140100-集成电路科学与工程

激光光源，等离子体光源

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2013-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 工程师

   

（ 1 ） 一种偏振泵浦功率占比可调的激光系统, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN116505360A

（ 2 ） 一种控制激光相干长度的装置和方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN116487982A

（ 3 ） 一种激光相干长度可调的装置, 2023, 第 3 作者, 专利号: 202320824947.9

（ 4 ） 一种控制激光相干长度的装置和方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: 202310395963.5

（ 5 ） 一种激光装置, 2023, 第 4 作者, 专利号: 202320616043.7

（ 6 ） 一种偏振泵浦功率占比可调的激光系统, 2023, 第 4 作者, 专利号: 202310295622.0

（ 7 ） 一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN112490839B

（ 8 ） 一种工件预处理设备, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN213388894U

（ 9 ） 一种用于激光的一体化频率转换装置, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN213125048U

（ 10 ） 一种准分子激光器稳定性控制方法及准分子激光器, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112490839A

（ 11 ） 一种线宽压窄模块及准分子激光器, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112490825A

（ 12 ） 一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112210775A

（ 13 ） 一种工件预处理设备及其预处理方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111519178A

（ 14 ） 一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111331249A

（ 15 ） 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111307924A

（ 16 ） 离子敏感场效应管传感器及其电压模式读出电路, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104677967A

（ 17 ） 离子敏感场效应管传感器及其读出电路, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104614404A

（ 18 ） 离子敏感场效应管传感器及其电流模式读出电路, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104614431A

   

（1） 准分子激光器预电离过程影响分析, Analysis of preionization effect of excimer laser, 物理学报, 2023, 第 1 作者
（2） 战略性先导科技专项经费管理探讨, 中国管理信息化, 2022, 第 3 作者
（3） Theoretical study on the thermal effects in plane-parallel resonators of alexandrite crystal lasers, Thirteenth International Conference on Information Optics and Photonics (CIOP 2022), 2022, 第 5 作者
（4） 科研机构知识产权作价出资国资备案全流程探析, 国有资产管理, 2021, 第 5 作者
（5） 红外热辐射光源配光特性的快速测量及仿真, Rapid Measurement and Simulation of Light Distribution Characteristic of Infrared Thermal Radiation Light Source, 光学学报, 2021, 第 3 作者
（6） 光刻用准分子激光器光谱控制中温度分布对输出光谱影响特性分析, Analysis of Influence of Temperature Distribution in Spectral Control of Excimer Lasers for Lithography on Output Spectra, 激光与光电子学进展, 2021, 第 1 作者
（7） 不同缓冲气体中ArF准分子激光系统放电特性分析, Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases, 物理学报, 2020, 第 1 作者
（8） 我国准分子激光技术发展现状及趋势研究, Development Status and Trend of China���s Excimer Laser Technology, 中国工程科学, 2020, 第 4 作者
（9） Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases, ACTA PHYSICA SINICA, 2020, 第 1 作者
（10） 预电离效应对ArF准分子激光特性的影响分析, Effects of Pre-ionization on Properties of ArF Excimer Laser, 半导体光电, 2020, 第 3 作者
（11） Research Status and Analysis of Fifth-harmonic-generation for similar to 1 mu m laser, PACIFIC-RIM LASER DAMAGE 2019: OPTICAL MATERIALS FOR HIGH-POWER LASERS, 2019, 第 3 作者
（12） 应用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析, 中国激光, 2018, 第 1 作者
（13） ArF准分子激光系统能量效率特性分析, 物理学报, 2016, 第 1 作者

   

（ 1 ） 高能量超快脉冲激光器, 参与, 其他, 2024-01--2025-12
（ 2 ） 高功率长脉冲绿光激光器技术, 参与, 国家任务, 2024-01--2026-12
（ 3 ） 中红外单频固体激光光源, 参与, 国家任务, 2024-01--2026-12
（ 4 ） 高能量绿光激光光源系统研发及应用, 参与, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 5 ） 面向相干光刻的高光束质量全固态248nm紫外激光器关键技术研究, 参与, 国家任务, 2021-01--2024-12