基本信息
江锐  男  博导  所外单位
电子邮件: jiangrui@ime.ac.cn
通信地址: 北京市经济技术开发区经海四路156号十号楼
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
140100-集成电路科学与工程
招生方向
准分子激光应用技术、新原理装备技术
电子系统设计自动化
激光技术

教育背景

2002-09--2008-06   美国   硕士、博士研究生
1996-09--2000-07   清华大学   本科

工作经历

   
工作简历
2017-07~现在, 中国科学院微电子研究所, “****”研究员
2008-07~2017-06,xx知名公司, 首席技术专家
2002-09~2008-06,美国, 硕士、博士研究生
1996-09~2000-07,清华大学, 本科

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 北京市首台(套)重大技术装备, , 部委级, 2021
(2) 第三批“新创工程.亦麒麟”领军人才, , 省级, 2018
(3) 北京市“海聚计划”特聘专家称号, , 省级, 2018
(4) 中国科学院2017年度率先行动“**技术”技术英才, , 省级, 2018
专利成果
( 1 ) 一种工件预处理设备及其预处理方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010374181.X

( 2 ) 一种工件预处理设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202020727480.2

( 3 ) 一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN202010127468.2

( 4 ) 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113630.5

( 5 ) 一种激光加工方法和设备, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN202010113641.4

( 6 ) 一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN109638629B

( 7 ) 一种用于准分子激光器的镜片调整装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209674118U

( 8 ) 一种准分子激光器温度控制装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209561850U

( 9 ) 一种光谱稳定的线宽调整装置及系统, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN209446454U

( 10 ) 一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN108507686B

( 11 ) 一种线宽压窄模块, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN209169621U

( 12 ) 带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208904391U

( 13 ) 一种带有对准装置的线宽压窄模块及准分子激光器, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN208571210U

( 14 ) Wafer-based light source parameter control, 2017, 第 5 作者, 专利号: WOUS17055181

( 15 ) SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC GAS OPTIMIZATION IN A TWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM, 2014, 第 1 作者, 专利号: WOUS12043541

( 16 ) System and Method for Automatic Gas Optimization in a Two-Chamber Gas Discharge Laser System, 2013, 第 4 作者, 专利号: WOUS12040933

出版信息

   
发表论文
(1) Picosecond high-power 213-nm deep-ultraviolet laser generation using ss-BaB2O4 crystal, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2021, 第 6 作者
(2) 基于SiC MOSFET的新型直线变压器驱动源设计, A Novel Design of Linear Transformer Driver Based on SiC MOSFET, 电力电子技术, 2020, 第 4 作者
(3) 准分子激光器中放电冲击波的仿真研究, Simulation of Discharge Shock Waves in Excimer Laser, 中国激光, 2020, 第 4 作者
(4) 高重频KrF准分子激光器能量特性控制, Energy characteristics control of high-repetition frequency KrF excimer laser, 红外与激光工程, 2020, 第 3 作者
(5) 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究, Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, 中国激光, 2019, 第 5 作者
(6) Experimental Study of Characteristics of Discharge Shock Waves in High-Repetition-Rate Excimer Lasers, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2019, 第 5 作者
(7) Corrosion behavior of aluminum in fluoride-containing discharge condition for excimer laser structure application, MATERIALS RESEARCH EXPRESS, 2019, 第 11 作者
(8) Investigation on gas medium parameters for an ArF excimer laser through orthogonal experimental design, SOLID STATE LASERS XXVII: TECHNOLOGY AND DEVICES, 2018, 
(9) Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser irradiation at 193nm, PACIFIC-RIM LASER DAMAGE 2018: OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2018, 
(10) Translation of Gbps phase-modulated optical signal from near-infrared to visible band, JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2008, 第 11 作者
(11) Continuous-wave band translation between the near-infrared and visible spectral ranges, JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, 2007, 第 11 作者
(12) Parametric wavelength conversion from conventional near-infrared to visible band, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2006, 

科研活动

   
科研项目
( 1 ) XX光源核心元器件国产化产品开发, 负责人, 国家任务, 2021-06--2024-06
( 2 ) 深紫外准连续激光光源研制, 负责人, 国家任务, 2018-01--2021-06
( 3 ) XX曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 负责人, 国家任务, 2016-01--2022-12
( 4 ) XX曝光光源产品开发, 负责人, 国家任务, 2013-01--2021-12