基本信息
张滋黎  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: zhangzili@ime.ac.cn
通信地址: 北京市海淀区邓庄南路9号中国科学院北京新技术基地
邮政编码: 100094

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
080402-测试计量技术及仪器
080401-精密仪器及机械
招生方向
精密仪器设计,集成电路光学检测,机器视觉及其应用
激光及光电测试技术,集成电路光学检测,机器视觉及其应用
精密仪器设计,机器视觉及其应用

教育背景

2005-09--2010-09   天津大学   博士(硕博连读)
2000-09--2005-06   天津大学   学士

工作经历

   
工作简历
2022-09~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2018-11~2022-09,中国科学院微电子研究所, 副研究员
2015-01~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2010-09~2014-12,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2005-09~2010-09,天津大学, 博士(硕博连读)
2000-09~2005-06,天津大学, 学士
社会兼职
2023-11-22-2026-12-31,中国计量测试学会几何量专业委员会委员, 委员
2023-02-28-今,中国光学工程学会光电测试测量技术及应用专业委员会先进制造光电测量组委员, 委员
2022-05-30-今,苏州工业园区领军人才在库专家, 评审专家
2021-12-29-今,国家重点研发计划制造技术基础与关键部件重点专项专家库专家, 评审专家
2021-02-03-今,南京航空航天大学硕士生兼职导师, 兼职导师
2019-10-07-今,中国计量测试学会在线检测技术与智能制造专业委员会, 委员
2016-02-27-今,国家自然科学基金项目评审专家, 评审专家
2015-04-27-今,杂志审稿人, Applied Optics,光学精密工程,光学学报,光子学报,中国测试审稿人

教授课程

精密仪器设计

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高速钢轨伤损检测关键技术及应用(机械工业科学技术奖科技进步一等奖), 一等奖, 专项, 2022
(2) 飞秒激光跟踪测量技术及应用(机械工业科学技术奖技术发明类特等奖), 特等奖, 专项, 2020
专利成果
( 1 ) 机器人位姿测量与补偿方法及系统、控制装置、存储介质, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115674171A

( 2 ) 凸点高度测量装置及测量方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202211703732.8

( 3 ) 激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN115371558A

( 4 ) 无限远共轭显微物镜组, 2022, 第 2 作者, 专利号: 202211452616.3

( 5 ) 一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN115307579A

( 6 ) 测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN115272442A

( 7 ) 平顶微凸点高度测量装置及测量方法, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN115267807A

( 8 ) 激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的相交度误差检测方法及系统, 2022, 第 1 作者, 专利号: 202211044029.0

( 9 ) 直射式激光跟踪仪、目标跟踪恢复方法、设备及存储介质, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114942014A

( 10 ) 一种激光跟踪仪俯仰轴和方位轴的垂直度误差检测装置, 2022, 第 2 作者, 专利号: 202211029150.6

( 11 ) 激光扫频测距装置及方法, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114646940A

( 12 ) 基于交比不变的微凸点高度测量装置及参数标定方法, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114623769A

( 13 ) 基于YOLOv3的复杂场景激光跟踪仪靶球球心定位方法及装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114596336A

( 14 ) 一种轴系正交性测量装置以及测量系统, 2022, 第 5 作者, 专利号: 202210532314.0

( 15 ) 一种激光扫频测距方法及装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: 202210254755.9

( 16 ) 基于YOLOv3 的复杂场景激光跟踪仪靶球球心定位方法及装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: 202210205727.8

( 17 ) 空间光束偏移校正装置及方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114114582A

( 18 ) 显微视觉入射光角度标定方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202111617952.4

( 19 ) 一种测量微凸点高度的装置, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN214702138U

( 20 ) 提升鉴相精度的欠采样频率选取方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113238245A

( 21 ) 机器人位姿测量与补偿方法及系统、控制装置、存储介质, 2021, 第 4 作者, 专利号: 202110878275.5

( 22 ) 一种基于双二维位置敏感探测器的高精度姿态测量系统, 2021, 第 8 作者, 专利号: CN113063394A

( 23 ) 基于交比不变的微凸点高度测量装置, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN213481258U

( 24 ) 测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质, 2021, 第 2 作者, 专利号: 202110477661.3

( 25 ) 平顶微凸点高度测量装置及测量方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: 202110477512.7

( 26 ) 一种低重频掺铒飞秒光纤激光器, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN112271540A

( 27 ) 一种基于交比不变的微凸点高度测量装置参数标定方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202011462190.0

( 28 ) 激光跟踪测量系统及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109725325A

出版信息

   
发表论文
(1) Research on Defect Inspection Technology for Bump Height in Water-level Packaging Based on the Triangulation Method, Applied Sciences, 2023, 第 11 作者
(2) Near-zero beam drift laser tracking and measurement system with two-stage compression structures, Applied Optics, 2023, 第 7 作者
(3) 基于光电的钢轨探伤车超声探轮自动对中系统设计及验证, 中国铁道科学, 2023, 第 2 作者
(4) Anti-crosstalk absolute phase retrieval method for microscopic fringe projection profilometry using temporal frequency-division multiplexing, Optics Express, 2023, 第 11 作者
(5) High-velocity measurement method in dual-frequency laser interference tracker based on beam expander and acousto-optic modulator, OPTICS EXPRESS, 2023, 第 6 作者
(6) 基于白光三角法的凸点封装高度测量仿真研究, Simulation Research on Height Measurement of Bump Package Based on White Light Triangulation Method, 光学与光电技术, 2022, 第 4 作者
(7) 基于光学三角法的芯片凸点高度测量, A Bump Height Measurement Method Based on Optical Triangulation, 光子学报, 2022, 第 3 作者
(8) Height measurement of microbumps using a white-light triangulation method, APPLIED OPTICS, 2022, 第 11 作者
(9) Height displacement sensing system based on varied period plane diffraction grating, OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS – RAPID COMMUNICATIONS, 2021, 第 11 作者
(10) A novel probability iterative closest point with normal vector algorithm for robust rail profile registration, OPTIK, 2021, 第 3 作者
(11) Real-time dynamic measurement of geometric parameters of catenary, AOPC 2019 : Part two of two parts /, 2020, 第 11 作者
(12) 基于多尺度分析的快速相位立体匹配, Fast Phase-based Stereo Matching Based on Multi-scale Analysis, 半导体光电, 2020, 第 11 作者
(13) An improved method of corner point extraction used in grating projection phase measurement, AOPC 2020: OPTICAL SENSING AND IMAGING TECHNOLOGY, 2020, 第 11 作者
(14) An improved method of light stripe extraction, AOPC 2019: OPTICAL SENSING AND IMAGING TECHNOLOGY, 2019, 第 11 作者
(15) 天线型面自动测量系统设计, 激光杂志, 2019, 第 11 作者
(16) 基于二维振镜与位置灵敏探测器的高精度激光跟踪系统, High-Precision Laser Tracking System Based on Two-Dimensional Galvanometers and Position Sensitive Detectors, 中国激光, 2019, 第 4 作者
(17) Real-time dynamic measurement of geometric parameters of catenary, AOPC 2019: OPTICAL SENSING AND IMAGING TECHNOLOGY, 2019, 第 11 作者
(18) Phase measuring method and error compensation in 3D profile measurement, SPIEMI2018, 2018, 第 2 作者
(19) 基于共线向量与平面单应性的双目相机标定方法, Binocular Camera Calibration Based on Collinear Vector and Plane Homography, 光学学报, 2017, 第 2 作者
(20) Cross center extraction with sub-pixel accuracy, OPTOELECTRONIC IMAGING AND MULTIMEDIA TECHNOLOGY IV, 2016, 第 2 作者
(21) The trajectory prediction of spacecraft by grey method, MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2016, 第 2 作者
(22) An Automatic Large-Scale 3D Coordinate Measurement System Based on Vision Guidance, OPTICAL METROLOGY AND INSPECTION FOR INDUSTRIAL APPLICATIONS IV, 2016, 第 11 作者
(23) 激光跟踪测量系统软件设计, 计测技术, 2016, 第 1 作者
(24) 双向运转混合锁模掺铒光纤激光器, Bidirectional Hybrid Mode-Locking Erbium-Doped Fiber Laser, 中国激光, 2016, 第 4 作者
(25) 激光跟踪仪精密跟踪系统的设计, Design of precise tracking system of laser tracker, 光学精密工程, 2016, 第 4 作者
(26) 基于VTK的激光跟踪测量可视化软件设计, Design of Laser Tracking Measurement Visualization Software Based on VTK, 计测技术, 2015, 第 3 作者
(27) A novel method for measuring transit tilt error in laser trackers, 9th International Symposium on Precision Engineering Measurement and Instrumentation, ISPEMI 2014, 2015, 第 1 作者
(28) Geometric error detection and calibration in laser trackers, OIT2015, 2015, 第 1 作者
(29) 激光跟踪仪转镜倾斜误差标定及修正方法, 光学精密工程, 2015, 第 1 作者
(30) 基于二次精简的散乱点云精简方法, Method of Scattered Point Cloud Reduction Based on Quadratic Reduction, 计算机系统应用, 2014, 第 3 作者
(31) A method of measuring mirror-tilt error in laser trackers, 13th International Workshop on Accelerator Alignment, 2014, 第 1 作者
(32) 基于数字微镜阵列的协同目标跟踪系统设计, Design of collaborative target tracking system using digital micro-mirror device, 应用光学, 2014, 第 2 作者
(33) Calibration of Large Scale Coordinate Measuring System based on Scanning Laser Plane, ICFMM, 2012, 第 3 作者
(34) Research and development of the laser tracker measurement system, Eighth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, 2012, 第 1 作者
(35) 光束平差在激光跟踪仪系统精度评定中的应用, Application of bundle adjustment to accuracy evaluation of laser tracker, 光学精密工程, 2012, 第 4 作者
(36) Design and Implementation of Software System for Large-Scale Coordinate Measurement Based on the Laser Tracker, ADVANCES IN PRECISION INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT, 2012, 第 11 作者
(37) 激光电子经纬仪动态跟踪引导系统的设计, Design of dynamic tracking and guiding system for laser-electronic theodolite, 光学精密工程, 2011, 第 3 作者
(38) 一种基于视觉引导的激光经纬仪自动测量系统, Laser automatic theodolite measurement system based on vision guidance, 光电子.激光, 2011, 第 1 作者
(39) 双经纬仪三维坐标测量系统设计, The Design of Double-Theodolite 3D Coordinate Measurement System, 传感技术学报, 2010, 第 1 作者
(40) 一种新型自动激光经纬仪引导跟踪方法, Guidance Tracking Method of a New Automatic Laser Theodolite System, 光电工程, 2010, 第 1 作者
(41) The guidance methodology of a new automatic guided laser theodolite system, 2008 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL INSTRUMENTS AND TECHNOLOGY: OPTOELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY AND APPLICATIONS, 2009, 第 11 作者
(42) Resolution improvement of the electronic theodolite in automatic guided laser theodolite system by subdivided locating method of image, 2008 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL INSTRUMENTS AND TECHNOLOGY: OPTOELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY AND APPLICATIONS, 2009, 第 3 作者
(43) 大空间坐标尺寸测量研究的现状与发展, Status and Development of Large-scale Coordinate Measurement Research, 计量学报, 2008, 第 3 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 宽场同轴三维测量模块, 参与, 国家任务, 2023-12--2026-11
( 2 ) 光机精密扫描与仪器标定补偿, 负责人, 国家任务, 2023-12--2026-11
( 3 ) 六自由度激光跟踪仪, 参与, 国家任务, 2022-07--2024-12
( 4 ) 芯片封装缺陷在线视觉检测仪, 负责人, 国家任务, 2020-01--2022-12
( 5 ) 车载接触网在线检测系统开发, 参与, 境内委托项目, 2018-07--2019-06
( 6 ) 国产化钢轨探伤车激光轨廓检测传感器样机开发, 参与, 境内委托项目, 2017-11--2018-12
( 7 ) 重型装备总装测量传感器研发, 参与, 中国科学院计划, 2017-05--2019-04
( 8 ) 天线位姿测量系统软件开发, 负责人, 境内委托项目, 2017-04--2017-07
( 9 ) 钢轨裂纹高速巡检模拟验证试验平台开发, 参与, 境内委托项目, 2017-01--2018-12
( 10 ) 大型装备多功能几何参数精密智能测量系统研制, 参与, 中国科学院计划, 2017-01--2018-12
( 11 ) 随机运动目标快速精密激光跟踪关键技术研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2021-12
( 12 ) 通用稳定转台与全系统集成应用示范, 参与, 中国科学院计划, 2016-07--2021-07
( 13 ) 激光扫描测量技术在激光强化领域应用研究, 负责人, 国家任务, 2016-07--2020-12
( 14 ) 激光强化技术在航空航天和轨道交通领域的工业示范应用, 参与, 国家任务, 2016-07--2020-12
( 15 ) 大型装备原位智能制造系统, 参与, 中国科学院计划, 2016-01--2018-06
( 16 ) 全视角高精度三维测量仪的应用系统开发, 参与, 境内委托项目, 2015-08--2016-06
( 17 ) 三坐标机和经纬仪及激光跟踪仪混合测量系统软件开发, 负责人, 境内委托项目, 2015-04--2015-09
( 18 ) 激光跟踪仪精度理论关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2015-01--2017-12
( 19 ) 介观流控分析仪器核心部件性能测试及分析, 负责人, 境内委托项目, 2014-12--2018-08
( 20 ) 微纳米测量仪的精度标定及溯源应用研究, 参与, 国家任务, 2014-10--2018-10
( 21 ) 基于新型柱面光栅的高精度测角传感理论与技术, 参与, 国家任务, 2014-01--2016-12
( 22 ) 空间目标动态光学特性模拟设备, 参与, 中国科学院计划, 2013-09--2016-06
( 23 ) 新型飞秒激光跟踪仪研发, 参与, 国家任务, 2011-10--2016-09
( 24 ) 基于光学相控技术的精密扫描测量研究, 参与, 国家任务, 2011-01--2013-12
( 25 ) 便携式多功能精密激光跟踪测量系统研制, 参与, 中国科学院计划, 2009-05--2013-12
( 26 ) 恶劣条件下超大空间坐标精密测量原理与方法研究, 参与, 国家任务, 2008-01--2012-12
参与会议
(1)Research on on-line visual inspection technology for chip packaging defects   2022-04-10
(2)大尺寸激光测量技术及应用   2019计量测试技术学术交流会   2019-11-29
(3)视觉测量技术在智能制造和IC检测中的应用   全国微电子研究生学术论坛   2019-10-27
(4)半导体制造对视觉检测与测量标准需求的思考   苏州国际机器视觉标准大会(IVSM)   2019-03-26
(5)Laser Tracking Measurement System using Dual Femtosecond Combs   三维测量国际会议   2017-10-09
(6)An Automatic Large-Scale 3D Coordinate Measurement System Based on Vision Guidance   张滋黎   2016-10-11
(7)Laser Tracking Measurement System Based on Femtosecond Light Frequency Comb    张滋黎   2016-10-03
(8)Geometric error detection and calibration in laser trackers   2015-05-17
(9)A method of measuring mirror-tilt error in laser trackers   第13届加速器准直测量国际研讨会   2014-10-13
(10)A novel method of measuring transit tilt error in laser trackers   第9届精密工程测量与仪器国际会议   2014-08-03
(11)Research and development of the laser tracker measurement system   第8届精密工程测量与仪器国际会议   2012-08-08
(12)激光跟踪仪测量系统设计与实现   第二届全国粒子加速器准直安装暨精密工程测量与安装技术研讨   2011-09-12