基本信息
李卫民  男  博导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： weimin.li@mail.sim.ac.cn
通信地址： 上海市长宁路865号
邮政编码： 201800

招生信息

   
招生专业
0805Z2-半导体材料与器件
招生方向
集成电路材料

教育背景

1992-09--1999-05   University of Utah   博士
1987-09--2020-07   清华大学   工学学士

工作经历

   
工作简历
2019-02~现在, 中科院上海微系统与信息技术研究所, 研究员
2006-04~2017-01,Entegris Inc., Sr. Principal Scientist
2005-05~2006-03,中芯国际集成电路制造有限公司, 助理处长
2003-04~2004-10,中芯国际集成电路制造有限公司, 助理处长
1996-06~2003-04,Micron Technology, Inc., Sr. Engineer Lead
1992-09~1999-05,University of Utah, 博士
1987-09~2020-07,清华大学, 工学学士

专利与奖励

   
专利成果
（ 1 ） 高通量气相沉积设备及气相沉积方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110408910B

（ 2 ） 高通量薄膜沉积设备及薄膜沉积方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110306160A

科研活动

   
科研项目
（ 1 ） BR计划A类项目，先进集成电路材料应用研发, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 国家新材料数据库平台建设关键技术研究, 参与, 国家任务, 2020-09--2022-08
（ 3 ） 5G滤波器掺杂AlN压电薄膜工艺开发, 参与, 地方任务, 2020-08--2022-07
（ 4 ） BR计划A类项目匹配，先进集成电路材料应用研发, 负责人, 研究所自选, 2020-01--2022-12
（ 5 ） 信息功能材料国家重点实验室建设, 参与, 国家任务, 2022-01--2023-12