080300-光学工程

高通量基因测序荧光显微成像技术，光刻投影物镜像质补偿技术

2016-09--2019-06   中国科学院大学大珩学院   工学博士
2006-09--2009-01   大连理工大学机械工程学院   工学硕士
2002-09--2006-07   中南大学机电工程学院   工学学士

   

2016-09~2019-06,中国科学院大学大珩学院, 工学博士
2009-04~2020-05,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究实习员、助理研究员、副研究员
2006-09~2009-01,大连理工大学机械工程学院, 工学硕士
2002-09~2006-07,中南大学机电工程学院, 工学学士

   

（ 1 ） 一种能够产生多种像差的变形镜装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN105259651B

（ 2 ） 气动光学变形镜系统的控制方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN105301956B

（ 3 ） 气动微位移波纹管驱动器, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105417493B

（ 4 ） 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103472560B

（ 5 ） 一种微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103697819B

（ 6 ） 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103697818B

（ 7 ） 一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104238065B

（ 8 ） 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN104216237B

（ 9 ） 一种像散变形镜装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN104076617B

（ 10 ） 一种三叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104076616B

（ 11 ） 一种四叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104076618B

（ 12 ） 光刻物镜中透镜轴向调整装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103389558B

（ 13 ） 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103389554B

（ 14 ） 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102722016B

（ 15 ） 一种投影物镜系统中光学元件调心装置, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102162894B

（ 16 ） 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102169218B

（ 17 ） 一种用于光学测量的积分球装置, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN101915609B

（ 18 ） 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN101900862B

   

（1） High-precision compliant mechanism for lens XY micro-adjustment, Review of Scientific Instrument, 2020, 第 1 作者
（2） Dynamic linear modeling, identification and precise control of a walking piezo-actuated stage, Mechanical Systems and Signal Processing, 2019, 第 3 作者
（3） Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens, applied optics, 2018, 第 1 作者
（4） A deformable plane-parallel optical plate with 16 actuated points for low order aberrations correction, proceedings of SPIE, 2016, 第 2 作者
（5）  基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解, 光学精密工程, 2016, 第 1 作者
（6）  具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构, 光电工程, 2015, 第 1 作者
（7）  光刻物镜主动变形镜像差补偿分析, 激光与光电子学进展, 2015, 第 2 作者
（8）  基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置, 液晶与显示, 2014, 第 1 作者
（9）  基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究, 仪器仪表学报, 2014, 第 2 作者
（10）  利用失调量向量计算投影物镜小比例模型系统补偿量, 光学学报, 2014, 第 3 作者
（11）  光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验, 光学学报, 2014, 第 4 作者
（12）  直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析, 中国机械工程, 2013, 第 1 作者
（13）  直梁圆角型柔性铰链的回转精度分析, 中国机械工程, 2013, 第 1 作者
（14）  光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析, 光电工程, 2013, 第 3 作者
（15）  光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者
（16）  光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析, 光学学报, 2012, 第 1 作者
（17）  18~90mm连续变焦距镜头的研制, 光学学报, 2012, 第 1 作者
（18）  预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器, 光学精密工程, 2011, 第 1 作者
（19）  单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用, 中国光学, 2011, 第 2 作者
（20）  基于液晶显示器的白场仪设计及其实现, 液晶与显示, 2011, 第 3 作者

   

（ 1 ） 浸没式光刻机光学系统研制与批量成产能力建设, 参与, 国家任务, 2016-01--2020-12
（ 2 ） 超高通量基因测序成像系统研究, 负责人, 境内委托项目, 2017-01--2020-01
（ 3 ） 大行程滑动摩擦副的超声减摩方法研究, 参与, 地方任务, 2019-01--2021-12