基本信息
林琳  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: linlin@ime.ac.cn
通信地址: 北土城西路3号
邮政编码:

研究领域

现阶段主要工作基于超高精度真空传感器的研发,主要涵盖:

1. 传感器所需特种合金材料研发;

2. 极限尺寸合金零部件制备工艺研发;

3. 合金材料抗腐蚀、高温阻氢特性的研究;

4. 极限尺寸零部件微观力学性能研究;

5. 传感器及微小信号电路匹配;

6. 传感器真空测量及标定

及相关领域的研发工作

招生信息

   
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
功能材料研发、传感器技术、CMOS器件表征

教育背景

2007-09--2012-02   Liverpool John Moores University   博士学位
2001-09--2004-06   Liverpool John Moores University   硕士学位

工作经历

   
工作简历
2014-12~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2013-06~2014-07,Liverpool John Moores University, 博士后
2005-02~2012-02,Global Accent Ltd LanguageLine Solutions, 资深医疗翻译
社会兼职
2024-03-01-今,北京中科九微科技有限公司, 顾问

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 科技成果转化, 特等奖, 院级, 2020
专利成果
( 1 ) 一种温压复合传感器, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN111397776B

( 2 ) 一种温压复合传感器的制作方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN111351607B

( 3 ) 散热结构及电容压力传感器, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111174966A

( 4 ) 真空压力计响应时间测量装置, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111044218A

( 5 ) 电容式压力检测装置及传感器, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111122020A

( 6 ) 一种检测膜片式真空压力计沉积物的装置及其应用, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111141813A

( 7 ) 差分电容式压力检测装置, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111141424A

( 8 ) 具有USB输出的高精度差分电容式压力检测装置, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111189562A

( 9 ) 基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111122019A

( 10 ) 真空压力计响应时间测量装置及方法, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111044219A

( 11 ) 检测膜片式真空压力计沉积物的方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111044602A

( 12 ) 利用全反射原理提高测量精度的压力传感器及其应用, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110926668A

( 13 ) 环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110987281A

( 14 ) 一种防沉积匀气环, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110987282A

( 15 ) 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110926683A

( 16 ) 一种薄膜式电容传感器, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN110926662B

( 17 ) 柔性电极支撑结构, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110879111B

( 18 ) 一种纳米线压力传感器及传感器阵列, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112798156A

( 19 ) 一种纳米线压力传感器制备方法, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112798163A

( 20 ) 压差探测集成块, 实用新型, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN210464772U

( 21 ) 压差探测集成块及其制造方法, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN110567636A

( 22 ) 导气垫圈及其制造方法, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN110411613A

( 23 ) 导气垫圈, 实用新型, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN210322097U

( 24 ) 一种基于电磁感应原理的真空规, 实用新型, 2024, 第 1 作者, 专利号: ZL 2024 2 1430674.0

( 25 ) 一种具有环形支撑结构的陶瓷基体及电容式压力传感器, 实用新型, 2024, 第 1 作者, 专利号: ZL 2024 2 1419624.2

出版信息

1.        Z.Ji, J.F.Zhang, W.Zhang, L.Lin, J.G.Ma, M.Duan, B.Kaczer, J.Franco, S.De Gendt and G.Groeseneken

       “Predicting slow AC NBTI-aging under low operation bias by As-grown-Generation (A-G) model”

       2014 International Electron Devices Meeting (IEDM) submitted.

2.    L. Lin,  Z. Ji, J. F. Zhang and W. D. Zhang

Development of a fast technique for characterizing interface states”

ECS transactions on Silicon Nitride, Silicon Dioxide, and Emerging Dielectrics          11, Vol. 35, No.4, pp.81-93, 2011.

2.     L. Lin, Z. Ji, J. F. Zhang, W. D. Zhang, B. Kaczer, S. De Gendt, and G.  Groeseneken

   “A single pulse charge pumping technique for fast measurements of interface  states”

      IEEE Trans. Electron Dev., vol. 58, No.5, pp. 1490-1498, 2011.

3.  J. F. Zhang, Z. Ji, L. Lin, and W. Zhang (Invited)

    “Effective threshold voltage shift: a measure for NBTI removing uncertainty in      mobility Degradation

Proc. of  IEEE 10th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology, pp.1600-1603, 2010.

4.  Z. Ji, L. Lin, J. F. Zhang, B. Kaczer, and G. Groeseneken

    “NBTI lifetime prediction and kinetics at operation bias based on ultrafast pulse   

    measurement”

      IEEE Trans. Electron Dev., vol. 57, No.1, pp. 228-237, 2010.

5.  Z. Ji, L. Lin and J. Zhang

    “Impact of sensing gate bias on NBTI of Hf-based dielectric stacks

    ECS transactions on Silicon Nitride, Silicon Dioxide, and Emerging Dielectrics 10, Vol. 19, No.2, pp.351-362, 2009.

6.  J. F. Zhang, M. H. Chang, Z. Ji, L. Lin, I. Ferain, G. Groeseneken, L. Pantisano, S. De Gendt, and M. M. Heyns

    “Dominant layer for stress-induced positive charges in Hf-based gate stacks”

    IEEE Electron Device Letters, vol. 29, pp.1360-1363, 2008.

7.  J. F. Zhang, Z. Ji, W. Zhang, L. Lin,  B. Kaczer, S. De Gendt, and G. Groeseneken (Invited) 

    “Advanced characterization techniques for MOS devices”

    China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2012.


发表论文
(1) Au/ZnO多孔纳米片及其紫外光照射下的NO 2气敏性能, Au/ZnO Porous Nanosheets and Their UV-Irradiated NO 2 Gas Sensing Properties, 安徽师范大学学报:自然科学版, 2020, 第 1 作者
(2) 微波在半导体退火工艺中的应用, Application of Microwave in Semiconductor Annealing Process, 微纳电子技术, 2017, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) PECVD 用电容式薄膜真空规研发及产业化, 参与, 国家任务, 2022-01--2024-12
( 2 ) 碳化钽高温老化特性研究, 负责人, 国家任务, 2021-12--2024-11
( 3 ) 基于真空规的高稳定度恒温快速测试系统, 负责人, 中国科学院计划, 2021-08--2023-07
( 4 ) 半导体刻蚀工艺超高精度真空压力测量技术, 负责人, 地方任务, 2020-11--2022-10
( 5 ) 关键零部件研发及产业化(真空规), 参与, 国家任务, 2017-01--2019-12