光刻技术，光学测量技术，光学工程

080903-微电子学与固体电子学

先进光刻
新原理装备技术
光学测量

2000-09--2005-07   清华大学   工学博士
1993-09--1996-03   哈尔滨工业大学   工学硕士
1989-09--1993-07   哈尔滨工业大学   工学学士

   

2011-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员，研究员
2010-03~2011-05,美国北卡罗莱纳大学教堂山分校, 博士后
2005-12~2009-11,新加坡南洋理工大学, Research Fellow
1996-04~1998-01,北京空间机电研究所, 助理工程师

2023-12-09-今,《中国激光》审稿人, 稿件审核
2023-08-02-今,《光学学报》审稿人, 稿件审核
2023-03-10-今,《光学精密工程》审稿人, 稿件审核
2022-01-14-今,《光子学报》审稿人, 稿件审核
2020-09-09-今,江苏影速集成电路装备股份有限公司, 技术专家
2019-05-07-今,《中国光学》审稿人, 审稿人
2016-02-01-今,东方晶源微电子科技（北京）有限公司, 项目经理，项目总监

文献阅读

   

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[34] Li Shiguang, Yang Changxi, Zhang Enyao, Jin Guofan. Dynamic performance of magneto-optical Bi-substituted rare-earth iron garnet. 中国光学快报：英文版[J]. 2005, 第 1 作者3(1): 38-41, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=11523327.
[35] YANGChangXi, LIShiGuang, MIAOHouXun, TIANYu, ZHANGEnYao, JINGuoFan. Compact First-Order Polarization Mode Dispersion Compensator Based on Birefringent Crystals. Chinese Physics Letters[J]. 2004, 第 2 作者21(2): 326-328, https://cpl.iphy.ac.cn/Y2004/V21/I2/326.
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（ 1 ） 浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估, 参与, 国家任务, 2012-01--2014-12
（ 2 ） 投影曝光检测系统关键部件分析与试验研究, 参与, 国家任务, 2013-01--2016-12
（ 3 ） EUVL技术体系与研发方案研究, 参与, 国家任务, 2012-01--2016-12
（ 4 ） EUV 光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 负责人, 国家任务, 2018-01--2020-12
（ 5 ） 光刻精密对焦技术研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2019-10

（1）先进光刻机的精密对焦控制及其关键技术   第七届国际新型光电探测技术及其应用研讨会   2020-11-05
（2）从EUV光刻发展看全球范围内的技术合作   第十五届“中国芯”集成电路产业促进大会   2020-10-28
（3）High speed, high accuracy displacement extraction from sinusoidal like Moiré fringes in a novel optical encoding technology   先进光刻   钟志坚等   2020-02-22
（4）Automatic control of LED light source for wafer height leveling in electron beam imaging systems    2018-10-11
（5）Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography   Shiguang Li, Amy L. Oldenburg   2011-02-12
（6）Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices   Shiguang Li, Zhiguang Xu, Soon Fatt Yoon, etc   2009-01-21
（7）Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates   Hayden K. Taylor, Zhiguang Xu, Shiguang Li, Kamal Youcef-Toumi, etc   2008-09-29
（8）Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology   Shiguang Li, Zhiguang Xu, and etc   2008-04-08
（9）Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy   Shiguang Li, Todd Thorsen, Zhiguang Xu, etc   2008-01-23
（10）Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems   Shiguang Li, Changxi Yang and Guofan Jin   2005-02-28

   

江苏影速集成电路装备股份有限公司

已指导学生

郭杰  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

钟志坚  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李琛毅  硕士研究生  085209-集成电路工程  

郭磊  硕士研究生  085209-集成电路工程  

王寅  硕士研究生  085400-电子信息  

戢逸云  硕士研究生  085400-电子信息  

现指导学生

曾海峰  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学