080903-微电子学与固体电子学
140100-集成电路科学与工程
085400-电子信息

激光微米纳米加工技术
光电子技术、微电子技术
集成电路先导工艺技术

2007-09--2011-05   剑桥大学   博士
2005-09--2007-06   东南大学   硕士
2001-09--2004-05   东南大学   学士

   

2020-01~现在, 中科院微电子所硅器件重点实验室, 副主任
2018-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员；课题组长；昆山分所副所长；设备中心副主任
2016-08~2018-03,中国科学院微电子研究所, 副研究员、课题组长
2015-09~2016-07,清华大学, 助理教授
2012-09~2015-09,清华大学, 博士后
2011-11~2012-08,剑桥大学, Research Associate
2007-09~2011-05,剑桥大学, 博士
2005-09~2007-06,东南大学, 硕士
2001-09~2004-05,东南大学, 学士

2018-10-09-今,全国半导体设备和材料标准化技术委员会SAC/TC203, 委员
2018-05-31-今,中国指挥与控制协会, 智能可穿戴技术专业委员会，会员
2017-02-28-今,国家发改委技术改造与产业升级项目, 专家
2016-10-19-今,中国计量测试学会, 第七届自动计量测控技术专业委员会，委员
2016-01-20-今,中国集成电路知识产权联盟, 专家委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表协会, 委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表学会测量与控制专业委员会, 常务委员
2013-07-01-今,中国微米纳米技术学会, 高级会员

   

（1） 特种元器件激光调控技术及装备, 二等奖, 部委级, 2022
（2） 激光微米纳米加工技术及其专用设备的应用, 一等奖, 部委级, 2021

（ 1 ） 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112904601A

（ 2 ） 一种裂片装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112885746A

（ 3 ） 一种裂片装置, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112847853A

（ 4 ） 激光退火设备的光束检测装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112834027A

（ 5 ） 光学整形装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112769025A

（ 6 ） 可控微透镜阵列清洁装置, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112718702A

（ 7 ） 一种超材料红外吸收体及其制造方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112698433A

（ 8 ） 激光加工设备的故障诊断方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078543.5

（ 9 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109738975A

（ 10 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107252982B

（ 11 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109459808A

（ 12 ） 一种红外探测器及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106517077B

（ 13 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 14 ） 一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108226098A

（ 15 ） 一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108169185A

（ 16 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 17 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

（ 18 ） 一种激光加工晶圆的装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107433396A

（ 19 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107414309A

（ 20 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107378258A

（ 21 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378232A

（ 22 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378255A

（ 23 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107252982A

（ 24 ） 一种激光加工晶圆的控制方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107239088A

（ 25 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214418A

（ 26 ） 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214419A

（ 27 ） 一种红外探测器及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106517077A

（ 28 ） 激光退火装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106409733A

（ 29 ） 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103217818A

（ 30 ） 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103197455A

   

（1） 飞秒激光加工快速测高随动方法研究, 激光与红外, 2022, 通讯作者
（2） Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制, Quality Stability Control of Laser Grooving Process for Low-K Chip, 电子产品可靠性与环境试验, 2022, 通讯作者
（3） Broadband perfect absorber in the visible region based on metasurface composite structures, Materials, 2022, 第 3 作者
（4） 固体浸没式红外超表面透镜设计, Design of solid-immersion infrared metalens, 红外与激光工程, 2022, 第 7 作者
（5） Design of Polarization-Independent Reflective Metalens in the Ultraviolet-Visible Wavelength Region, NANOMATERIALS, 2021, 通讯作者
（6） 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 通讯作者
（7） Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 通讯作者
（8） 基于高阶表面等离子体共振的窄带完美吸波体, 红外与激光工程, 2020, 第 3 作者
（9） 利用高阶表面等离子体共振实现窄带完美吸收, Narrow-band perfect absorption utilizing higher-order surface plasmon resonance, 红外与激光工程, 2020, 第 5 作者
（10） CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 通讯作者
（11） Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2019, 第 1 作者
（12） A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces. Journal of Physics: Conference Series, The 9th International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, 2019, 通讯作者
（13） 用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析, Brief Analysis of Laser Scratching Technology for InSb Detector Chip, 红外, 2018, 第 3 作者
（14） Tailorable chiral optical response through coupling among plasmonic meta-atoms with distinct shapes, OPTICS LETTERS, 2018, 通讯作者
（15） Enhanced performance of thermal-assisted electron field emission based on barium oxide nanowire, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 通讯作者
（16） 532nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究, Studyon 532-nm Flattened Laser Beam for Silicon Wafer Grooving, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
（17） Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS, 2017, 通讯作者
（18） 紫外激光改性氧化钒薄膜, Vanadium oxide film modified by UV laser, 激光与红外, 2017, 第 5 作者
（19） A1N陶瓷激光金属化的研究进展, Research Progress on Laser Metallization of A1N Ceramic, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
（20） Surface plasmon-enhanced dual-band infrared absorber for VO_x-based microbolometer application, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 5 作者
（21） Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS (BASEL), 2017, 第 2 作者
（22） 晶圆激光切割技术的研究进展, Research Progress on Wafer Laser Cutting Technology, 半导体技术, 2017, 第 4 作者
（23） 固体纳秒激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究, Application of 532 nm solid nanosecond laser in crystallization of amorphous silicon thin films, 激光与红外, 2017, 第 4 作者
（24） Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTERS, 2016, 第 1 作者
（25） Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTER, 2016, 第 1 作者
（26） High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 第 10 作者
（27） High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots/Reduced Graphene Oxide Fragment-Decorated ZnO Nanowires, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 通讯作者
（28） Size Tunable ZnO Nanoparticles To Enhance Electron Injection in Solution Processed QLEDs, ACS PHOTONICS, 2016, 第 7 作者
（29） Advanced die-level assembly techniques and quality analysis for phase-only liquid crystal on silicon devices, PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE, 2016, 通讯作者
（30） 纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术, Fundamentals of Die-Level Assembly Techniques for Phase-Only Liquid Crystal on Silicon Devices, 电子学报, 2015, 第 1 作者
（31） Flexible quantum dot light emitting diodes based on ZnO nanoparticles, RSC ADVANCES, 2015, 第 9 作者
（32） 基于 MEMS 技术的智能传感器系统（“智能灰尘”）, MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust"), 电子学报, 2015, 第 1 作者
（33） Fundamentals of phase-only liquid crystal on silicon (LCOS) devices, LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS, 2014, 第 1 作者
（34） 一种面向空间应用的激光测距方案设计与实验, Design and experiment of a laser ranging scheme for aerospace applications, 红外与激光工程, 2014, 第 3 作者
（35） Optical Fourier transform based in-plane vibration characterization for MEMS comb structure, OPTICS EXPRESS, 2013, 第 5 作者

   

（ 1 ） XXX激光冷加工设备, 负责人, 国家任务, 2018-12--2021-03
（ 2 ） 激光XXXX及XX, 负责人, 国家任务, 2018-11--2023-12
（ 3 ） 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 负责人, 研究所自主部署, 2018-12--2021-12
（ 4 ） 宇航级xxx芯片的激光划片工艺, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 5 ） 激光清洗设备, 负责人, 国家任务, 2021-12--2026-12
（ 6 ） 激光杂质激活设备, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 7 ） 激光星间通信应用 , 负责人, 国家任务, 2023-01--2027-12
（ 8 ） 砷化镓激光划片, 参与, 国家任务, 2023-01--2025-12

（1）Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer   2019-08-15