080300-光学工程

光学设计
光刻机照明系统
精密光电测量技术

2004-09--2007-07   长春理工大学   光学工程硕士
2000-09--2002-01   北京理工大学   光学设计进修
1990-09--1994-06   长春光学精密机械学院   工学学士

   

2008-02~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 工作
1994-07~2008-01,国营第二五八厂, 高级工程师

   

（ 1 ） 光学系统定心定位装置及其使用方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102538689B
（ 2 ） 光刻机设备用离轴照明装置, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103149809B
（ 3 ） 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103217872B
（ 4 ） 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012510.X
（ 5 ） 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012511.4
（ 6 ） 高精度光学间隔测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410472652.5

   

（1） 基于低相干光干涉的大量程高精度镜面间距测量方法, 光学学报, 2016, 通讯作者
（2） 大口径凸非球面面形检测方法研究, 中国激光, 2014, 通讯作者
（3） 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计, 中国激光, 2013, 通讯作者
（4） 星敏感器光学系统的研制与性能测试, 光学学报, 2013, 通讯作者

   

（ 1 ） 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12
（ 2 ） 浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2019-12

已指导学生

肖艳芬  硕士研究生  080300-光学工程  

宋强  硕士研究生  080300-光学工程  

师中华  硕士研究生  080300-光学工程  

金超群  硕士研究生  080300-光学工程  

甘雨  硕士研究生  080300-光学工程  

马健  硕士研究生  085202-光学工程  

林东龙  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

王牛虎  硕士研究生  080300-光学工程  

王刚  硕士研究生  085400-电子信息