基本信息

杨宝喜 男 硕导 中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: yangbx@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号上海光机所信息光电实验室
邮政编码: 201800
电子邮件: yangbx@siom.ac.cn
通信地址: 上海市嘉定区清河路390号上海光机所信息光电实验室
邮政编码: 201800
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
光学设计光刻机照明系统精密光电测量技术
教育背景
2004-09--2007-07 长春理工大学 光学工程硕士2000-09--2002-01 北京理工大学 光学设计进修1990-09--1994-06 长春光学精密机械学院 工学学士
工作经历
工作简历
2008-02~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 工作1994-07~2008-01,国营第二五八厂, 高级工程师
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 光学系统定心定位装置及其使用方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102538689B( 2 ) 光刻机设备用离轴照明装置, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103149809B( 3 ) 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103217872B( 4 ) 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012510.X( 5 ) 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610012511.4( 6 ) 高精度光学间隔测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410472652.5
出版信息
发表论文
(1) 基于低相干光干涉的大量程高精度镜面间距测量方法, 光学学报, 2016, 通讯作者(2) 大口径凸非球面面形检测方法研究, 中国激光, 2014, 通讯作者(3) 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计, 中国激光, 2013, 通讯作者(4) 星敏感器光学系统的研制与性能测试, 光学学报, 2013, 通讯作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究, 参与, 国家级, 2009-07--2013-12( 2 ) 浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设, 参与, 国家级, 2016-01--2019-12
指导学生
已指导学生
肖艳芬 硕士研究生 080300-光学工程
宋强 硕士研究生 080300-光学工程
师中华 硕士研究生 080300-光学工程
金超群 硕士研究生 080300-光学工程
甘雨 硕士研究生 080300-光学工程
马健 硕士研究生 085202-光学工程
林东龙 硕士研究生 080300-光学工程
现指导学生
王牛虎 硕士研究生 080300-光学工程
王刚 硕士研究生 085400-电子信息