 一种浅度非球面的面形误差测量方法. 中国: CN105444693A, 2016-03-30.
[96] 王辉, 周烽, 郭本银, 谢耀, 王丽萍, 金春水. 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置. 中国: CN105423989A, 2016-03-23.
[97] 谢耀, 王丽萍, 周烽, 王君, 王辉, 郭本银, 金春水. 一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统. 中国: CN105404100A, 2016-03-16.
[98] 郭本银, 苗亮, 刘钰, 王辉, 周烽, 王丽萍, 谢耀, 金春水. 一种用于镜体检测的吸附夹具. 中国: CN105372777A, 2016-03-02.
[99] 姚舜, 喻波, 金春水. 具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法. 中国: CN105022235A, 20151104.
[100] 谢耀, 周烽, 王辉, 王丽萍, 金春水. 元器件真空兼容性评估实验平台. 中国: CN104635090A, 2015.05.20.
[101] 王君, 王丽萍, 金春水, 谢耀. 一种用于大数值孔径的极紫外光刻掩模结构. 中国: CN104298068A, 2015.01.21.
[102] 邓文渊, 金春水, 李春, 靳京城. 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法. 中国: CN105021627A, 2015-11-04.
[103] 苗亮, 马冬梅, 金春水, 刘钰, 张文龙, 张海涛, 于杰. 球面镜和平面镜面形误差的绝对检测方法. 中国: CN104976964A, 2015-10-14.
[104] 郭本银, 王丽萍, 金春水, 谢耀, 王辉, 周烽. 一种基于柔性片体的六自由度并联精密调整装置. 中国: CN104793646A, 2015-07-22.
[105] 于杰, 张海涛, 马冬梅, 金春水. 一种移相干涉检测振动抑制方法. 中国: CN104534978A, 2015-04-22.
[106] 金春水, 代晓珂. 使用在光纤点衍射干涉仪波面参考源中的偏振控制方法. 中国: CN104536146A, 2015-04-22.
[107] 金春水, 代晓珂, 于杰. 一种能够提高光纤点衍射干涉仪检测范围的波面参考源. 中国: CN104515466A, 2015-04-15.
[108] 王君, 王丽萍, 金春水, 谢耀, 周烽. 一种用于极紫外光刻的类临界照明系统. 中国: CN104483816A, 2015-04-01.
[109] 王君, 王丽萍, 金春水, 谢耀. 极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法. 中国: CN104317168A, 2015-01-28.
[110] 匡尚奇, 王珣, 金春水. 一种提高了极紫外光谱纯度及抗氧化性的多层膜. 中国: CN104297820A, 2015-01-21.
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出版信息

   
发表论文
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科研活动

   
科研项目
( 1 ) 极紫外光刻关键技术研究, 主持, 国家级, 2009-01--2016-05
( 2 ) EUVL物镜离轴非球面面形检测装置研发, 参与, 国家级, 2012-01--2016-12
( 3 ) ArF光源光学元件 薄膜元件 研制, 主持, 国家级, 2013-01--2016-12

指导学生

已指导学生

张立超  博士研究生  070207-光学  

金伟华  博士研究生  070207-光学  

刘磊  硕士研究生  070207-光学  

王丽萍  博士研究生  070207-光学  

张宇  博士研究生  070207-光学  

祝文秀  硕士研究生  070207-光学  

卢增雄  博士研究生  070207-光学  

常艳贺  博士研究生  070207-光学  

靳京城  博士研究生  070207-光学  

代晓珂  硕士研究生  070207-光学  

王君  博士研究生  070207-光学  

王珣  博士研究生  070207-光学  

现指导学生

喻波  博士研究生  070207-光学  

陈晨曦阳  硕士研究生  070207-光学  

孙诗壮  硕士研究生  070207-光学  

吴越  硕士研究生  070207-光学  

刘重阳  硕士研究生  070207-光学