080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程

新型纳米存储器件与集成技术
微纳光电器件集成
先进光刻技术

2005-09--2008-07   中国科学院微电子研究所   博士研究生
2002-09--2005-07   北京工业大学激光工程研究院   硕士研究生
1995-09--1999-07   兰州大学物理系   大学本科

   

2016-03~2017-03,丹麦科技大学, 访问学者
2008-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 助理研究员，副研究员

   

（1） X光单级衍射光栅谱仪研制, 二等奖, 国家级, 2013
（2） “微纳结构”自上而下“制备核心技术与集成应用, 一等奖, 部委级, 2011
（3） X光单级衍射光栅谱仪研制, 二等奖, 省级, 2011

（ 1 ） 一种制作聚酰亚胺有机镂空薄膜的方法, 发明, 2007, 第 1 作者, 专利号: 200710178315.5
（ 2 ） 一种采用X射线曝光制作声表面波器件的方法, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: 200810222328.2
（ 3 ） 在厚负性高分辨率电子束抗蚀剂HSQ上制作密集图形的方法, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: 200810116381.4

   

（1） Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017, 第 1 作者
（2） Nanofabrication of free-standing spectroscopic photon sieves operating in soft x-ray region, SPIE Proceedings Volume 10386, 2017, 第 1 作者
（3） Quasi suppression of higher order diffractions with inclined rectangular apertures gratings, Scientific Report, 2015, 第 2 作者
（4） Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, Opitcal Engineering, 2013, 第 2 作者
（5） 反射式单级衍射光栅, Reflection type single-order diffraction gratings, 物理学报, 2012, 通讯作者
（6） Elimination of higher-order diffraction using zigzag transmission grating in soft x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 通讯作者
（7） Continuing improvements on the novel flat-response x-ray detector, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2011, 第 2 作者
（8） Quantum-dot-array diffraction grating with single order diffraction property, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2010, 通讯作者
（9） Spiral photon sieves apodized by digital prolate, Optial letters, 2010, 第 2 作者

   

（ 1 ） 新型衍射光学元件研制, 主持, 国家级, 2009-07--2014-06
（ 2 ） 复杂氧化物的微纳加工及基于复杂电子体系独特物性的新型器件研究, 主持, 国家级, 2012-01--2016-08
（ 3 ） 软X射线/极紫外单级衍射光栅加工制作技术工艺流程研发, 参与, 国家级, 2012-10--2016-09
（ 4 ） 基于脉冲反向函数的电化学沉积大高宽比金纳米结构研究, 主持, 国家级, 2018-01--2021-12
（ 5 ） X射线衍射光谱与成像纳米器件复杂工作环境下失效机理及加固方法研究, 主持, 国家级, 2017-07--2022-06
（ 6 ） 水窗和硬X射线聚焦波带片关键技术, 主持, 部委级, 2017-07--2021-06

现指导学生

何佩谣  硕士研究生  085209-集成电路工程