基本信息
刘兆武  男  硕导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: zhaowuliu@ciomp.ac.cn
通信地址: 东南湖大路3888号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
070207-光学
招生方向
精密位移测量

教育背景

2012-09--2017-06   中国科学院大学   博士
2006-09--2010-06   哈尔滨工业大学   学士

工作经历

   
工作简历
2020-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2017-07~2020-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2012-09~2017-06,中国科学院大学, 博士
2006-09~2010-06,哈尔滨工业大学, 学士

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 外差光栅位移测量装置, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN202010953595.8

( 2 ) 应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN201810035524.2

( 3 ) 一种位移测量光学系统, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN201811329268.4

( 4 ) 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN201710735440.5

( 5 ) 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN201710734790.X

( 6 ) 用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN201710734787.8

出版信息

   
发表论文
(1) Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances, Scientific Reports, 2017, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于光栅的桥梁伸缩缝位移监测技术研究, 负责人, 地方任务, 2020-01--2022-12
( 2 ) 2020-曙光计划, 负责人, 研究所自选, 2020-07--2023-07
( 3 ) 光刻系统中工作台位移的长行程高精度双色差分干涉测量方法研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2022-12
( 4 ) 长量程高精度双色差分激光干涉位移测量方法研究, 负责人, 地方任务, 2019-01--2020-12
( 5 ) 中国科学院青年创新促进会2021会员项目, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12