• 研究领域包括：深紫外光刻光源技术研究、脉冲功率及其应用技术研究、大气压低温等离子体技术研究等。

• 负责光刻曝光光源研发工作，并主持了光刻曝光光源核心部件国产化任务。

   

085400-电子信息
070204-等离子体物理
080300-光学工程

光电信息处理
脉冲功率技术
等离子体物理

2001-09--2006-06   北京大学   博士
1997-09--2001-07   山东大学   理学学士

   

   

   

   

（ 1 ） 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发/泵浦电源模块开发, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
（ 2 ） 浸没式曝光光源研制及小批量产品生产能力建设, 负责人, 国家任务, 2016-01--2020-12

已指导学生

张鑫  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

曹沛  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

朱潮通  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

马思佳  硕士研究生  085403-集成电路工程