基本信息
陈进新  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: chenjinxin@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号微电子所B507
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
080201-机械制造及其自动化
招生方向
先进光刻
精密系统机械设计、极紫外光刻真空
集成电路光刻技术

教育背景

2010-09--2015-07   中国科学院大学   博士
2005-09--2008-07   中国科学院研究生院   硕士
2000-09--2004-07   北京航空航天大学   本科

工作经历

   
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2017-06~2018-07,美国SLAC国家加速器实验室, 访问学者
2015-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师
2010-10~2015-11,中国科学院光电研究院, 工程师
2010-09~2015-07,中国科学院大学, 博士
2008-07~2010-09,中国科学院光电研究院, 助理工程师
2005-09~2008-07,中国科学院研究生院, 硕士
2000-09~2004-07,北京航空航天大学, 本科

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510076613

( 2 ) 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201610390695

( 3 ) 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610391179

( 4 ) 一种极紫外反射镜片的装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510075790

( 5 ) 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410545200

( 6 ) 一种气体放电激光光源, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210333164

( 7 ) 一种新型气体放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210337140

( 8 ) 一种极紫外辐照材料测试系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310319441

( 9 ) 一种动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310320652

( 10 ) 一种螺旋气流动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310343253

( 11 ) 一种气体激光器放电腔的电极机构, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201210266544

出版信息

   
发表论文
(1) 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum, MME, 2017, 第 1 作者
(2) 极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究, 光学学报, 2017, 第 1 作者
(3) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究, 激光与光电子学进展, 2017, 第 1 作者
(4) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究, 激光与光电子学进展, 2016, 第 1 作者
(5) 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究, 真空科学与技术学报, 2015, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 负责人, 国家任务, 2018-01--2021-12