基本信息
俞跃辉  男  博导  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: yhyu@mail.sim.ac.cn
通信地址: 长宁路865号
邮政编码: 200050

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
功率电子
极限表征
晶圆生长

教育背景

1985-09--1989-11   上海微系统与信息技术研究所   博士学位
1980-07--1985-07   吉林大学电子工程系   学士学位

工作经历

   
工作简历
1992-10~2011-07,上海微系统与信息技术研究所, 助研,副研,正研
1990-10~1992-10,德国FHG集成技术研究所, 博士后

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 中国科学院优秀导师, 部委级, 2018
(2) 中国电子教育学会优秀导师, 其他, 2018
(3) 亥姆霍兹联合会杰出国际科技合作奖"Helmholtz International Fellow Aw, 一等奖, 专项, 2013
(4) 高端硅基SOI材料研究, , 院级, 2007
(5) 高端硅基SOI材料研发和产业化, 一等奖, 国家级, 2006
专利成果
[1] 程新红, 周学通, 郑理, 俞跃辉. 一种低漏感的平面变压器绕组绕制方法及平面变压器. CN: CN115512959A, 2022-12-23.
[2] 郑理, 王昊, 俞文杰, 程新红, 俞跃辉. 一种大尺寸晶圆中深能级缺陷态的检测方法. CN: CN115020264A, 2022-09-06.
[3] 郑理, 程新红, 俞跃辉. 一种用于SOI基GaN晶圆及其制备方法. CN: CN113257909A, 2021-08-13.
[4] 郑理, 游晋豪, 程新红, 俞跃辉. 一种SOI基p-GaN增强型GaN功率开关器件的制备方法. CN: CN111739801B, 2021-08-10.
[5] 郑理, 游晋豪, 程新红, 俞跃辉. 一种SOI基凹栅增强型GaN功率开关器件的制备方法. CN: CN111739800B, 2021-08-10.
[6] 程新红, 刘晓博, 郑理, 俞跃辉. 一种硅基氮化镓微波器件及制备方法. CN: CN111739799B, 2021-10-26.
[7] 程新红, 刘少煜, 郑理, 俞跃辉. 一种基于高k栅介质与低温欧姆接触工艺的SiC MOSFET的制备. CN: CN111739937A, 2020-10-02.
[8] 郑理, 周文, 程新红, 俞跃辉. 一种硅基宽光谱光电探测器的制备方法. CN: CN111739963A, 2020-10-02.
[9] 沈玲燕, 程新红, 郑理, 张栋梁, 王谦, 顾子悦, 俞跃辉. 基于AlGaN/p-GaN沟道的增强型纵向功率器件. CN: CN207938616U, 2018-10-02.
[10] 沈玲燕, 程新红, 郑理, 张栋梁, 王谦, 顾子悦, 俞跃辉. 基于AlGaN/p-GaN沟道的增强型纵向功率器件及制作方法. CN: CN110277445A, 2019-09-24.
[11] 程新红, 王谦, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 钱茹, 俞跃辉. SiC器件栅介质层及SiC器件结构的制备方法. CN: CN107527803A, 2017-12-29.
[12] 程新红, 王谦, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 钱茹, 俞跃辉. 沟槽型MOSFET功率器件及其制作方法. CN: CN107564964A, 2018-01-09.
[13] 程新红, 王谦, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 钱茹, 俞跃辉. 一种MOS功率器件及其制备方法. CN: CN107393814A, 2017-11-24.
[14] 程新红, 王谦, 李静杰, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 钱茹, 俞跃辉. 基于界面钝化层的MOS电容器及其制备方法. CN: CN107507829A, 2017-12-22.
[15] 郑理, 程新红, 宁志军, 徐大伟, 沈玲燕, 王谦, 张栋梁, 顾子悦, 俞跃辉. 一种基于SOI‑量子点异质结的红外探测器制备方法. CN: CN107359221A, 2017-11-17.
[16] 程新红, 王谦, 李静杰, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 钱茹, 俞跃辉. 一种利用金属/氧化物双层掩膜结构刻蚀SiC的方法. CN: CN107275196A, 2017-10-20.
[17] 李新昌, 程新红, 吴忠昊, 张萌, 徐大伟, 羊志强, 俞跃辉. 一种高压模拟集成开关电路. CN: CN105827224A, 2016-08-03.
[18] 程新红, 李新昌, 吴忠昊, 徐大伟, 羊志强, 俞跃辉. 一种基于SOI工艺的电池管理芯片电路. CN: CN105680107A, 2016-06-15.
[19] 程新红, 沈玲燕, 王中健, 曹铎, 郑理, 王谦, 张栋梁, 李静杰, 俞跃辉. 基于氟化石墨烯钝化的AlGaN/GaN HEMT器件及制作方法. CN: CN105304689A, 2016-02-03.
[20] 程新红, 郑理, 王中健, 曹铎, 王谦, 沈玲燕, 张栋梁, 俞跃辉. 一种水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法. CN: CN105129788A, 2015-12-09.
[21] 程新红, 郑理, 王中健, 曹铎, 王谦, 沈玲燕, 张栋梁, 俞跃辉. 一种基于薄膜半导体-石墨烯异质结的光电探测器制备方法. CN: CN105206689A, 2015-12-30.
[22] 程新红, 夏超, 王中健, 徐大伟, 曹铎, 郑理, 沈玲燕, 王谦, 俞跃辉. SiC-LDMOS功率表器件及其制备方法. CN: CN106158933A, 2016-11-23.
[23] 程新红, 沈玲燕, 王中健, 夏超, 曹铎, 郑理, 王谦, 俞跃辉. 基于Metal/Insulator/AlGaN/GaN叠层MIS结构的负微分电阻器件及制备方法. CN: CN104599975A, 2015-05-06.
[24] 程新红, 郑理, 曹铎, 王中健, 徐大伟, 夏超, 沈玲燕, 俞跃辉. 一种基于ALD的石墨烯基热电子晶体管及其制备方法. CN: CN103985741A, 2014-08-13.
[25] 张正民, 李建朋, 金星, 宁振球, 俞跃辉. 一种抗EMI LIN总线信号驱动器. CN: CN103684398A, 2014-03-26.
[26] 张正民, 董春雷, 李建朋, 金星, 宁振球, 俞跃辉. 一种基于电流模的总线接收器. CN: CN203595959U, 2014-05-14.
[27] 张正民, 李建朋, 董春雷, 宁振球, 金星, 秦英安, 俞跃辉. 一种电流模比较器. CN: CN103618525A, 2014-03-05.
[28] 张正民, 李建朋, 宁振球, 金星, 俞跃辉. 一种总线信号接收器. CN: CN103607337A, 2014-02-26.
[29] 赵清太, 徐大伟, 西格弗里德曼特尔, 俞跃辉, 程新红. 一种多栅SOI-LDMOS器件结构. CN: CN103594517A, 2014-02-19.
[30] 程新红, 张有为, 徐大伟, 王中健, 夏超, 俞跃辉. 石墨烯纳米带的制备方法. CN: CN103879994A, 2014-06-25.
[31] 程新红, 夏超, 王中健, 曹铎, 郑理, 贾婷婷, 俞跃辉. 一种SJ-IGBT器件结构及其制作方法. CN: CN102969244A, 2013-03-13.
[32] 程新红, 夏超, 王中健, 曹铎, 郑理, 贾婷婷, 俞跃辉. 一种SOI RESURF超结器件结构及其制作方法. CN: CN103021864A, 2013-04-03.
[33] 程新红, 贾婷婷, 曹铎, 徐大伟, 王中健, 夏超, 郑理, 俞跃辉. 在InP衬底上制备高K栅介质薄膜和MIS电容的方法. CN: CN102760657A, 2012-10-31.
[34] 程新红, 贾婷婷, 曹铎, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种在GaAs衬底上制备Hf基高K栅介质薄膜的方法. CN: CN102664147A, 2012-09-12.
[35] 程新红, 王中健, 徐大伟, 夏超, 曹铎, 贾婷婷, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种内嵌多N岛P沟道超结器件及其制备方法. CN: CN102623345A, 2012-08-01.
[36] 程新红, 王中健, 徐大伟, 夏超, 曹铎, 贾婷婷, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种内嵌多P岛N沟道超结器件及其制备方法. CN: CN102593007A, 2012-07-18.
[37] 程新红, 曹铎, 贾婷婷, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种高k介质薄膜的制备方法. CN: CN102592974A, 2012-07-18.
[38] 程新红, 曹铎, 贾婷婷, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种MIS电容的制作方法. CN: CN102569070A, 2012-07-11.
[39] 程新红, 张有为, 徐大伟, 王中健, 夏超, 俞跃辉. 在石墨烯表面制备栅介质的方法. CN: CN102956467A, 2013-03-06.
[40] 程新红, 徐大伟, 王中健, 夏超, 曹铎, 宋朝瑞, 俞跃辉. 基于SOI材料的MOS电容器及其制作方法. CN: CN102254821A, 2011-11-23.
[41] 程新红, 张有为, 徐大伟, 王中健, 夏超, 俞跃辉. 一种一维尺度受限的石墨烯纳米带的制备方法. CN: CN102254795A, 2011-11-23.
[42] 程新红, 夏超, 王中健, 俞跃辉, 何大伟, 徐大伟. 一种基于SOI的ESD保护器件及其制作方法. CN: CN102201404A, 2011-09-28.
[43] 程新红, 夏超, 王中健, 俞跃辉, 何大伟, 徐大伟. 一种基于图形化的SOI-ESD保护器件及其制作方法. CN: CN102201405A, 2011-09-28.
[44] 程新红, 徐大伟, 王中健, 夏超, 何大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 沉积栅介质的方法、制备MIS电容的方法及MIS电容. CN: CN102226270A, 2011-10-26.
[45] 程新红, 张有为, 徐大伟, 王中建, 夏超, 何大伟, 俞跃辉. 石墨烯基场效应晶体管的制备方法. CN: CN102184849A, 2011-09-14.
[46] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种具有缓冲层的SOI超结LDMOS器件. CN: CN102130176A, 2011-07-20.
[47] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. SOI超结LDMOS器件的LDD、LDS及缓冲层一体化制作方法. CN: CN102130012A, 2011-07-20.
[48] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 夏超, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种具有缓冲层的SOI超结LDMOS器件制作方法. CN: CN102130013A, 2011-07-20.
[49] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种具有线性缓冲层的SOI超结LDMOS制作方法. CN: CN101916730A, 2010-12-15.
[50] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 具有多层超结结构的SOI LDMOS器件制作方法. CN: CN101916729A, 2010-12-15.
[51] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种具有多层超结结构的LDMOS器件. CN: CN101916780A, 2010-12-15.
[52] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 可完全消除衬底辅助耗尽效应的SOI超结LDMOS结构的制作工艺. CN: CN101916728A, 2010-12-15.
[53] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种SOI埋氧层下的导电层及其制作工艺. CN: CN101916761A, 2010-12-15.
[54] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种改善高阻SOI衬底上高介电常数栅介质性能的方法. CN: CN101924030A, 2010-12-22.
[55] 程新红, 何大伟, 王中健, 徐大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 可完全消除衬底辅助耗尽效应的SOI超结LDMOS结构. CN: CN101916779A, 2010-12-15.
[56] 程新红, 徐大伟, 王中健, 何大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 一种基于SOI衬底的高介电常数材料栅结构及其制备方法. CN: CN101950758A, 2011-01-19.
[57] 程新红, 徐大伟, 王中健, 何大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉. 基于SOI衬底的高介电常数材料栅结构及其制备方法. CN: CN101950757A, 2011-01-19.
[58] 程新红, 王中健, 俞跃辉, 何大伟, 徐大伟, 夏超. 具有沟槽结构的SOI高压功率器件芯片的制备方法. CN: CN101944505A, 2011-01-12.
[59] 程新红, 王中健, 俞跃辉, 何大伟, 徐大伟, 夏超. SOI高压功率器件的制备方法. CN: CN101916727A, 2010-12-15.
[60] 程新红, 何大伟, 俞跃辉, 肖德元, 王中健, 徐大朋. 一种可调节垂直栅SOI CMOS器件沟道电流的叉指型结构. CN: CN101764136A, 2010-06-30.
[61] 程新红, 何大伟, 俞跃辉, 肖德元, 王中健, 徐大朋. 一种具有垂直栅结构的SOI CMOS器件. CN: CN101777564A, 2010-07-14.
[62] 程新红, 何大伟, 俞跃辉, 肖德元, 王中健, 徐大朋. 一种具有垂直栅结构的SOI CMOS器件的制作方法. CN: CN101764102A, 2010-06-30.
[63] 程新红, 何大伟, 俞跃辉, 肖德元, 王中健, 徐大朋. 一种基于垂直栅SOI CMOS器件的超结结构及其制作方法. CN: CN101789435A, 2010-07-28.
[64] 杨文伟, 俞跃辉, 董业民, 程新红. 局部绝缘体上的硅制作功率器件的结构及实现方法. CN: CN1560925A, 2005-01-05.

出版信息

   
发表论文
[1] Tuo, Huan, Liu, Yun, Li, Minghao, Dai, Rongwang, Wang, Hao, Yu, Yuehui, Xue, Zhongying, Wei, Xing. Secondary defects of as-grown oxygen precipitates in nitrogen doped Czochralski single crystal silicon. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING[J]. 2023, 第 6 作者163: http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107583.
[2] Liu, Wenkai, Chen, Songsong, Liu, Yun, Wen, Zhican, Jiang, Fuman, Xue, Zhongying, Wei, Xing, Yu, Yuehui. Three-dimensional modelling of 300 mm Czochralski silicon crystal growth with a transverse magnetic field. CRYSTENGCOMM[J]. 2023, 第 8 作者25(24): 3493-3500, http://dx.doi.org/10.1039/d3ce00017f.
[3] Chen, Songsong, Liu, Wenkai, Li, Minghao, Jiang, Fuman, Wen, Zhican, Xue, Zhongying, Wei, Xing, Yu, Yuehui. Melt convection and temperature distribution in 300 mm Czochralski crystal growth with transverse magnetic field. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH[J]. 2022, 第 8 作者591: http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2022.126722.
[4] Zhou, Wen, Zheng, Li, Ning, Zhijun, Cheng, Xinhong, Wang, Fang, Xu, Kaimin, Xu, Rui, Liu, Zhongyu, Luo, Man, Hu, Weida, Guo, Huijun, Zhou, Wenjia, Yu, Yuehui. Silicon: quantum dot photovoltage triodes. NATURE COMMUNICATIONS[J]. 2021, 第 13 作者12(1): http://dx.doi.org/10.1038/s41467-021-27050-9.
[5] Liu, Xiaobo, Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Shen, Lingyan, Liu, Shaoyu, Wang, Da, You, Jinhao, Yu, Yuehui. Graphene-induced positive shift of the flat band voltage in recessed gate AlGaN/GaN structures. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2021, 第 8 作者118(17): 
[6] Zheng, Li, Wang, Qian, Cheng, Xinhong, Xin, Wenbo, Ye, Peiyi, Yu, Yuehui. Optimized JFET regions of 4H-SiC VDMOS with reduced on-resistance and improved gate oxide reliability. JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS[J]. 2020, 第 6 作者53(27): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000533395900001.
[7] 徐超, 吴灯鹏, 李新昌, 徐大伟, 俞跃辉, 程新红. 带有修调的分段曲率补偿带隙基准电路. 哈尔滨工业大学学报[J]. 2020, 第 5 作者52(4): 112-118, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2020&filename=HEBX202004015&v=MjI2NzdyM01MU2pKZHJHNEhOSE1xNDlFWVlSOGVYMUx1eFlTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVI3cWVaK1J2RmkzZ1Y=.
[8] Zhou, Wen, Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Zhou, Wenjia, Xiao, Xiongbin, Xu, Kaimin, Xin, Wenbo, Ye, Peiyi, Yu, Yuehui. PbS colloidal quantum dots patterning technique with low vertical leakage current for the photodetection applications. JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS[J]. 2020, 第 9 作者31(8): 5900-5906, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000529360200018.
[9] Zhou, Wen, Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Zhou, Wenjia, Ye, Peiyi, Shen, Lingyan, Zhang, Dongliang, Gu, Ziyue, Yu, Yuehui. Plasma-enhanced atomic layer deposition of SiO2 for channel isolation of colloidal quantum dots phototransistors. SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES[J]. 2019, 第 9 作者125: 281-286, http://dx.doi.org/10.1016/j.spmi.2018.11.013.
[10] Dongliang Zhang, Xinhong Cheng, Li Zheng, Lingyan Shen, Qian Wang, Ziyue Gu, Ru Qian, Dengpeng Wu, Wen Zhou, Duo Cao, Yuehui Yu. Corrigendum to "Effects of polycrystalline AlN film on the dynamic performance of AlGaN/GaN high electron mobility transistors" Mat. Des. 148(2018) 1–7. MATERIALS & DESIGN. 2019, 第 11 作者429, http://dx.doi.org/10.1016/j.matdes.2018.11.059.
[11] 顾子悦, 吴灯鹏, 程新红, 刘晓博, 俞跃辉. 高阻硅基GaN晶片上MIS栅结构GaN HEMT射频器件研制. 微波学报[J]. 2019, 第 5 作者16-20, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=87668866504849574852484852.
[12] Xu, Dawei, Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Wang, Gang, Wang, Qian, Xin, Wenbo, Ye, Peiyi, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui. Band alignment regulation of HfO2/SiC heterojunctions induced by PEALD with in situ NH3-plasma passivation. PHYSICS LETTERS A[J]. 2019, 第 9 作者383(25): 3134-3137, http://dx.doi.org/10.1016/j.physleta.2019.07.011.
[13] 徐超, 吴灯鹏, 徐大伟, 朱弘月, 俞跃辉, 程新红. 带有固定延迟时间的IGBT去饱和过流检测电路. 半导体技术[J]. 2019, 第 5 作者44(1): 65-72, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6100159186.
[14] Zheng, Li, Zhou, Wenjia, Ning, Zhijun, Wang, Gang, Cheng, Xinhong, Hu, Weida, Zhou, Wen, Liu, Zhiduo, Yang, Siwei, Xu, Kaimin, Luo, Man, Yu, Yuehui. Ambipolar Graphene-Quantum Dot Phototransistors with CMOS Compatibility. ADVANCED OPTICAL MATERIALS[J]. 2018, 第 12 作者6(23): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000453512700013.
[15] 李新昌, 徐大伟, 朱弘月, 程新红, 俞跃辉. 基于IGBT栅极米勒平台的新型电流过载检测技术. 仪器仪表学报[J]. 2018, 第 5 作者39(9): 156-162, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=676599355.
[16] 钱茹, 程新红, 郑理, 沈玲燕, 张栋梁, 顾子悦, 俞跃辉. p-GaN在不同掩膜和刻蚀气体中的ICP刻蚀. 半导体技术[J]. 2018, 第 7 作者43(6): 449-455, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=675451056.
[17] Wang, Qian, Cheng, Xinhong, Zheng, Li, Ye, Peiyi, Li, Menglu, Shen, Lingyan, Li, Jingjie, Zhang, Dongliang, Gu, Ziyue, Yu, Yuehui. Enhanced interfacial and electrical characteristics of 4H-SiC MOS capacitor with lanthanum silicate passivation interlayer. APPLIED SURFACE SCIENCE[J]. 2017, 第 10 作者410: 326-331, http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.03.114.
[18] Shen, Lingyan, Zhang, Dongliang, Cheng, Xinhong, Zheng, Li, Xu, Dawei, Wang, Qian, Li, Jingjie, Cao, Duo, Yu, Yuehui. Performance Improvement and Current Collapse Suppression of Al2O3/AlGaN/GaN HEMTs Achieved by Fluorinated Graphene Passivation. IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS[J]. 2017, 第 9 作者38(5): 596-599, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000400413200016.
[19] 李静杰, 程新红, 王谦, 俞跃辉. 退火温度对Au/Ti/4H-SiC肖特基接触特性的影响. 半导体技术[J]. 2017, 第 4 作者42(8): 598-602,630, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/bdtjs201708007.
[20] Wang, Qian, Cheng, Xinhong, Zheng, Li, Shen, Lingyan, Li, Jingjie, Zhang, Dongliang, Qian, Ru, Yu, Yuehui. Interface engineering of an AlNO/AlGaN/GaN MIS diode induced by PEALD alternate insertion of AlN in Al2O3. RSC ADVANCES[J]. 2017, 第 8 作者7(19): 11745-11751, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000395867900068.
[21] Li, Jingjie, Cheng, Xinhong, Wang, Qian, Zheng, Li, Shen, Lingyan, Li, Xinchang, Zhang, Dongliang, Zhu, Hongyue, Shen, DaShen, Yu, Yuehui. Morphology improvement of SiC trench by inductively coupled plasma etching using Ni/Al2O3 bilayer mask. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING[J]. 2017, 第 10 作者67: 104-109, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000403992400016.
[22] Shen, Lingyan, Cheng, Xinhong, Wang, Zhongjian, Cao, Duo, Zheng, Li, Wang, Qian, Zhang, Dongliang, Li, Jingjie, Yu, Yuehui. Negative differential resistance in the I-V curves of Al2O3/AlGaN/GaN MIS structures. RSC ADVANCES[J]. 2016, 第 9 作者6(7): 5671-5676, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000368941700061.
[23] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Ye, Peiyi, Shen, Lingyan, Wang, Qian, Zhang, Dongliang, Wang, Zhongjian, Yu, Yuehui, Yu, Xinke. Semiconductor-like nanofilms assembled with AlN and TiN laminations for nearly ideal graphene-based heterojunction devices. JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY C[J]. 2016, 第 8 作者4(47): 11067-11073, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000390725800007.
[24] 张专, 程新红, 俞跃辉, 王坤. 一种快速转换的过温保护电路. 半导体技术[J]. 2016, 第 3 作者41(1): 22-26, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=5610166&detailType=1.
[25] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Yu, Yuehui, Xie, Yahong, Li, Xiaolong, Wang, Zhongjian. Controlled direct growth of Al2O3-doped HfO2 films on graphene by H2O-based atomic layer deposition. PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS[J]. 2015, 第 3 作者17(5): 3179-3185, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000348203200026.
[26] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Wang, Qian, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Direct growth of Sb2Te3 on graphene by atomic layer deposition. RSC ADVANCES[J]. 2015, 第 8 作者5(50): 40007-40011, http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2376511.
[27] Zheng, Xiaohu, Zhang, Miao, Shi, Xiaohua, Wang, Gang, Zheng, Li, Yu, Yuehui, Huang, Anping, Chu, Paul K, Gao, Heng, Ren, Wei, Di, Zengfeng, Wang, Xi. Fluorinated Graphene in Interface Engineering of Ge-Based Nanoelectronics. ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS[J]. 2015, 第 6 作者25(12): 1805-1813, http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2237063.
[28] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Zhang, Dongliang, Wang, Zhongjian, Xu, Dawei, Xia, Chao, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui. Al2O3-Gd2O3 double-films grown on graphene directly by H2O-assisted atomic layer deposition. RSC ADVANCES[J]. 2014, 第 9 作者4(83): 44296-44301, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000344527300066.
[29] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Property transformation of graphene with Al2O3 films deposited directly by atomic layer deposition. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2014, 第 6 作者104(2): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000330431000100.
[30] Wan, Wenyan, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Zheng, Li, Xu, Dawei, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui, Shen, DaShen. Properties of HfLaO MOS capacitor deposited on SOI with plasma enhanced atomic layer deposition. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A[J]. 2014, 第 9 作者32(1): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000335847600027.
[31] Yu, Wenjie, Wu, Wangran, Zhang, Bo, Liu, Chang, Sun, Jiabao, Zhai, Dongyuan, Yu, Yuehui, Wang, Xi, Shi, Yi, Zhao, Yi, Zhao, QingTai. Experimental Investigation on Alloy Scattering in sSi/Si0.5Ge0.5/sSOI Quantum-Well p-MOSFET. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES[J]. 2014, 第 7 作者61(4): 950-952, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000333464000004.
[32] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Wang, Zhongjian, Xu, Dawei, Xia, Chao, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui. Effects of rapid thermal annealing on properties of HfAlO films directly deposited by ALD on graphene. MATERIALS LETTERS[J]. 2014, 第 8 作者137: 200-202, http://dx.doi.org/10.1016/j.matlet.2014.08.146.
[33] Cao, Duo, Cheng, Xinhong, Xie, Yahong, Li, Xiaolong, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Zheng, Li, Xu, Dawei, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui. Properties of HfO2/La2O3 nanolaminate films grown on an AlGaN/GaN heterostructure by plasma enhanced atomic layer deposition. RSC ADVANCES[J]. 2014, 第 10 作者4(69): 36828-36833, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000341363200058.
[34] Zheng, Li, Cheng, Xinhong, Cao, Duo, Wang, Gang, Wang, Zhongjian, Xu, Dawei, Xia, Chao, Shen, Lingyan, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Improvement of Al2O3 Films on Graphene Grown by Atomic Layer Deposition with Pre-H2O Treatment. ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES[J]. 2014, 第 9 作者6(10): 7014-7019, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000336639200005.
[35] Xu Dawei, Cheng Xinhong, Yu Yuehui, Wang Zhongjian, Xia Chao, Cao Duo, Zhao QingTai, Liu Linjie, Mantl Siegfried, IEEE. Multi-Gates SOI LDMOS for Improved on-state Performance. 2014 IEEE 26TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON POWER SEMICONDUCTOR DEVICES & IC'S (ISPSD). 2014, 第 3 作者175-178, 
[36] 徐大伟, 程新红, 曹铎, 郑理, 万文艳, 俞跃辉. PEALD HfO_2栅介质薄膜的界面优化及其特性表征. 半导体技术[J]. 2013, 第 6 作者38(10): 755-759, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=4962683&detailType=1.
[37] Cao, Duo, Cheng, Xinhong, Jia, Tingting, Zheng, Li, Xu, Dawei, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Total-Dose Radiation Response of HfLaO Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition. IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE[J]. 2013, 第 8 作者60(2): 1373-1378, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000320856800017.
[38] Xia, Chao, Cheng, Xinhong, Wang, Zhongjian, Cao, Duo, Jia, Tingting, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. ON-Resistance Degradation Induced by Hot-Carrier Injection in SOI SJ-LDMOS. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES[J]. 2013, 第 6 作者60(3): 1279-1281, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000316820000058.
[39] Cao, Duo, Cheng, Xinhong, Jia, Tingting, Xu, Dawei, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Yu, Yuehui, Shen, DaShen. Characterization of HfO2/La2O3 layered stacking deposited on Si substrate. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B[J]. 2013, 第 7 作者31(1): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000313672600013.
[40] Cao, Duo, Cheng, Xinhong, Yu, Yuehui, Li, Xiaolong, Liu, Chunze, Shen, Dashen, Maendl, Stephan. Competitive Si and La effect in HfO2 phase stabilization in multi-layer (La2O3)(0.08)(HfO2) films. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2013, 第 3 作者103(8): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000323788100014.
[41] 张有为, 万里, 程新红, 王中健, 夏超, 曹铎, 贾婷婷, 俞跃辉. 采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积A12O3介质薄膜研究. 无机材料学报[J]. 2012, 第 8 作者27(9): 956-960, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43323301.
[42] Zhang Youwei, Xu Dawei, Wan Li, Wang Zhongjian, Xia Chao, Cheng Xinhong, Yu Yuehui. Properties of a Ni-FUSI gate formed by the EBV method and one-step RTA. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2012, 第 7 作者33(3): 036003-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41141609.
[43] 王中健, 夏超, 徐大伟, 程新红, 宋朝瑞, 俞跃辉. 薄膜SOl上大于600 V LDMOS器件的研制. 半导体技术[J]. 2012, 第 6 作者37(4): 254-257, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41501121.
[44] 王中健, 夏超, 徐大伟, 程新红, 宋朝瑞, 俞跃辉. 薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制. 半导体技术[J]. 2012, 第 6 作者37(4): 254-257, http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/111033.
[45] 张有为, 万里, 程新红, 王中健, 夏超, 曹铎, 贾婷婷, 俞跃辉. 采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究. 无机材料学报[J]. 2012, 第 8 作者27(9): 956-960, https://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2012.11663.
[46] 夏超, 王中健, 何大伟, 徐大伟, 张有为, 程新红, 俞跃辉. 基于SCR的SOI ESD保护器件研究. 功能材料与器件学报[J]. 2012, 第 7 作者18(1): 17-22, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=41360519.
[47] Xu, Dawei, Cheng, Xinhong, Zhang, Youwei, Wang, Zhongjian, Xia, Chao, Cao, Duo, Yu, Yuehui, Shen, DaShen. Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment. MICROELECTRONIC ENGINEERING[J]. 2012, 第 7 作者93: 15-18, http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2011.11.017.
[48] Wang, Zhongjian, Cheng, Xinhong, He, Dawei, Xia, Chao, Xu, Dawei, Yu, Yuehui, Zhang, Dong, Wang, Yanying, Lv, Yuqiang, Gong, Dawei, Shao, Kai. Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI. MICROELECTRONIC ENGINEERING[J]. 2012, 第 6 作者91: 102-105, http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2011.10.014.
[49] 徐大朋, 万里, 程新红, 何大伟, 宋朝瑞, 俞跃辉, 沈达身. Al_2O_3对应变SiGe上HfO_2薄膜的热稳定性和电学可靠性的影响(英文). 稀有金属材料与工程[J]. 2011, 第 6 作者40(8): 1344-1347, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=39094312.
[50] Xu, Dapeng, Wan, Li, Cheng, Xinhong, He, Dawei, Song, Zhaorui, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGeOriginal. XIYOU JINSHU CAILIAO YU GONGCHENG/RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING.[J]. 2011, 第 6 作者40(8): 1344-1347, http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/109181.
[51] 何大伟, 程新红, 王中健, 徐大朋, 宋朝瑞, 俞跃辉. 反转胶lift—Off工艺制备堆栈电感. 功能材料与器件学报[J]. 2010, 第 6 作者16(2): 109-113, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=33480088.
[52] Xiao Deyuan, Wang Xi, Yuan Haijiang, Yu Yuehui, Xie Zhifeng, Chi Minhwa. A novel GAAC FinFET transistor: device analysis, 3D TCAD simulation, and fabrication. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2009, 第 4 作者30(1): 11-15, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29407921.
[53] 张苗, 季明华, 吴汉明, 谢志峰, 肖德元, 王曦, 俞跃辉, 袁海江, 程新红, 陈静, 甘甫烷. 一种新型混合晶向积累型圆柱体共包围栅互补金属氧化物场效应晶体管. 科学通报[J]. 2009, 第 7 作者2051-2059, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=31308377.
[54] Cheng, Xinhong, Song, Zhaorui, Xing, Yumei, Yu, Yuehui, Shen, Dashen. Engineering of interfacial layer between HfAl2O5 dielectric film and Si with a Ti-capping layer. THIN SOLID FILMS[J]. 2008, 第 4 作者517(1): 462-464, http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2008.08.066.
[55] 肖德元, 谢志峰, 季明华, 王曦, 俞跃辉. 适用于按比例缩小至亚10nm的圆柱体全包围栅场效应管仿真. 半导体学报[J]. 2008, 第 5 作者29(3): 447-457, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26739400.
[56] 肖德元, 谢志峰, 季明华, 王曦, 俞跃辉. 适用于按比例缩小至亚10nm的圆柱体全包围栅场效应管仿真(英文). 半导体学报[J]. 2008, 第 5 作者http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51761.
[57] Xiao Deyuan, Xie Joseph, Chi Minhwa, Wang Xi, Yu Yuehui. 适用于按比例缩小至亚10nm的圆柱体全包围栅场效应管仿真. 半导体学报[J]. 2008, 第 5 作者29(3): 447-457, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26739400.
[58] 程新红, 杨文伟, 宋朝瑞, 俞跃辉, 姜丽娟, 王芳. SOI LDMOS功率器件的研究与制备. 微处理机[J]. 2007, 第 4 作者28(2): 11-13, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=24580633.
[59] 宋朝瑞, 程新红, 张恩霞, 邢玉梅, 俞跃辉, 郑志宏, 沈勤我, 张正选, 王曦. 氮元素对高k铪基介电薄膜总剂量抗辐射性能的影响研究. 核技术[J]. 2007, 第 5 作者675-678, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1000024649.
[60] Song, Zhaorui (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences), Cheng, Xinhong, Zhang, Enxia, Xing, Yumei, Yu, Yuehui, Zheng, Zhihong, Shen, Qinwo, Zhang, Zhengxuan, Wang, Xi. Effects of nitrogen element on total-dose irradiation response of high-k Hf-based dielectric films. HE JISHU/NUCLEAR TECHNIQUES, V 30, N 8, AUGUST, 2007[J]. 2007, 第 5 作者30(8): http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/109072.
[61] 程新红, 王洪涛, 宋朝瑞, 俞跃辉, 袁凯, 许仲德. 适合基站放大器应用的图形化SOI LDMOSFET的设计与分析. 温州师范学院学报[J]. 2006, 第 4 作者27(2): 20-24, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21757009.
[62] 陶凯, 俞跃辉, 郑智宏, 邹世昌. 离子束增强沉积法制备二氧化铪薄膜. 半导体技术[J]. 2006, 第 2 作者31(3): 209-211, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21252113.
[63] 程新红, 宋朝瑞, 俞跃辉, 袁凯, 许仲德. 利用改善的体连接技术制备SOILDMOSFET. 半导体技术[J]. 2006, 第 3 作者31(7): 523-525, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=22189832.
[64] Cheng Xinhong, Song Zhaorui, Yu Yuehui. 高性能HfAlO介质薄膜的制备. 稀有金属材料与工程[J]. 2006, 第 3 作者35(8): 1192-1194, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=22719804.
[65] 程新红, 王洪涛, 宋朝瑞, 俞跃辉, 袁凯, 许仲德. 适合基站放大器应用的图形化SOILDMOSFET的设计与分析. 温州师范学院学报(自然科学版)[J]. 2006, 第 4 作者http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21757009.
[66] Cheng, XH, Song, ZR, Yu, YY, Yang, WW, Shen, DS. Characteristics of HfxSiyO films grown on Si0.8Ge0.2 layer by electron-beam evaporation. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2006, 88(12): http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95186.
[67] 程新红, 宋朝瑞, 俞跃辉, 姜丽娟, 许仲德. 新型PSOI LDMOSFET的结构优化. 半导体技术[J]. 2006, 第 3 作者31(6): 444-447,459, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=21909758.
[68] 邢玉梅, 俞跃辉, 陈可炜, 郑志宏, 杨文伟. CH4+Ar混合等离子体注入新工艺. 压电与声光[J]. 2005, 第 2 作者27(3): 328-330,334, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=15784201.
[69] 程新红, 宋朝瑞, 杨文伟, 俞跃辉. 高性能图形化SOI功率器件的研制. 功能材料与器件学报[J]. 2005, 第 4 作者11(3): 333-337, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=20192318.
[70] 邢玉海, 俞跃辉, 林梓鑫, 宋朝瑞, 杨文伟. 高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究. 功能材料与器件学报[J]. 2004, 第 2 作者10(3): 323-326, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10924656.
[71] 程新红, 杨文伟, 宋朝瑞, 俞跃辉, 沈达升. 新型图形化 SOI LDMOS结构的性能分析(英文). 半导体学报[J]. 2004, 第 4 作者http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/337748.
[72] 邢玉梅, 陶凯, 俞跃辉, 郑志宏, 杨文伟, 宋朝瑞, 沈达身. 在SOI材料上制备高质量的氧化铪薄膜. 功能材料[J]. 2004, 第 3 作者35(6): 736-738, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=11289854.
[73] 程新红, 杨文伟, 宋朝瑞, 俞跃辉, 沈达升. 新型图形化SOI LDMOS结构的性能分析. 半导体学报[J]. 2004, 第 4 作者25(12): 1580-1585, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=12030909.
[74] 邢玉梅, 陶凯, 俞跃辉, 宋朝瑞, 郑志宏. 用IBED方法在SOI上制备高质量的氧化铪薄膜. 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集[J]. 2003, 第 3 作者http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55996.
[75] 宋朝瑞, 俞跃辉, 邹世昌, 张福民, 王曦. 电绝缘用ta-C薄膜的微观结构与电学特性. 功能材料与器件学报[J]. 2003, 第 2 作者9(4): 415-418, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=8790626.
[76] 叶春暖, 汤乃云, 吴雪梅, 诸葛兰剑, 俞跃辉, 姚伟国. Ge—SiO2薄膜的结构及其发光特性的研究. 功能材料与器件学报[J]. 2002, 第 5 作者8(2): 103-107, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6497500.
[77] Song, ZR, Yu, YH, Li, CL, Zou, SC, Zhang, FM, Wang, X, Shen, DS, Luo, EZ, Sundaravel, B, Wong, SP, Wilson, IH. Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2002, 80(5): 743-745, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/380760.
[78] 黎传礼, 俞跃辉, 陈猛. 低剂量SOI圆片的无损电学表征测试. 功能材料与器件学报[J]. 2002, 第 2 作者8(2): 191-194, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6497540.
[79] 吴雪梅, 董业民, 诸葛兰剑, 叶春暖, 汤乃云, 俞跃辉, 宁兆元, 姚伟国. 硅基氧化物薄膜的结构及光吸收特性的研究. 功能材料[J]. 2002, 第 6 作者33(2): 209-211, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6260172.
[80] 汤乃云, 吴雪梅, 叶春暖, 诸葛兰剑, 俞跃辉, 姚伟国. 退火温度对Ge-SiO_2簿膜的结构和发光特性的影响. 第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[J]. 2001, 第 5 作者http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/364360.
[81] 汤乃云, 叶春暖, 姚伟国, 俞跃辉, 董业民, 宁兆元, 诸葛兰剑, 吴雪梅. 铝掺杂对硅基薄膜电致发光的影响. 科学通报[J]. 2001, 第 4 作者46(16): 1342, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=5496179.
[82] YUYuehui, ZOUShichang, ZHOUZhuyun, ZHAOGuoqing. Optical Probing of Free-Carrier Plasma Effects of MeV IonImplanted Silicon. Chinese Physics Letters[J]. 1995, 第 1 作者  通讯作者  12(1): 50-53, https://cpl.iphy.ac.cn/Y1995/V12/I1/50.
[83] 俞跃辉, 邹世昌, 关安民, 周筑颖, 赵国庆. 高能离子注入硅形成导电埋层的光学表征. 中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)[J]. 1994, 第 1 作者24(6): 606, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1610837.
[84] 俞跃辉, 林成鲁, 朱文化, 邹世昌, 卢江. 氧离子和氮离子共注人硅形成绝缘埋层的微观结构及其光学性质. 电子与信息学报[J]. 1991, 第 1 作者13(5): 489-495, https://jeit.ac.cn/article/id/95032062-9836-48a3-b5eb-df82d772a02b.
[85] 俞跃辉, 邹世昌, 林成鲁, 卢江. 氧离子和氮离子共注入硅形成SOI结构的俄歇能谱研究. 半导体学报[J]. 1991, 第 1 作者12(10): 614, http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105198.
[86] 林成鲁, 俞跃辉, 方子韦, 张顺开, 倪如山, 邹世昌, 李金华, P.L.F.Hemment. SIMNI和SIMOX多层结构及其光学性质的研究. 中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)[J]. 1990, 第 2 作者http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/104240.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 高K栅介质材料, 负责人, 国家任务, 2009-06--2011-12
( 2 ) 20-14nm技术代关键材料技术和产品开发(2014ZX02301003, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
( 3 ) Ⅲ-Ⅴ族半导体衬底上铪基高k栅介质界面特性研究, 参与, 国家任务, 2012-01--2015-12
( 4 ) 针对多层MoS2的低能等离子体可控掺杂机理及原位缺陷修饰研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
( 5 ) ALD等离子体系统原位钝化SiC界面及快慢双能态陷阱共轭抑制机理研究, 参与, 国家任务, 2021-01--2024-12
( 6 ) LY, 负责人, 国家任务, 2020-01--2021-12

指导学生

已指导学生

杨文伟  博士研究生  080501-材料物理与化学  

梁军  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

程新红  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邢玉梅  博士研究生  080501-材料物理与化学  

李文钧  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

何大伟  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王中健  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

徐大伟  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

夏超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

曹铎  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张专  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郑理  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李静杰  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

卢仕龙  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

沈玲燕  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

顾子悦  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王谦  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李新昌  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

徐超  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张栋梁  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

钱茹  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

周文  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄晓义  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘晓博  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘少煜  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

肖雄斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

游晋豪  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

王达  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

周学通  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

冯竣虹  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

苏杭  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王昊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张程  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学