080903-微电子学与固体电子学

微机电系统
光电器件

2005-09--2010-06   中国科学院微电子研究所   博士
2001-09--2005-06   四川大学   学士

   

2014-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2013-05~2014-05,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 副研究员
2011-11~2013-04,中国科学院重庆绿色智能技术研究院, 助理研究员
2010-07~2011-10,重庆大学, 讲师
2005-09~2010-06,中国科学院微电子研究所, 博士
2001-09~2005-06,四川大学, 学士

微机电系统基础

   

（ 1 ） 一种刻蚀深度的检测方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: 202010244674.1

（ 2 ） 红外热探测器信号响应的补偿方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 201911402954.4

（ 3 ） 监测具有悬空结构的传感器释放状态的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201911201489.8

（ 4 ） MEMS非制冷红外探测器热学参数测试电路及测试方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201910511270.1

（ 5 ） MEMS传感器热学参数测试电路及测试方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201910511055.1

（ 6 ） 一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710265958.7

（ 7 ） 一种氮化硅薄膜制备方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710966563.X

（ 8 ） 电读出非制冷红外探测器的测试电路与方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 201810324887.8

（ 9 ） 微型湿度传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201811069136.2

（ 10 ） 丙酮气敏传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410621459.3

（ 11 ） 加速度开关及其控制方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201310162834.8

   

（1） Analysis of Crosstalk Effect in Multi-Pixel Thermopile Sensors With Networked Arrangement, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 通讯作者
（2） 一种复合式ＭＥＭＳ皮拉尼真空计的设计, 微纳电子技术, 2021, 通讯作者
（3） Low atomic number silicon nitride films for transmission electron microscopy, MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2019, 通讯作者
（4） Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensors with Low Power Consumption, sensors, 2019, 通讯作者
（5） Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process, MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2018, 通讯作者
（6） 非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化, Analysis and Optimization of the Voltage Temperature Coefficient of a Thermodiode Uncooled Infrared Focal Plane Array, 微纳电子技术, 2018, 第 8 作者
（7） Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 1 作者
（8） Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 通讯作者
（9） Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, THIN SOLID FILMS, 2016, 通讯作者
（10） Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2016, 第 1 作者
（11） Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2015, 通讯作者
（12） Simulation studies on electrical characteristics of conical and pyramidal field emitters, Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2014, 第 1 作者
（13） 基于悬臂梁微尖端的纳米图形加工系统的研究, 2010, 第 1 作者
（14） Study on electrothermally actuated cantilever array for nanolithography, SCIENCE CHINA-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2010, 第 1 作者
（15） Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2009, 第 1 作者
（16） Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2009, 第 1 作者
（17） 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展, Application of AFM-based Cantilever with Micro-probe, 电子工业专用设备, 2007, 第 1 作者

   

（ 1 ） 基于弱非线性近共振效应的光读出THz成像新方法研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 2 ） 高性能SOI二极管型非制冷红外成像阵列传感器与系统, 参与, 国家任务, 2015-03--2018-03
（ 3 ） 深海微汞膜电极研制, 参与, 国家任务, 2016-07--2020-06
（ 4 ） 高度集成的温盐溶氧传感器加工技术研究, 参与, 国家任务, 2016-07--2020-06
（ 5 ） XeF2气相腐蚀系统, 参与, 中国科学院计划, 2016-12--2018-12
（ 6 ） 非制冷红外探测器关键技术研发, 参与, 地方任务, 2018-12--2020-11
（ 7 ） 基于石墨烯掺杂阻变效应的新型热释电红外探测机理及高性能器件研究, 参与, 国家任务, 2019-01--2022-12
（ 8 ） 面向自由电子激光的大阵列硅基探测器关键技术研制, 参与, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
（ 9 ） 先进封装X射线3D检测技术创新交叉团队, 参与, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
（ 10 ） 超高帧频大动态范围X射线探测系统, 参与, 国家任务, 2022-01--2027-03