基本信息
张紫辰  男  博导  所外单位
电子邮件: zz241@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
140100-集成电路科学与工程
招生方向
激光微米纳米加工技术
光电子技术、微电子技术
集成电路先导工艺技术

教育背景

2007-09--2011-05   剑桥大学   博士
2005-09--2007-06   东南大学   硕士
2001-09--2004-05   东南大学   学士

工作经历

   
工作简历
2020-01~现在, 中科院微电子所硅器件重点实验室, 副主任
2018-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员;课题组长;昆山分所副所长;设备中心副主任
2016-08~2018-03,中国科学院微电子研究所, 副研究员、课题组长
2015-09~2016-07,清华大学, 助理教授
2012-09~2015-09,清华大学, 博士后
2011-11~2012-08,剑桥大学, Research Associate
2007-09~2011-05,剑桥大学, 博士
2005-09~2007-06,东南大学, 硕士
2001-09~2004-05,东南大学, 学士
社会兼职
2018-10-09-今,全国半导体设备和材料标准化技术委员会SAC/TC203, 委员
2018-05-31-今,中国指挥与控制协会, 智能可穿戴技术专业委员会,会员
2017-02-28-今,国家发改委技术改造与产业升级项目, 专家
2016-10-19-今,中国计量测试学会, 第七届自动计量测控技术专业委员会,委员
2016-01-20-今,中国集成电路知识产权联盟, 专家委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表协会, 委员
2014-10-10-今,中国仪器仪表学会测量与控制专业委员会, 常务委员
2013-07-01-今,中国微米纳米技术学会, 高级会员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 特种元器件激光调控技术及装备, 二等奖, 部委级, 2022
(2) 激光微米纳米加工技术及其专用设备的应用, 一等奖, 部委级, 2021
专利成果
( 1 ) 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112904601A

( 2 ) 一种裂片装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112885746A

( 3 ) 一种裂片装置, 2021, 第 9 作者, 专利号: CN112847853A

( 4 ) 激光退火设备的光束检测装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112834027A

( 5 ) 光学整形装置及方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112769025A

( 6 ) 可控微透镜阵列清洁装置, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112718702A

( 7 ) 一种超材料红外吸收体及其制造方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112698433A

( 8 ) 激光加工设备的故障诊断方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078543.5

( 9 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109738975A

( 10 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107252982B

( 11 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109459808A

( 12 ) 一种红外探测器及其制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN106517077B

( 13 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

( 14 ) 一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108226098A

( 15 ) 一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108169185A

( 16 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

( 17 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107685196A

( 18 ) 一种激光加工晶圆的装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107433396A

( 19 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107414309A

( 20 ) 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107378258A

( 21 ) 一种激光加工晶圆的方法及系统, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378232A

( 22 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107378255A

( 23 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107252982A

( 24 ) 一种激光加工晶圆的控制方法及系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107239088A

( 25 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214418A

( 26 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107214419A

( 27 ) 一种红外探测器及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106517077A

( 28 ) 激光退火装置及方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106409733A

( 29 ) 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103217818A

( 30 ) 一种提高相控硅基液晶器件响应速度的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103197455A

出版信息

   
发表论文
(1) 飞秒激光加工快速测高随动方法研究, 激光与红外, 2022, 第 11 作者
(2) Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制, Quality Stability Control of Laser Grooving Process for Low-K Chip, 电子产品可靠性与环境试验, 2022, 第 11 作者
(3) Broadband perfect absorber in the visible region based on metasurface composite structures, Materials, 2022, 第 3 作者
(4) 固体浸没式红外超表面透镜设计, Design of solid-immersion infrared metalens, 红外与激光工程, 2022, 第 7 作者
(5) Design of Polarization-Independent Reflective Metalens in the Ultraviolet-Visible Wavelength Region, NANOMATERIALS, 2021, 第 11 作者
(6) 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 第 11 作者
(7) Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 11 作者
(8) 基于高阶表面等离子体共振的窄带完美吸波体, 红外与激光工程, 2020, 第 3 作者
(9) 利用高阶表面等离子体共振实现窄带完美吸收, Narrow-band perfect absorption utilizing higher-order surface plasmon resonance, 红外与激光工程, 2020, 第 5 作者
(10) CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 11 作者
(11) Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2019, 第 1 作者
(12) A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces. Journal of Physics: Conference Series, The 9th International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology, 2019, 第 11 作者
(13) 用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析, Brief Analysis of Laser Scratching Technology for InSb Detector Chip, 红外, 2018, 第 3 作者
(14) Tailorable chiral optical response through coupling among plasmonic meta-atoms with distinct shapes, OPTICS LETTERS, 2018, 第 11 作者
(15) Enhanced performance of thermal-assisted electron field emission based on barium oxide nanowire, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 第 11 作者
(16) 532nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究, Studyon 532-nm Flattened Laser Beam for Silicon Wafer Grooving, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
(17) Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS, 2017, 第 11 作者
(18) 紫外激光改性氧化钒薄膜, Vanadium oxide film modified by UV laser, 激光与红外, 2017, 第 5 作者
(19) A1N陶瓷激光金属化的研究进展, Research Progress on Laser Metallization of A1N Ceramic, 激光与光电子学进展, 2017, 第 4 作者
(20) Surface plasmon-enhanced dual-band infrared absorber for VO_x-based microbolometer application, CHINESE PHYSICS B, 2017, 第 5 作者
(21) Effect of Intrinsic Stress on Structural and Optical Properties of Amorphous Si-Doped SnO2 Thin-Film, MATERIALS (BASEL), 2017, 第 2 作者
(22) 晶圆激光切割技术的研究进展, Research Progress on Wafer Laser Cutting Technology, 半导体技术, 2017, 第 4 作者
(23) 固体纳秒激光器应用于非晶硅薄膜结晶的研究, Application of 532 nm solid nanosecond laser in crystallization of amorphous silicon thin films, 激光与红外, 2017, 第 4 作者
(24) Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTERS, 2016, 第 1 作者
(25) Temperature-dependent optical response of phase-only nematic liquid crystal on silicon devices, CHINESE OPTICS LETTER, 2016, 第 1 作者
(26) High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 第 10 作者
(27) High-Performance Photo-Modulated Thin-Film Transistor Based on Quantum dots/Reduced Graphene Oxide Fragment-Decorated ZnO Nanowires, NANO-MICRO LETTERS, 2016, 第 11 作者
(28) Size Tunable ZnO Nanoparticles To Enhance Electron Injection in Solution Processed QLEDs, ACS PHOTONICS, 2016, 第 7 作者
(29) Advanced die-level assembly techniques and quality analysis for phase-only liquid crystal on silicon devices, PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE, 2016, 第 11 作者
(30) 纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术, Fundamentals of Die-Level Assembly Techniques for Phase-Only Liquid Crystal on Silicon Devices, 电子学报, 2015, 第 1 作者
(31) Flexible quantum dot light emitting diodes based on ZnO nanoparticles, RSC ADVANCES, 2015, 第 9 作者
(32) 基于 MEMS 技术的智能传感器系统(“智能灰尘”), MEMS-Based Smart Sensing System ("Smart Dust"), 电子学报, 2015, 第 1 作者
(33) Fundamentals of phase-only liquid crystal on silicon (LCOS) devices, LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS, 2014, 第 1 作者
(34) 一种面向空间应用的激光测距方案设计与实验, Design and experiment of a laser ranging scheme for aerospace applications, 红外与激光工程, 2014, 第 3 作者
(35) Optical Fourier transform based in-plane vibration characterization for MEMS comb structure, OPTICS EXPRESS, 2013, 第 5 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 激光星间通信应用 , 负责人, 国家任务, 2023-01--2027-12
( 2 ) 砷化镓激光划片, 参与, 国家任务, 2023-01--2025-12
( 3 ) 激光杂质激活设备, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
( 4 ) 激光清洗设备, 负责人, 国家任务, 2021-12--2026-12
( 5 ) 宇航级xxx芯片的激光划片工艺, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12
( 6 ) XXX激光冷加工设备, 负责人, 国家任务, 2018-12--2021-03
( 7 ) 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 负责人, 研究所自主部署, 2018-12--2021-12
( 8 ) 激光XXXX及XX, 负责人, 国家任务, 2018-11--2023-12
参与会议
(1)Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer   2019-08-15