081002-信号与信息处理
080202-机械电子工程

微声学器件与信号处理系统
微声学传感器及系统
压电MEMS

2002-09--大连理工大学   博士学位
1999-09--大连理工大学   硕士学位
1995-09--大连理工大学   学士学位

   

2021-12~现在, 中国科学院声学研究所, 研究员
2009-04~现在, 中国科学院声学研究所, 副研究员
2006-10~现在, 中国科学院声学研究所, 博士后
2002-09~现在, 大连理工大学, 博士学位
1999-09~现在, 大连理工大学, 硕士学位
1995-09~现在, 大连理工大学, 学士学位

2010-01-01-今,中国声学学会,
2008-01-01-今,中国微米纳米学会,

   

（ 1 ） 一种MEMS-IDT加速度传感器, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112462091A

（ 2 ） 一种高频声表面波沟槽栅阵色散延迟线相位偏差补偿方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN109194300B

（ 3 ） 一种声表面波传感器的封装装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN208704958U

（ 4 ） 一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108284054A

（ 5 ） 一种HBAR谐振器及可调谐微波振荡器, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107221733A

（ 6 ） 压电薄膜厚度机电耦合系数的检测方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104181403A

（ 7 ） 软支撑桥式硅微压电传声器芯片及其制备方法, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101646117A

（ 8 ） 软支撑桥式硅微压电超声换能器芯片及其制备方法, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101645484A

（ 9 ） 软支撑悬臂梁式硅微压电传声器芯片及其制备方法, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101645485A

（ 10 ） 基于铁电PZT膜面内极化工作的硅微压电传声器及其制备方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101646115A

（ 11 ） 一种电极串联式硅微压电传声器, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101646116A

   

（1） 基于声表面波色散延迟线的频谱探测系统研究, 压电与声光, 2022, 通讯作者
（2） A spectrum analyzer system with wide bandwidth and high frequency resolution based on chirp transform, Microw Opt Technol Lett., 2021, 通讯作者
（3） Fatigue Characteristics of Magnetostrictive Thin-Film Coated Surface Acoustic Wave Devices for Sensing Magnetic Field, IEEE ACCESS, 2020, 第 4 作者
（4） Development of a Love Wave Based Device for Sensing Icing Process with Fast Response, JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY, 2020, 第 4 作者
（5） 高次谐波体声波谐振器机械品质因数的谐振谱特性, 声学学报, 2020, 第 4 作者
（6） Optimization of SAW Devices with LGS/Pt Structure for Sensing Temperature, SENSORS, 2020, 第 7 作者
（7） Optimization of AIN Composite Structure Based Surface Acoustic Wave Device for Potential Sensing at Extremely High Temperature, SENSORS, 2020, 第 6 作者
（8） Development of a wireless and passive temperature-compensated SAW strain sensor, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2020, 第 4 作者
（9） 一种用于深空探测的宽带低功耗频谱仪的设计与试验, Design and test of a low power consumption boardband spectrometer for deep space explorations, 电子设计工程, 2019, 第 5 作者
（10） Chirp变换频谱分析仪的设计及其数字部分的实现, Design of Chirp Transform Spectrum Analyzer and Realization of Its Digital Part, 计测技术, 2019, 第 3 作者
（11） Development of a Pd/Cu nanowires coated SAW hydrogen gas sensor with fast response and recovery, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2019, 第 5 作者
（12） Xue-Jiao Jiang , Meng-Wei Liu , Fang-Fang Shi , et al. A Microscale Linear Phased-Array Ultrasonic Transducer Based on PZT Ceramics, Sensors, 2019, 第 1 作者
（13） A Microscale Linear Phased-Array Ultrasonic Transducer Based on PZT Ceramics, SENSORS, 2019, 通讯作者
（14） Development of a High Stability Pd-Ni Alloy Thin-Film Coated SAW Device for Sensing Hydrogen, Sensors, 2019, 第 4 作者
（15） 微纳相控线阵声换能器参数的理论分析, 应用声学, 2018, 通讯作者
（16） 基于高次谐波体声波谐振器的微波调频源研究, 微波学报, 2018, 通讯作者
（17） 基于高次谐波体声波谐振器的微波跳频源研究, Research on Microwave Frequency Hopping Source Based on High-Overtone Bulk Acoustic Resonator, 微波学报, 2018, 第 2 作者
（18） 高次谐波体声波谐振器机械品质因数的测量, Measurement of mechanical quality factor of high overtone bulk acoustic resonator, 应用声学, 2018, 第 3 作者
（19） 基于高次谐波体声波谐振器的微波振荡器设计, Design of Microwave Oscillator Based on High-Overtone Bulk Acoustic Resonator, 压电与声光, 2018, 第 2 作者
（20） 微纳相控线阵超声换能器参数的理论分析, Theoretical analysis of parameters for micro-nano linear phased arrays ultrasonic transducer, 应用声学, 2018, 第 2 作者
（21） 薄膜体声波谐振器横向杂散模式三维仿真分析, 3D Simulation of the Spurious Lateral Modes of FBAR, 压电与声光, 2017, 第 2 作者
（22） 高次谐波体声波谐振器的机械品质因数, Mechanical quality factor of high-overtone bulk acoustic resonator, 声学学报, 2016, 第 2 作者
（23） Resonance Spectrum Characteristics of Effective Electromechanical Coupling Coefficient of High-Overtone Bulk Acoustic Resonator, MICROMACHINES, 2016, 通讯作者
（24） 高次谐波体声波谐振器的有效机电耦合系数, Effective electromechanical coupling coefficient of high-overtone bulk acoustic resonator, 声学学报, 2016, 第 3 作者
（25） WANG chenghao. Mechanical quality of high-overtone bulk acoustic resonator, ACTA ACUSTICA, 2016, 通讯作者
（26） ZnO薄膜硅微压电矢量水听器, ZnO thin film piezoelectric micromachined vector hydrophone, 声学学报, 2016, 第 5 作者
（27） Influence of electrodes on the effective electromechanical coupling coefficient distributions of high-overtone bulk acoustic resonator, ULTRASONICS, 2015, 通讯作者
（28） SIMULATION AND EXPERIMENT OF HIGH-OVERTONE BULK ACOUSTIC RESONATORS, 2014 SYMPOSIUM ON PIEZOELECTRICITY, ACOUSTIC WAVES, AND DEVICE APPLICATIONS (SPAWDA), 2014, 通讯作者
（29） High Q , high frequency, high overtone bulk acoustic resonator with ZnO films, Journal of Zhejiang University SCIENCE C,, 2013, 第 1 作者
（30） 基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究, Studies of high overtone bulk acoustic resonator with ZnO film, 应用声学, 2013, 第 2 作者
（31） 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究, MEMS Piezoelectric Microphone with Circular Diaphragm, 机械工程学报, 2012, 第 3 作者
（32） 微型硅基弯曲板波器件, Silicon-Based Micro-Structural Flexural Plate Wave Devices, 传感技术学报, 2012, 第 2 作者
（33） 基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器, A Low Residual Stress Diaphragm Piezoelectric Microphone Based on In-Plane Polarized PZT Thin Film, 纳米技术与精密工程, 2011, 第 1 作者
（34） Design and Fabrication of a Novel PZT Films Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, 2009 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MEASURING TECHNOLOGY AND MECHATRONICS AUTOMATION, VOL II, 2009, 第 3 作者

   

（ 1 ） 基于三维振动模型构建的新型压电薄膜体声波谐振器及其射频信号处理器研究, 负责人, 国家任务, 2014-01--2017-12
（ 2 ） 声表面波微波信号处理器, 负责人, 企业委托, 2021-11--2026-01
（ 3 ） 声表面波固定延迟线, 负责人, 其他任务, 2018-01--2021-12
（ 4 ） 声表面波Chirp变换谱分析仪系统研制, 负责人, 地方任务, 2021-01--2023-12
（ 5 ） 高温高压传感器, 负责人, 国家任务, 2021-01--2023-12

（1）MICROMACHINED MASS SENSOR BASED ON FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR   2015-10-30
（2）Simulation and experiment of high-overtone bulk acoustic resonators   2014-10-30