基本信息
焦斌斌  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: jiaobinb@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

研究领域

微机电系统设计与加工、传感器信号处理与多传感器融合、微系统集成与散热技术

招生信息

   
招生专业
080902-电路与系统
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
微系统集成关键技术
MEMS传感器与微系统

教育背景

2003-01--2008-06   中国科学院微电子研究所   工学博士学位
1999-01--2003-01   西安交通大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2021-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 新技术开发部微系统技术研究室主任
2019-03~2020-06,江西省科学院应用物理所, 副所长
2018-12~2021-04,江苏物联网研究发展中心, 智能传感器工程中心主任
2017-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2010-10~2017-04,中国科学院微电子研究所, 副研究员
2008-07~2010-10,中国科学院微电子研究所, 助理研究员
社会兼职
2020-03-01-今,中国光学学会红外与光电子器件分会, 委员
2019-08-01-今,中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会, 委员
2018-07-01-今,中国机械工程学会高级会员, 高级会员
2018-07-01-今,中国机械工程学会微纳米制造技术分会委员, 委员
2018-03-01-今,智能感知创新联盟理事, 理事

教授课程

航天器热控制技术原理及其应用

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用, 二等奖, 省级, 2019
专利成果
[1] 云世昌, 孔延梅, 焦斌斌. 应用于高温压力传感器的金属微电极及其制备方法. CN: CN112645275A, 2021-04-13.

[2] 焦斌斌, 康婷, 孔延梅, 朱胜利, 陈大鹏. 一种微流道散热结构、制造方法及电子器件. CN: CN110364501B, 2020-12-22.

[3] 焦斌斌, 康婷, 孔延梅, 朱胜利, 陈大鹏. 一种强制对流微流道散热结构、制造方法及电子器件. CN: CN110335854B, 2020-12-11.

[4] 焦斌斌, 叶雨欣, 孔延梅, 刘瑞文, 陈大鹏. 电子芯片以及电子器件. CN: CN111952261A, 2020-11-17.

[5] 王渊, 焦斌斌, 叶雨欣, 孔延梅, 陈大鹏. 流量信号的补偿方法、装置、存储介质、处理器和系统. CN: CN110057419B, 2020-10-27.

[6] 孔延梅, 焦斌斌. 一种集成电路芯片散热结构及其制备方法、三维器件. CN: CN111128759A, 2020-05-08.

[7] 焦斌斌, 孔延梅, 云世昌, 叶雨欣, 陈大鹏. 封闭结构、其制作方法与器件. CN: CN108609574B, 2019-12-31.

[8] 焦斌斌, 孔延梅, 云世昌, 陈大鹏. 一种晶圆级传感器气密性检测装置及方法. CN: CN106546387B, 2019-10-25.

[9] 王渊, 焦斌斌, 叶雨欣, 孔延梅, 陈大鹏. 流量信号的补偿方法、装置、存储介质、处理器和系统. CN: CN110057419A, 2019-07-26.

[10] 焦斌斌, 孔延梅, 云世昌, 陈大鹏. 一种晶圆级传感器气密性检测装置及方法. CN: CN106595975B, 2019-07-26.

[11] 郑中山, 朱慧平, 孔延梅, 李多力, 李博, 罗家俊, 韩郑生, 焦斌斌. 一种绝缘体上硅材料及其抗总剂量辐射的加固方法. CN: CN109860097A, 2019-06-07.

[12] 焦斌斌. 一种集成电路结构及其制造方法、半导体器件. CN: CN106158853B, 2019-05-21.

[13] 王磊, 孔延梅, 焦斌斌, 李博, 赵发展, 韩郑生, 罗家俊, 刘新宇. 一种可检真空度的真空玻璃及系统. CN: CN109665725A, 2019-04-23.

[14] 焦斌斌, 林腾, 孔延梅, 叶雨欣, 云世昌, 陈大鹏. 胎压传感装置与车胎. 中国: CN108608815A, 2018-10-02.

[15] 云世昌, 焦斌斌, 张乐民, 孔延梅, 刘瑞文, 陈大鹏. 一种阻止金属共晶键合合金外溢的方法及一种器件. 中国: CN105762088B, 2018-07-31.

[16] 陈大鹏, 焦斌斌, 孔延梅, 刘瑞文, 云世昌. 一种集成电路元器件的工艺方法. 中国: CN107546174A, 2018-01-05.

[17] 云世昌, 焦斌斌, 王桂磊, 孔延梅, 张乐民, 俞利民, 陈大鹏. 一种基于硅通孔结构的金属填充方法及硅通孔结构. 中国: CN105679703A, 2016.06.15.

[18] 焦斌斌. 一种晶圆级封装盖帽及其制作方法. 中国: CN106206624A, 2016-12-07.

[19] Jiao, Binbin, Liu, Ruiwen, Li, Zhigang, Kong, Yanmei, Chen, Dapeng. Cantilever beam structure where stress is matched and method of manufacturing the same. US: US9260297(B2), 2016-02-16.

[20] 焦斌斌, Liu Ruiwen, Li Zhigang, Kong Yanmei, Chen Dapeng. Cantilever beam structure where stress is matched and method of manufacturing the same. 美国: US9260297(B2), 2016-02-16.

[21] 焦斌斌, 刘瑞文, 李志刚, 孔延梅, 陈大鹏. 应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法. 中国: CN104229726A, 2014-12-24.

[22] 焦斌斌, 尚海平, 高超群, 刘瑞文, 陈大鹏. 透明衬底探测器及其制造方法. 中国: CN103913244A, 2014-07-09.

[23] 焦斌斌, 孔延梅, 陈大鹏. 一种液晶滤波方法、液晶滤波器和空间滤波系统. 中国: CN103913791A, 2014-07-09.

[24] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN103728025A, 2014-04-16.

[25] 刘瑞文, 焦斌斌, 陈大鹏, 叶甜春. 透明衬底探测器芯片的封装方法及其封装结构. 中国: CN103663356A, 2014-03-26.

[26] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN103630242A, 2014-03-12.

[27] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN103630246A, 2014-03-12.

[28] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN103592032A, 2014-02-19.

[29] 焦斌斌, 刘志麟, 陶圣, 王允韬, 孔延梅. 一种路面状态测定方法及装置. 中国: CN103512913A, 2014-01-15.

[30] 刘瑞文, 焦斌斌, 李志刚, 陈大鹏. 双材料悬臂梁应力匹配方法. 中国: CN103449356A, 2013-12-18.

[31] 刘瑞文, 焦斌斌, 陈大鹏. 带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法. 中国: CN103318836A, 2013-09-25.

[32] 尚海平, 焦斌斌, 卢迪克, 李志刚, 刘瑞文, 陈大鹏. 采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法. 中国: CN103303858A, 2013-09-18.

[33] 尚海平, 焦斌斌, 刘瑞文, 陈大鹏, 李志刚, 卢迪克. 应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法. 中国: CN103241706A, 2013-08-14.

[34] 尚海平, 焦斌斌, 刘瑞文, 陈大鹏, 李志刚, 卢迪克. 硅腐蚀局部终止层制作方法. 中国: CN103241705A, 2013-08-14.

[35] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN203116855U, 2013-08-07.

[36] 尚海平, 焦斌斌, 刘瑞文, 陈大鹏, 李志刚, 卢迪克. 张应力 LPCVD SiO 2 膜的制造方法. 中国: CN103183307A, 2013-07-03.

[37] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN202836765U, 2013-03-27.

[38] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN202793597U, 2013-03-13.

[39] 高超群, 焦斌斌, 刘瑞文, 尚海平, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN202734967U, 2013-02-13.

[40] 孔延梅, 焦斌斌, 陈大鹏. 一种可见-红外双通摄像机. 中国: CN102789114A, 2012-11-21.

[41] 刘瑞文, 焦斌斌, 李志刚, 陈大鹏. 红外传感器开关器件及其制作方法. 中国: CN102480285A, 2012-05-30.

[42] 刘瑞文, 焦斌斌, 陈大鹏. 一种热电堆红外探测器. 中国: CN102244190A, 2011.11.16.

[43] 焦斌斌, 陈大鹏, 叶甜春. 用于MEMS芯片背面湿法化学腐蚀正面保护的夹具结构. 中国: CN102115023A, 2011-07-06.

[44] 焦斌斌, 陈大鹏, 叶田春. 由单晶硅材料构成的微米尺度网格结构及其制作方法. 中国: CN101985348A, 2011-03-16.

[45] 焦斌斌, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像器件的圆片级封装方法. 中国: CN101920930A, 2010.12.22.

[46] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧毅, 叶甜春. 带硅支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列. 中国: CN201561801U, 2010-08-25.

[47] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧毅, 叶甜春. 带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列. 中国: CN201514283U, 2010-06-23.

[48] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 光调制热成像焦平面阵列的制作方法. 中国: CN101538005, 2009.09.23.

[49] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 一种带硅支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列. 中国: CN101498607, 2009.08.05.

[50] 焦斌斌, 俞 挺, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 一种通用CMOS MEMS器件电化学腐蚀绝缘保护方法. 中国: CN101423187, 2009.05.06.

[51] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 新型微尖端面阵列器件. 中国: CN100545951, 2009-09-30.

[52] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 光调制热成像焦平面阵列的制作方法. 中国: CN101538006, 2009-09-23.

[53] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 叶甜春. 带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列. 中国: CN101498608, 2009-08-05.

[54] 欧 毅, 史海涛, 陈大鹏, 景玉鹏, 李超波, 焦斌斌. 改善微机械非制冷红外成像芯片中反光板平整度的方法. 中国: CN101446758, 2009-06-03.

[55] 何 伟, 明安杰, 薛惠琼, 焦斌斌, 欧 毅, 陈大鹏. 基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法. 中国: CN101441112, 2009-05-27.

[56] 何 伟, 明安杰, 薛惠琼, 焦斌斌, 欧 毅, 陈大鹏. 基于多晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法. 中国: CN101435722, 2009-05-20.

[57] 杨 楷, 陈大鹏, 景玉鹏, 焦斌斌, 李志刚. 在碱性腐蚀液中保护易腐蚀MEMS器件的方法. 中国: CN101428753, 2009-05-13.

[58] 欧 毅, 由春娟, 罗晓光, 陈大鹏, 李超波, 焦斌斌, 石莎莉, 董立军, 韩敬东, 刘 辉. 非接触式微电子机械系统红外温度报警器的制备方法. 中国: CN101274739, 2008-10-01.

[59] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧 毅, 景玉鹏, 叶甜春, 张青川. 一种红外光学成像装置及方法. 中国: CN101241231, 2008-08-13.

[60] 焦斌斌, 李超波, 陈大鹏, 叶甜春. 一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN101229910, 2008-07-30.

[61] 焦斌斌, 李超波, 陈大鹏, 叶甜春. 光-机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列探测器. 中国: CN101229911, 2008-07-30.

[62] 石莎莉, 陈大鹏, 李超波, 焦斌斌, 欧 毅, 叶甜春. 用于提高非制冷红外焦平面阵列器件性能的制作方法. 中国: CN100387509, 2008-05-14.

[63] 李超波, 焦斌斌, 陈大鹏, 叶甜春. 光-机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列. 中国: CN1904568, 2007-01-31.

[64] 焦斌斌, 陈大鹏, 欧毅, 叶甜春. 微尖端线列器件. 中国: CN1885438, 2006.12.27.

出版信息

   
发表论文
(1) Integrated Electrical Test vehicle Co-desigened with Microfluidies for evaluationg the performance of embedded cooling, IEEE-NEMS, 2021, 通讯作者
(2) Investigation on multidimensional test vehicle for embedded microfluidic cooling performance evaluation, APPLIED THERMAL ENGINEERING, 2021, 通讯作者
(3) 1. Enhanced Thermal Management of GaN Power Amplifier Electronics with Micro-Pin Fin Heat Sinks, Electronics, 2020, 通讯作者
(4) Enhanced Thermal Management of GaN Power Amplifier Electronics with Micro-Pin Fin Heat Sinks, ELECTRONICS, 2020, 通讯作者
(5) Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges With Multi Heat Sinks, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2020, 通讯作者
(6) Junhua Lai, Yanmei Kong*, Binbin Jiao, Yuxin Ye, Shichang Yun, Ruiwen Liu, Mao Ye and Guohe Zhang, Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges with Multi Heat Sinks, Journal of Microelectro Mechanical Systems,, 2019, 
(7) 具有温差能量收集功能的胎压传感器电路设计, Design of tire pressure sensor circuit with temperature difference energy harvesting function, 电子技术应用, 2019, 第 3 作者
(8) 空气流量计温度流量耦合效应的补偿算法, Compensation Algorithm Research on Temperature Flow Coupling Effect of Air Flow Meter, 仪表技术与传感器, 2019, 第 3 作者
(9) 多传感模块融合的空气流量计的设计, Design of Air Flow Meter with Multi Sensor Modules, 仪表技术与传感器, 2019, 第 4 作者
(10) A nondestructive raman spectra stress 2D analysis for the pressure sensor sensitive silicon membrane, ENGINEERING FAILURE ANALYSIS, 2019, 通讯作者
(11) Research on ion implantation in MEMS device fabrication by theory, simulation and experiments, INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2018, 第 3 作者
(12) The visualized investigation of a silicon based built-in heat pipe micropillar wick structure, APPLIED THERMAL ENGINEERING, 2018, 通讯作者
(13) Study of cavity effect in micro-Pirani gauge chamber with improved sensitivity for high vacuum regime, AIP ADVANCES, 2018, 通讯作者
(14) The Thin Plate Heat Pipe Koch Fractal Wick Structures Investigation, 2018 1ST WORKSHOP ON WIDE BANDGAP POWER DEVICES AND APPLICATIONS IN ASIA (WIPDA ASIA), 2018, 
(15) A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks, A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks, 中国物理快报:英文版, 2017, 第 2 作者
(16) A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2017, 通讯作者
(17) Investigation and optimization of Pirani Vacuum Gauges with Monocrystal silicon heaters and heat sinks, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2017, 通讯作者
(18) An electrical test method for quality detecting of wafer level eutectic bonding, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 通讯作者
(19) An electrical test method for quality detecting of wafer level eutetic bonding, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 第 2 作者
(20) A novel easy-driving and easy-signal-processing electrostatic field sensor based on a piezoresistance and polyethylene terephthalate lever, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 3 作者
(21) A CMOS Compatible MEMS Pirani Vacuum Gauge with Monocrystal Silicon Heaters and Heat Sinks, CHIN.PHYS.LETT, 2017, 第 4 作者
(22) 面向物联网应用的MEMS传感器技术, 高科技与产业化, 2016, 第 2 作者
(23) Investigation of thermal characteristics and two-phase flows of a star-shape thin heat pipe, APPLIED THERMAL ENGINEERING, 2016, 通讯作者
(24) 晶圆级热电堆探测器测试技术的研究, The wafer level testing research of the thermopile detector, 制造业自动化, 2015, 第 2 作者
(25) The thermal-mechanical performance of the uncooled infrared optical-readout bi-material FPA, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2015, 第 3 作者
(26) 基于可编程多轴控制器的红外传感器片上测试系统设计, The Design of the Infrared Sensor Test System on Chip Based on PMAC Motion Controller, 科学技术与工程, 2014, 第 2 作者
(27) 基于PMAC控制器的红外传感器片上测试系统设计, 科学技术与工程, 2014, 通讯作者
(28) 带有热沉结构的全镂空光读出红外焦平面阵列, 半导体学报, 2013, 通讯作者
(29) Elimination of initial stress-induced curvature in a micromachined bi-material composite-layered cantilever, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013, 通讯作者
(30) Infrared camera based on optical-readout bi-material FPA, Proc. SPIE, 2011, 
(31) Thermopile infrared detectors with detectivity greater than 10^8cmHz(1/2)/W, Int Journal of infrared and millimeter waves, 2010, 第 1 作者
(32) 用PECVD制备高抗腐蚀性能SiN_x薄膜的工艺研究, The study on technology for high corrosion-resistant SiN_x thin film deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition, 功能材料, 2010, 第 2 作者
(33) 三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用, TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2010, 
(34) 三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用, TRI-LAYER MICROCANTILEVER MODEL AND ITS APPLICATION IN IRFPA PIXEL DESIGN, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2010, 第 2 作者
(35) Thermopile Infrared Detector with Detectivity Greater Than 10(8) cmHz((1/2))/W, JOURNAL OF INFRARED MILLIMETER AND TERAHERTZ WAVES, 2010, 第 4 作者
(36) 光学读出微梁阵列红外成像性能分析与优化, Performance Analysis and Optimization of Optical-Readout of Microcantilever Array Infrared Imaging, 实验力学, 2010, 第 3 作者
(37) Optical sensitivity analysis of a bent micro reflector array in uncooled infrared imaging, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 第 3 作者
(38) EFFECT OF REFLECTOR DEFORMATION ON OPTICAL DETECTION SENSITIVITY FOR OPTICAL READOUT INFRARED IMAGING SYSTEM, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2009, 第 4 作者
(39) EFFECT OF REFLECTOR DEFORMATION ON OPTICAL DETECTION SENSITIVITY FOR OPTICAL READOUT INFRARED IMAGING SYSTEM, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2009, 第 4 作者
(40) Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2009, 第 4 作者
(41) Optical readout sensitivity of deformed microreflector for uncooled infrared detector: theoretical model and experimental validation, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION, 2009, 第 3 作者
(42) Analysis of Optical Readout Sensitivity for Uncooled Infrared Detector, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 3 作者
(43) 基于SOISi片的二极管红外探测器, Diode Infrared Detectors Based on SOI Si Wafers, 微纳电子技术, 2009, 第 6 作者
(44) Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2009, 第 4 作者
(45) Optical sensitivity analysis of deformed mirrors for microcantilever array IR imaging, OPTICS EXPRESS, 2009, 第 9 作者
(46) Uncooled Infrared Imaging Using a Substrate-Free Focal-Plane Array, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2008, 第 5 作者
(47) 基于MEMS的光学读出热成像技术的研究, 2008, 第 1 作者
(48) 非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计, Design of ROIC for Uncooled IRFPA, 电子工业专用设备, 2008, 第 2 作者
(49) An optical readout method based uncooled infrared imaging system, INTERNATIONAL JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2008, 第 1 作者
(50) 热机械光读出非制冷红外成像系统建模分析, Modeling and Analysis of the Thermal-mechanical Optical Readout Uncooled Infrared Imaging System, 光电工程, 2008, 第 1 作者
(51) 光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器, MEMS/CMOS Compatible Gas Sensors Based on Spectroscopy Analysis, 半导体学报, 2008, 第 2 作者
(52) 非制冷红外焦平面阵列进展, Development of Uncooled IRFPA, 电子工业专用设备, 2008, 第 2 作者
(53) 光读出非制冷红外成像系统中的噪声分析, 光电工程, 2008, 第 1 作者
(54) 翘板式射频MEMS开关的研究, Study of a Seesaw-Lever RF MEMS Switch, 微纳电子技术, 2008, 第 3 作者
(55) Uncooled infrared imaging device based on optimized optomechanical micro-cantilever array, ULTRAMICROSCOPY, 2008, 第 8 作者
(56) A novel opto-mechanical uncooled infrared detector, INFRARED PHYSICS & TECHNOLOGY, 2007, 
(57) 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展, Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe, 电子工业专用设备, 2007, 第 3 作者
(58) The pressure-dependent performance of a substrate-free focal plane array in an uncooled infrared imaging system, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2007, 第 6 作者
(59) 光学读出非制冷红外成像的最新进展, Advance in Optically Readable Uncooled Infrared Imaging, 实验力学, 2007, 第 2 作者
(60) 基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状, Review on Micro-cantilever Array Based MEMS Technics Optical-eadout IR Imaging, 电子工业专用设备, 2007, 第 6 作者
(61) 基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关, Electrostatic RF MEMS Switches Based on Mono Crystal Silicon Cantilever Structure, 电子工业专用设备, 2007, 第 4 作者
(62) Design of a novel substrate-free double-layer-cantilever FPA applied for uncooled optical-readable infrared imaging system, IEEE SENSORS JOURNAL, 2007, 
(63) Uncooled IR imaging using optomechanical detectors, ULTRAMICROSCOPY, 2007, 第 9 作者
(64) 光机械式红外探测器中镜面弯曲对探测灵敏度的影响, The Influence of Mirror Curvature on Optical Detection Sensitivity in Optomechanical Uncooled IR Detectors, 实验力学, 2007, 第 9 作者
(65) Design of a novel uncooled infrared focal plane array, 2006 1ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2006, 
(66) A novel uncooled substrate-free optical-readable inrared detector:design, fabrication and performance, Meas. Sci. Technol., 2006, 第 1 作者
(67) 应用于流动控制的MEMS传感器和执行器, MEMS Sensor and Actuator for Flow Control, 电子工业专用设备, 2006, 第 4 作者
(68) 日本近年RF EMS开关研究的进展, Recent Development on RF MEMS Switches in Japan, 电子工业专用设备, 2006, 第 4 作者
(69) 基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列, A MEMS Based Focus Plane Array for Infrared Imaging, 半导体学报, 2006, 第 2 作者
(70) MEMS中的簿膜制造技术, Thin Film Making Technology in MEMS, 电子工业专用设备, 2006, 第 6 作者
(71) 悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展, 电子工业专用设备, 2005, 第 1 作者
发表著作
(1) Micro Electro Mechanical Systems, Springer Nature, 2018-01, 第 4 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 圆片级红外热电堆传感器性能测试设备, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12
( 2 ) 超高分辨率图像传感器的集成封装技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2020-12
( 3 ) 芯片/圆片键合技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12
( 4 ) 三轴加速度传感器MEMS芯片工艺国产化研究, 主持, 省级, 2016-01--2019-01
( 5 ) 基于短波红外显微镜系统的扩散键合微缺陷检测功能开发, 主持, 部委级, 2017-01--2019-01
( 6 ) 硅压阻式MEMS传感器设计与工艺平台建设, 主持, 市地级, 2018-04--2021-04
( 7 ) 基于国产化MEMS和CMOS工艺的智能中医脉诊核心芯片与设备研发, 主持, 国家级, 2018-01--2019-12
( 8 ) 新型MEMS微流体散热与高密度立体微组装融合技术, 主持, 国家级, 2018-11--2020-12
( 9 ) 基于MEMS微波传输气室的xxxxxxx, 主持, 国家级, 2019-06--2020-12
( 10 ) 电子制造业创新平台技术服务, 主持, 院级, 2019-04--2019-12
( 11 ) MEMS微镜晶圆级器件封装, 主持, 院级, 2019-03--2020-04
( 12 ) 红外热电堆器件批量测试与筛选技术, 主持, 院级, 2020-03--2020-05
( 13 ) xxxxxxxxx, 主持, 国家级, 2020-06--2023-06
( 14 ) XXXXXXXXXXXX, 参与, 国家级, 2021-06--2024-06
参与会议
(1)APPLICATION of SILICION PIEZORESISTIVE EFFECT in MEMS EMBEDDED MICROLFUIDIC COOLING   2022-01-09
(2)EMBEDDED MICROCHANNEL COOLER WITH MANIFOLD FOR IC CHIPS   2022-01-09
(3)Integrated test vehicle co-designed with microfluidic for evaluating the performance of embedded cooling   Yuxin Ye   2021-04-26
(4)Design and Fabrication of Wafer Level Packaged MEMS PIRANI Gauge with Surrounded Heat Sinks   2017-06-20