长期从事微米/纳米加工和测量研究，电子束曝光设备的研制和高压电子束曝光特性的研究。主要研究工作领域包括：纳米加工技术、表面分析、仪器设备（包括生命科学仪器）、表面物理。

   

080822-能源与电工新材料
080821-微纳电工技术
080805-电工理论与新技术

微纳电工技术研究

   

清华大学 20000401--20020501 研究生毕业

清华大学 20000401--20020501 理学博士学位

   

微纳加工技术研究部主任、电工所所长助理

靳鹏云  博士研究生  080804-电力电子与电力传动  80148-电工研究所

王丽娜  博士研究生  080821-微纳电工技术  80148-电工研究所

殷伯华  博士研究生  080821-微纳电工技术  80148-电工研究所

陈代谢  博士研究生  080821-微纳电工技术  80148-电工研究所

罗雪丰  博士研究生  080821-微纳电工技术  80148-电工研究所