基本信息
李璟  女  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： lijing2018@ime.ac.cn
通信地址： 北土城西路3号院
邮政编码：

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
080902-电路与系统
085400-电子信息
招生方向
先进光刻
智能信息处理与传输
集成电路光刻技术

教育背景

2004-09--2006-09   荷兰埃因霍芬理工大学   工学博士
2002-10--2004-08   荷兰莱顿大学   理学硕士
1998-09--2002-08   东南大学   理学学士

工作经历

   
工作简历
2006-09~2010-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 理学博士
2004-09~2006-09,荷兰埃因霍芬理工大学, 工学博士
2002-10~2004-08,荷兰莱顿大学, 理学硕士
1998-09~2002-08,东南大学, 理学学士

出版信息

   
发表著作
Analysis of the Perception of Graphical Encodings for Information Visualization, Eindhoven University of Technology, 2010-12, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
（ 1 ） 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2018-10--2021-03
（ 2 ） 测控系统真空实验研究, 负责人, 中国科学院计划, 2020-06--2023-06
（ 3 ） 光刻系统集成关键技术, 负责人, 研究所自选, 2018-11--2022-12
（ 4 ） EUV系统协同及综合试验验证平台, 负责人, 中国科学院计划, 2019-09--2020-12
（ 5 ） 核心控制机构技术研究, 负责人, 研究所自选, 2020-06--2020-11