基本信息
徐向宇  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: xuxiangyu@ime.ac.cn
通信地址: 北京中科院微电子所
邮政编码:

研究领域

  • 研究领域包括:脉冲功率及其应用技术的研究、大气压低温等离子体技术研究等。独立承担过的研究工作包含以下几方面: 

    作为电源系统负责人,全面主持了2kHz 20W/4kHz 40W/6kHz 60W等专项准分子激光器泵浦用全固态脉冲电源的研发工作。 

    拓展脉冲功率技术研究领域,如在国内率先开展了用于准分子激光器泵浦的光电导开关脉冲电源研究、高功率宽谱电磁脉冲技术研究及全固态LTD电源技术研究。

招生信息

   
招生专业
085400-电子信息
070204-等离子体物理
080300-光学工程
招生方向
光电信息处理
脉冲功率技术
等离子体物理

教育背景

2001-09--2006-06   北京大学   博士
1997-09--2001-07   山东大学   理学学士

工作经历

   

专利与奖励

   

出版信息

   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发/泵浦电源模块开发, 主持, 国家级, 2013-01--2016-12
( 2 ) 浸没式曝光光源研制及小批量产品生产能力建设, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12
( 3 ) 浸没式光源核心元器件国产化产品研发, 主持, 国家级, 2020-01--2021-12

指导学生

已指导学生

张鑫  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

曹沛  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

朱潮通  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

马思佳  硕士研究生  085400-电子信息