081002-信号与信息处理

图像处理，光电信号检测与处理

   

2016-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2011-01~2015-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2008-07~2010-12,中国科学院光电技术研究所, 实习研究员

   

（ 1 ） High Accuracy Measurement System for Focusing and Leveling, 2017, 第 1 作者, 专利号: FI150452US

（ 2 ） 一种高精度调焦调平测量系统, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201510762399.1

（ 3 ） 一种将矢量图形自适应分割的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410458372.9

（ 4 ） 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410478006.X

（ 5 ） 一种长焦深光子筛, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410479804.4

（ 6 ） 一种适用于无掩膜光刻机的对准方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: 201210143185.2

（ 7 ） 一种投影光刻调焦的图像处理方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: 201110169113.0

（ 8 ） 一种可调光束能量衰减装置, 2011, 第 1 作者, 专利号: 201010572547.0

   

（1） Dual-channel Light Intensity Modulation Method for Focusing in Projection Lithography, IEEE Photonics Journal, 2016, 第 1 作者
（2） Interferometric Scheme for High-Sensitivity Coaxial Focusing in Projection Lithography, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 4 作者
（3） A Moiré-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography, IEEE Photonics Journal, 2014, 第 4 作者
（4） Methods of Eliminating the Grid Effect Based on DMD Technique of Maskless Lithography, Proc. of SPIE, 2010, 第 1 作者
（5） Message filtering characteristics of semiconductor laser as receiver in optical chaos communication, Optics Communications., 2008, 第 1 作者
（6） Comparison of message filtering characteristics between closed-loop and open-loop feedback schemes., Semiconductor Lasers and Applications III, 2008, 第 2 作者
（7） 激光混沌通信中半导体激光器接收机对高频信号的滤波特性, 物理学报, 2007, 第 2 作者

   

（ 1 ） 传感芯片投影光刻设备研制, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 2 ） ***系统技术研发, 参与, 境内委托项目, 2020-11--2021-12
（ 3 ） ***光学系统研发, 参与, 国家任务, 2020-12--2022-12
（ 4 ） ***系统技术开发, 参与, 境内委托项目, 2020-11--2022-03