2007-09--2011-05   剑桥大学   博士
2005-09--2007-06   东南大学   硕士
2001-09--2004-05   东南大学   学士

   

2020-01~现在, 中科院微电子所硅器件重点实验室, 副主任
2018-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员；课题组长；昆山分所副所长；设备中心副主任
2016-08~2018-03,中国科学院微电子研究所, 副研究员、课题组长
2015-09~2016-07,清华大学, 助理教授
2012-09~2015-09,清华大学, 博士后
2011-11~2012-08,剑桥大学, Research Associate
2007-09~2011-05,剑桥大学, 博士
2005-09~2007-06,东南大学, 硕士
2001-09~2004-05,东南大学, 学士

2018-10-09-今,全国半导体设备和材料标准化技术委员会SAC/TC203, 委员
2018-05-31-今,中国指挥与控制协会, 智能可穿戴技术专业委员会，会员
2017-02-28-今,国家发改委技术改造与产业升级项目, 专家
2016-10-19-今,中国计量测试学会, 第七届自动计量测控技术专业委员会，委员
2016-01-20-今,中国集成电路知识产权联盟, 专家委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表协会, 委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表学会测量与控制专业委员会, 常务委员
2013-07-01-今,中国微米纳米技术学会, 高级会员

   

（1） 特种元器件激光调控技术及装备, 二等奖, 部委级, 2022
（2） 激光微米纳米加工技术及其专用设备的应用, 一等奖, 部委级, 2021

（ 1 ） 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112904601A

（ 2 ） 一种裂片装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112885746A

（ 3 ） 一种裂片装置, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112847853A

（ 4 ） 激光退火设备的光束检测装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112834027A

（ 5 ） 光学整形装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112769025A

（ 6 ） 可控微透镜阵列清洁装置, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112718702A

（ 7 ） 一种超材料红外吸收体及其制造方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112698433A

（ 8 ） 激光加工设备的故障诊断方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078543.5

（ 9 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109738975A

（ 10 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107252982B

（ 11 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109459808A

（ 12 ） 一种红外探测器及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106517077B

（ 13 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 14 ） 一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108226098A

（ 15 ） 一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108169185A

（ 16 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 17 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 18 ） 一种激光加工晶圆的装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107433396A

（ 19 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107414309A

（ 20 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107378258A

（ 21 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378232A

（ 22 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378255A

（ 23 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107252982A

（ 24 ） 一种激光加工晶圆的控制方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107239088A

（ 25 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214418A

（ 26 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214419A

（ 27 ） 一种红外探测器及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106517077A

（ 28 ） 激光退火装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106409733A

（ 29 ） 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103217818A

（ 30 ） 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103197455A

   

（1） 飞秒激光加工快速测高随动方法研究, 激光与红外, 2022, 第 11 作者
（2） Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制, Quality Stability Control of Laser Grooving Process for Low-K Chip, 电子产品可靠性与环境试验, 2022, 第 11 作者
（3） Broadband perfect absorber in the visible region based on metasurface composite structures, Materials, 2022, 第 3 作者
（4） 固体浸没式红外超表面透镜设计, Design of solid-immersion infrared metalens, 红外与激光工程, 2022, 第 7 作者
（5） Design of Polarization-Independent Reflective Metalens in the Ultraviolet-Visible Wavelength Region, NANOMATERIALS, 2021, 第 11 作者
（6） 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 第 11 作者
（7） Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 11 作者
（8） 基于高阶表面等离子体共振的窄带完美吸波体, 红外与激光工程, 2020, 第 3 作者
（9） 利用高阶表面等离子体共振实现窄带完美吸收, Narrow-band perfect absorption utilizing higher-order surface plasmon resonance, 红外与激光工程, 2020, 第 5 作者
（10） CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 11 作者
（11） Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2019, 第 1 作者
（12） A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces. Journal of Physics: Conference Series, The 9th International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, 2019, 第 11 作者
（13） 用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析, Brief Analysis of Laser Scratching Technology for InSb Detector Chip, 红外, 2018, 第 3 作者
（14） Tailorable chiral optical response through coupling among plasmonic meta-atoms with distinct shapes, OPTICS LETTERS, 2018, 第 11 作者
（15） Enhanced performance of thermal-assisted electron field emission based on barium oxide nanowire, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 第 11 作者
（16） 532nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究, Studyon 532-nm Flattened Laser Beam for Silicon Wafer Grooving, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
（17） Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS, 2017, 第 11 作者
（18） 紫外激光改性氧化钒薄膜, Vanadium oxide film modified by UV laser, 激光与红外, 2017, 第 5 作者
（19） A1N陶瓷激光金属化的研究进展, Research Progress on Laser Metallization of A1N Ceramic, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
（20） Surface plasmon-enhanced dual-band infrared absorber for VO_x-based microbolometer application, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 5 作者
（21） Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS (BASEL), 2017, 第 2 作者
（22） 晶圆激光切割技术的研究进展, Research Progress on Wafer Laser Cutting Technology, 半导体技术, 2017, 第 4 作者
（23） 固体纳秒激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究, Application of 532 nm solid nanosecond laser in crystallization of amorphous silicon thin films, 激光与红外, 2017, 第 4 作者
（24） Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTERS, 2016, 第 1 作者
（25） Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTER, 2016, 第 1 作者
（26） High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 第 10 作者
（27） High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots/Reduced Graphene Oxide Fragment-Decorated ZnO Nanowires, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 第 11 作者
（28） Size Tunable ZnO Nanoparticles To Enhance Electron Injection in Solution Processed QLEDs, ACS PHOTONICS, 2016, 第 7 作者
（29） Advanced die-level assembly techniques and quality analysis for phase-only liquid crystal on silicon devices, PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE, 2016, 第 11 作者
（30） 纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术, Fundamentals of Die-Level Assembly Techniques for Phase-Only Liquid Crystal on Silicon Devices, 电子学报, 2015, 第 1 作者
（31） Flexible quantum dot light emitting diodes based on ZnO nanoparticles, RSC ADVANCES, 2015, 第 9 作者
（32） 基于 MEMS 技术的智能传感器系统（“智能灰尘”）, MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust"), 电子学报, 2015, 第 1 作者
（33） Fundamentals of phase-only liquid crystal on silicon (LCOS) devices, LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS, 2014, 第 1 作者
（34） 一种面向空间应用的激光测距方案设计与实验, Design and experiment of a laser ranging scheme for aerospace applications, 红外与激光工程, 2014, 第 3 作者
（35） Optical Fourier transform based in-plane vibration characterization for MEMS comb structure, OPTICS EXPRESS, 2013, 第 5 作者

   

（ 1 ） 激光星间通信应用 , 负责人, 国家任务, 2023-01--2027-12
（ 2 ） 砷化镓激光划片, 参与, 国家任务, 2023-01--2025-12
（ 3 ） 激光杂质激活设备, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 4 ） 激光清洗设备, 负责人, 国家任务, 2021-12--2026-12
（ 5 ） 宇航级xxx芯片的激光划片工艺, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 6 ） XXX激光冷加工设备, 负责人, 国家任务, 2018-12--2021-03
（ 7 ） 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 负责人, 研究所自主部署, 2018-12--2021-12
（ 8 ） 激光XXXX及XX, 负责人, 国家任务, 2018-11--2023-12

（1）Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer   2019-08-15