080300-光学工程
140100-集成电路科学与工程
085400-电子信息

准分子激光应用技术、新原理装备技术
电子系统设计自动化
激光技术

2002-09--2008-06   美国   硕士、博士研究生
1996-09--2000-07   清华大学   本科

   

2017-07~现在, 中国科学院微电子研究所, “****”研究员
2008-07~2017-06,xx知名公司, 首席技术专家
2002-09~2008-06,美国, 硕士、博士研究生
1996-09~2000-07,清华大学, 本科

   

（1） 北京市首台（套）重大技术装备, , 部委级, 2021
（2） 第三批“新创工程.亦麒麟”领军人才, , 省级, 2018
（3） 北京市“海聚计划”特聘专家称号, , 省级, 2018
（4） 中国科学院2017年度率先行动“**技术”技术英才, , 省级, 2018

（ 1 ） 一种工件预处理设备及其预处理方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010374181.X

（ 2 ） 一种工件预处理设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202020727480.2

（ 3 ） 一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN202010127468.2

（ 4 ） 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113630.5

（ 5 ） 一种激光加工方法和设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113641.4

（ 6 ） 一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN109638629B

（ 7 ） 一种用于准分子激光器的镜片调整装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209674118U

（ 8 ） 一种准分子激光器温度控制装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209561850U

（ 9 ） 一种光谱稳定的线宽调整装置及系统, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209446454U

（ 10 ） 一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN108507686B

（ 11 ） 一种线宽压窄模块, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN209169621U

（ 12 ） 带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208904391U

（ 13 ） 一种带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208571210U

（ 14 ） Wafer-based light source parameter control, 2017, 第 5 作者, 专利号: WOUS17055181

（ 15 ） SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC GAS OPTIMIZATION IN A TWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM, 2014, 第 1 作者, 专利号: WOUS12043541

（ 16 ） System and Method for Automatic Gas Optimization in a Two-Chamber Gas Discharge Laser System, 2013, 第 4 作者, 专利号: WOUS12040933

   

（1） Picosecond high-power 213-nm deep-ultraviolet laser generation using ss-BaB2O4 crystal, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2021, 第 6 作者
（2） 基于SiC MOSFET的新型直线变压器驱动源设计, A Novel Design of Linear Transformer Driver Based on SiC MOSFET, 电力电子技术, 2020, 第 4 作者
（3） 准分子激光器中放电冲击波的仿真研究, Simulation of Discharge Shock Waves in Excimer Laser, 中国激光, 2020, 第 4 作者
（4） 高重频KrF准分子激光器能量特性控制, Energy characteristics control of high-repetition frequency KrF excimer laser, 红外与激光工程, 2020, 第 3 作者
（5） 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究, Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, 中国激光, 2019, 第 5 作者
（6） Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2019, 第 5 作者
（7） Corrosion behavior of aluminum in fluoride-containing discharge condition for excimer laser structure application, MATERIALS RESEARCH EXPRESS, 2019, 通讯作者
（8） Investigation on gas medium parameters for an ArF excimer laser through orthogonal experimental design, SOLID STATE LASERS XXVII: TECHNOLOGY AND DEVICES, 2018, 
（9） Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser irradiation at 193nm, PACIFIC-RIM LASER DAMAGE 2018: OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2018, 
（10） Translation of Gbps phase-modulated optical signal from near-infrared to visible band, JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2008, 通讯作者
（11） Continuous-wave band translation between the near-infrared and visible spectral ranges, JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2007, 通讯作者
（12） Parametric wavelength conversion from conventional near-infrared to visible band, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2006, 

   

（ 1 ） XX曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 负责人, 国家任务, 2016-01--2022-12
（ 2 ） XX曝光光源产品开发, 负责人, 国家任务, 2013-01--2021-12
（ 3 ） 深紫外准连续激光光源研制, 负责人, 国家任务, 2018-01--2021-06
（ 4 ） XX光源核心元器件国产化产品开发, 负责人, 国家任务, 2021-06--2024-06