先进光刻制造与检测技术、高分辨光学系统研制、绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等

   

080300-光学工程
085400-电子信息

先进光学制造技术
仪器仪表工程

2012-07--2017-07   中国科学院大学   博士研究生
2008-08--2012-08   长春理工大学   本科

博士研究生

博士学位

   

2019-12~2023-09,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-08~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-08~2017-08,中国科学院光电技术研究所, 研究实习员

   

（ 1 ） 一种基于多传感融合的缺陷三维检测方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN113970560A

（ 2 ） 一种相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定装置及方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111397505B

（ 3 ） 一种精密光学表面微弱缺陷显微照明方法及装置, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110715930A

（ 4 ） 一种基于相位解析的光学元件自动对心方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110045477A

（ 5 ） 一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109934811A

（ 6 ） 一种光学元件自定心方法及装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109799076A

（ 7 ） 一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109781745A

（ 8 ） 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109490313A

（ 9 ） 一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法及装置, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109443260A

（ 10 ） 一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109358068A

（ 11 ） 一种计算全息基底刻蚀误差的在位标定方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107255456A

   

（1） Stitching method based on dual quaternion for cylindrical mirrors, OPTICS EXPRESS, 2022, 第 8 作者
（2） Global optimisation of source and mask in inverse lithography via tabu search combined with genetic algorithm, OPTICS EXPRESS, 2022, 第 4 作者
（3） 超高精度面形干涉检测技术进展, The research progress of surface interferometric measurement with higher accuracy, 光电工程, 2020, 第 4 作者
（4） Model-based multi-fringe interferometry using Zernike polynomials, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2018, 第 4 作者
（5） 超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用, 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》, 2018, 第 5 作者
（6） Model-based optimization of gravity sagging for a horizontally mounted optical flat, APPLIED OPTICS, 2016, 通讯作者
（7） Iterative algorithm for reconstructing rotationally asymmetric surface deviation with pixel-level spatial resolution, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015, 第 1 作者
（8） Retrace error reconstruction based on point characteristic function, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 3 作者
（9） Modeling Fizeau interferometer based on ray tracing with Zemax, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015, 第 5 作者
（10） Absolute measurement of optical flats based on basic iterative methods, OPTICS EXPRESS, 2015, 通讯作者

已指导学生

肖康  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王青蓝  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王洪  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

张清延  硕士研究生  085400-电子信息  

李建科  硕士研究生  080300-光学工程  

翟方轩  硕士研究生  085400-电子信息  

罗建耀  硕士研究生  085400-电子信息