基本信息
冯鹏  男  硕导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件： fengpeng_0219@siom.ac.cn
通信地址： 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码：

研究领域

干涉测量技术与仪器

高端光刻机像质检测技术与装置

招生信息

硕士

招生专业
080300-光学工程
招生方向
干涉测量技术与仪器，光刻像质检测技术与装置

教育背景

2018-09--2022-06   中国科学院大学   工学博士
学历
研究生

学位
博士

工作经历

   
工作简历
2022-09~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 副研究员
2010-07~2022-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员