针对集成电路/半导体器件中各类缺陷严重制约其性能及可靠性的问题，开展缺陷表征及缺陷修复方面的工作。

迄今为止，本人共发表SCI/EI检索论文40余篇，申请中国发明专利60余项。

本人主要从事光学相关专业与微电子相关专业的交叉研究。欢迎具有光学工程、光电子、光学、微电子、半导体等相关学科背景的学生加入团队，开展研究工作。

080903-微电子学与固体电子学
070207-光学

半导体缺陷光学表征
激光微纳加工技术

2013-09--2014-09   美国宾夕法尼亚州里海大学   国家留学基金委联合培养博士研究生
2009-09--2015-06   天津大学精密仪器与光电子工程学院   光电子技术专业工学博士
2007-03--2009-06   天津大学管理学院   工商管理专业管理学学士
2005-09--2009-06   南开大学信息技术科学学院   光电子技术科学专业工学学士

2019-09~2019-10,英国剑桥大学, 公派访问学者
2018-04~现在, 中国科学院, 副研究员
2015-09~2018-03,北京大学物理学院, 博士后

2022-04-01-今,美国光学学会(Optica, OSA), 终身会员
2021-04-01-今,中国物理学会, 终身会员
2021-04-01-今,中国光学学会, 终身会员
2021-04-01-今,中国光学工程学会, 高级会员
2021-04-01-今,中国仪器仪表学会, 终身会员
2021-03-01-今,辽宁省实验中学“校友大讲堂”, 客座教授
2021-03-01-今,中国微米纳米技术学会, 高级会员
2020-04-15-今,中国光学光电子行业协会激光应用分会, 青年委员

   

（1） 北京市科技新星计划, 省级, 2021
（2） 中国科学院青年创新促进会会员, 院级, 2020
（3） 研究生国家奖学金, , 国家级, 2014

[1] 岳嵩, 刘宇欣, 王然, 侯煜, 李曼, 石海燕, 张昆鹏, 张紫辰, 窦同辉. 超表面透镜的构造方法、超表面透镜. CN: CN116520463A, 2023-08-01.
[2] 侯煜, 李朋, 李曼, 石海燕, 张昆鹏, 岳嵩, 王然, 张喆, 文志东, 薛美, 张紫辰. 一种光纤孔的加工方法及基于其的加工设备. CN: CN115421254A, 2022-12-02.
[3] 李朋, 侯煜, 张昆鹏, 石海燕, 李曼, 岳嵩, 王然, 张喆, 文志东, 薛美, 张紫辰. 一种光纤孔倒角的制造方法及其制造设备. CN: CN115356807A, 2022-11-18.
[4] 张紫辰, 李朋, 侯煜, 张昆鹏, 石海燕, 李曼, 王然, 岳嵩, 张喆, 文志东, 薛美. 一种MT插芯的制造方法及其设备、MT插芯. CN: CN115639647A, 2023-01-24.
[5] 侯煜, 文志东, 张昆鹏, 李曼, 石海燕, 张喆, 宋琦, 许子业, 岳嵩, 王然, 薛美, 张紫辰. 制备黑硅的方法及装置. CN: CN115446449A, 2022-12-09.
[6] 文志东, 侯煜, 张喆, 张昆鹏, 宋琦, 许子业, 石海燕, 李曼, 王然, 岳嵩, 薛美, 张紫辰. 黑硅的制备方法. CN: CN115415664A, 2022-12-02.
[7] 张紫辰, 文志东, 侯煜, 张昆鹏, 石海燕, 李曼, 张喆, 王然, 岳嵩, 薛美, 李朋. 制备黑硅的晶圆调平方法. CN: CN115440645A, 2022-12-06.
[8] 张紫辰, 侯煜, 文志东, 王然, 岳嵩, 张昆鹏, 张喆, 李曼, 石海燕, 薛美, 李朋. 陷光结构制备方法. CN: CN115475803A, 2022-12-16.
[9] 侯煜, 文志东, 岳嵩, 王然, 张喆, 张昆鹏, 李曼, 石海燕, 薛美, 李朋, 张紫辰. 半导体陷光结构制备方法. CN: CN115498067A, 2022-12-20.
[10] 侯煜, 文志东, 石海燕, 张昆鹏, 张喆, 李曼, 岳嵩, 王然, 薛美, 张紫辰. 黑硅制备设备及工艺调整方法. CN: CN115383288A, 2022-11-25.
[11] 文志东, 侯煜, 李曼, 张喆, 石海燕, 张昆鹏, 岳嵩, 王然, 薛美, 李朋, 张紫辰. 黑硅的制备方法及装置. CN: CN115446448A, 2022-12-09.
[12] 王然, 岳嵩, 曲世田, 赵泓达, 薛美, 张紫辰. 一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统. CN: CN115356266A, 2022-11-18.
[13] 王然, 王磊, 李博, 张学文, 赵泓达, 张昆鹏, 张喆, 岳嵩, 张紫辰. 二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置. CN: CN114577728A, 2022-06-03.
[14] 王然, 张昆鹏, 张喆, 赵泓达, 岳嵩, 王磊, 张学文, 李博, 张紫辰. 二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置. CN: CN114577725A, 2022-06-03.
[15] 王然, 李博, 王磊, 张喆, 张昆鹏, 赵泓达, 岳嵩, 张学文, 张紫辰. 二次谐波表征方法、基于其的表征光学系统及检测装置. CN: CN114577726A, 2022-06-03.
[16] 王然, 赵泓达, 王磊, 张学文, 李博, 张喆, 张昆鹏, 岳嵩, 张紫辰. 二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置. CN: CN114577727A, 2022-06-03.
[17] 王然, 张喆, 张昆鹏, 赵泓达, 岳嵩, 王磊, 李博, 张学文, 张紫辰. 二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置. CN: CN114577729A, 2022-06-03.
[18] 李博, 赵泓达, 王磊, 王然, 张紫辰, 张昆鹏, 滕瑞, 刘海南, 赵发展. 一种二次谐波测量方法及测量仪器. CN: CN114839168A, 2022-08-02.
[19] 赵泓达, 李博, 王磊, 王然, 张紫辰, 张昆鹏, 滕瑞, 刘海南, 赵发展. 一种二次谐波测量方法及测量仪器. CN: CN114813662A, 2022-07-29.
[20] 侯煜, 李曼, 王然, 岳嵩, 张昆鹏, 石海燕, 张喆, 薛美, 张紫辰. 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法. CN: CN112904601A, 2021-06-04.
[21] 张喆, 侯煜, 李曼, 王然, 岳嵩, 石海燕",null,null,"张紫辰. 一种裂片装置. CN: CN112847853A, 2021-05-28.
[22] 张紫辰, 侯煜",null,"王然",null,"李曼. 一种裂片装置. CN: CN112885746A, 2021-06-01.
[23] 侯煜, 王瑜, 岳嵩, 王然, 张紫辰. 可控微透镜阵列清洁装置. CN: CN112718702A, 2021-04-30.
[24] 王瑜, 侯煜, 岳嵩, 王然, 张紫辰. 激光退火设备的光束检测装置及方法. CN: CN112834027A, 2021-05-25.
[25] 王瑜, 侯煜, 岳嵩, 王然, 张紫辰. 激光退火设备的光束检测装置及方法. CN: CN112834027B, 2023-08-11.
[26] 岳嵩, 王瑜, 侯煜, 王然, 张紫辰. 光学整形装置及方法. CN: CN112769025A, 2021-05-07.
[27] 岳嵩, 侯茂菁, 王然, 张紫辰. 一种超材料红外吸收体及其制造方法. CN: CN112698433A, 2021-04-23.
[28] 赵泓达, 李博, 王磊, 王然, 张紫辰, 张昆鹏, 罗家俊, 滕瑞. 一种二次谐波表征半导体材料的方法及测量平台. CN: CN114646617A, 2022-06-21.
[29] 赵泓达, 李博, 王磊, 王然, 张紫辰, 张昆鹏, 罗家俊, 滕瑞. 一种半导体缺陷表征的方法、装置、系统、设备及介质. CN: CN114636677A, 2022-06-17.
[30] 王然, 刘嵩, 岳嵩, 侯煜, 李曼, 张喆, 孙鸿雁, 张紫辰. 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体. CN: CN109459808A, 2019-03-12.
[31] 王然, 刘嵩, 岳嵩, 侯煜, 李曼, 张喆, 孙鸿雁, 张紫辰. 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体. CN: CN109738975A, 2019-05-10.

   

（1） Broadband perfect absorber in the visible region based on metasurface composite structures, Materials, 2022, 第 1 作者
（2） 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 第 4 作者
（3） Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 3 作者
（4） 基于高阶表面等离子体共振的窄带完美吸波体, 红外与激光工程, 2020, 第 2 作者
（5） Extra-narrowband metallic filters with an ultrathin single-layer metallic grating, Extra-narrowband metallic filters with an ultrathin single-layer metallic grating, CHINESE PHYSICS B, 2020, 第 1 作者
（6） CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 3 作者
（7） Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2019, 
（8） A carpet cloak based on gradient metasurfaces, 20TH ANNUAL CONFERENCE AND 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE OF CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECHNOLOGY, 2019, 

（1） Atmospheric Propagation of Terahertz Radiation, InTech Open Access Publisher, 2012-06, 第 2 作者

   

（ 1 ） 中国科学院青年创新促进会项目, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12
（ 2 ） 集成电路激光XX技术, 参与, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 3 ） 激光XX技术及应用, 参与, 国家任务, 2018-11--2023-12
（ 4 ） XX材料激光XX设备, 参与, 国家任务, 2019-01--2021-03
（ 5 ） XX精密激光XX机, 参与, 国家任务, 2018-01--2019-12
（ 6 ） 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 参与, 中国科学院计划, 2019-01--2021-12
（ 7 ） 全光可调谐超表面完美吸收体的研究, 负责人, 其他任务, 2017-05--2018-03
（ 8 ） 基于激光XX的XX表征仪器, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2023-12
（ 9 ） 北京市科技新星计划, 负责人, 地方任务, 2021-11--2024-10
（ 10 ） 非局域场共振亚波长金属光栅的滤波机理及传感应用研究, 负责人, 地方任务, 2022-01--2023-12

（1）超表面微纳光学器件——光栅滤波器及完美吸收体   中国微米纳米技术学会第二十三届学术年会暨第十二届国际会议   2021-12-11
（2）A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces   中国微米纳米技术学会第二十届学术年会暨第九届国际会议   2018-10-19