080300-光学工程
080300-光学工程

超精密光学检测
精密光学系统集成
精密光学仪器

2007-09--2009-07   北京理工大学   硕士
2003-07--2007-07   北京理工大学   学士

   

2018-09~2022-06,中科院长春光机所, 副研究员
2011-09~2018-09,中科院长春光机所, 助理研究员
2009-07~2011-09,中科院长春光机所, 研究实习员
2007-09~2009-07,北京理工大学, 硕士
2003-07~2007-07,北京理工大学, 学士

   

（ 1 ） 光学系统的自由曲面优化方法、装置和计算机存储介质, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113204113A

（ 2 ） 一种激光动态干涉仪, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110823088B

（ 3 ） 非球面元件面形检测方法、装置、设备及可读存储介质, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110487211A

（ 4 ） 一种离轴非球面元件的面形误差的测量方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108195309A

（ 5 ） 一种移相装置以及定位方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106707501A

（ 6 ） 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106338258A

（ 7 ） 一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106338379A

（ 8 ） 一种光学检测平台及光学检测方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106338383A

（ 9 ） 一种凸球面镜面形检测系统及检测方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106289096A

（ 10 ） 一种凸非球面镜面形检测系统及检测方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106247973A

（ 11 ） 一种高精度曲率半径测试装置及方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105571481A

（ 12 ） 一种离子束面形精修用工件定心定方位角装置, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105563270A

（ 13 ） 一种基于误差补偿的移相干涉信息处理方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105509638A

（ 14 ） 高精度恒温控制装置及方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105468062A

（ 15 ） 一种反射镜支撑调整装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105445895A

（ 16 ） 一种同步检测装置, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN105162440A

（ 17 ） 球面镜和平面镜面形误差的绝对检测方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104976964A

（ 18 ） 光纤点衍射干涉仪等光程位置调整方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104792424A

（ 19 ） 光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104748946A

（ 20 ） 一种移相干涉检测振动抑制方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104534978A

（ 21 ） 一种能够提高光纤点衍射干涉仪检测范围的波面参考源, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104515466A

（ 22 ） 一种基于光学元件面形的计算机辅助装调模型的建立方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103984808A

（ 23 ） 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103969034A

（ 24 ） 点衍射移相式干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103697808A

（ 25 ） 球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103698108A

（ 26 ） 一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103047928A

（ 27 ） 一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102798341A

（ 28 ） 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102564301A

   

（1） 变步长搜索的计算全息图编码方法, CGH encoding with variable step size search, 中国光学, 2021, 第 3 作者
（2） Design method for an off-axis reflective anamorphic optical system with aberration balance and constraint control, APPLIED OPTICS, 2021, 第 4 作者
（3） Design of off-axis multi-reflective optical system based on particle swarm optimization, CHINESE OPTICS, 2021, 第 3 作者
（4） Surface Plasmon Field-Enhanced Raman Scattering Based on Evanescent Field Excitation of Waveguide-Coupled Surface Plasmon Resonance Configuration, JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C, 2020, 第 6 作者
（5） Long-Range Surface Plasmon Resonance Configuration for Enhancing SERS with an Adjustable Refractive Index Sample Buffer to Maintain the Symmetry Condition, ACS OMEGA, 2020, 第 6 作者
（6） Design method for off-axis aspheric reflective optical system with extremely low aberration and large field of view, APPLIED OPTICS, 2020, 第 3 作者
（7） Adjustable flexure mount to compensate for deformation of an optic surface, APPLIED OPTICS, 2019, 第 2 作者
（8） Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 通讯作者
（9） 一种光机系统结构稳定性评估方法, Stability Evaluation of Opto-Mechanical Systems, 激光与光电子学进展, 2016, 第 3 作者
（10） Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, accuracy evaluation and application, 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGY: OPTICAL TEST, MEASUREMENT TECHNOLOGY, AND EQUIPMENT, 2016, 通讯作者
（11） 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量, 中国激光, 2015, 第 5 作者
（12） 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计, 光学学报, 2014, 第 4 作者
（13） 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析, Analysis on error and tolerance for the wavefront reference source of point diffraction interferometer, 中国光学, 2014, 第 3 作者
（14） 微缩投影系统的计算机辅助装调, Computer-aided alignment for reduced projection systems, 光学精密工程, 2014, 第 2 作者
（15） 极小孔径衍射波前测试分析, Evaluation of wavefront diffracted from ultra small aperture, 光学精密工程, 2014, 第 4 作者
（16） 高精度光学元件支撑装置面形复现性分析与测量, Analysis and Metrology of Reproducibility of High-Precision Optic Mount, 中国激光, 2013, 第 4 作者
（17） 高复现性面形检测支撑装置研制, 中国激光, 2012, 第 2 作者
（18） 用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法, Weighted least square phase extraction algorithm for phase-shifting point diffraction interferometer, 中国光学与应用光学, 2010, 第 1 作者

   

（ 1 ） EUVL物镜离轴非球面面形检测装置研发, 负责人, 国家任务, 2012-01--2020-10
（ 2 ） 六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-12