基本信息
谭满清  男  博导  中国科学院半导体研究所
电子邮件: mqtan@semi.ac.cn
通信地址: 半导体林科宿舍11#881
邮政编码: 100083

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080901-物理电子学
招生方向
半导体光电子器件及集成技术
光纤传感光源及工程化技术

教育背景

1993-09--1996-07   北京理工大学   工学博士
1990-09--1993-07   北京师范大学   理学硕士

工作经历

   
工作简历
2018-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员二级
2009-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员三级
2001-09~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员四级
1998-08~2001-08,中国科学院半导体研究所, 副研究员
1996-08~1998-07,中国科学院半导体研究所, 博士后
1993-09~1996-07,北京理工大学, 工学博士
1990-09~1993-07,北京师范大学, 理学硕士
1986-07~1990-08,湖南省岳云中学, 中学物理教师
社会兼职
2018-01-01-今,中国科学院半导体研究所学术委员会, 委员
2013-09-12-今,中国核学会辐射物理分会, 理事
2012-06-29-2020-12-31,北京市光纤传感系统工程技术研究中心, 技术委员会委员
2011-09-30-今,国家****评审专家,

教授课程

光学薄膜技术及其应用
光学薄膜及其应用

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高功率超辐射模块, 一等奖, 部委级, 2019
(2) 超辐射发光二极管, 二等奖, 部委级, 2009
(3) 670nm半导体量子阱激光器批量生产, 二等奖, 国家级, 2001
(4) 高功率激光二极管列阵, 二等奖, 部委级, 2000
(5) 670nm半导体量子阱激光器批量生产, 一等奖, 部委级, 1999
专利成果
( 1 ) 混合集成的光纤传感用光学器件, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN111256738B

( 2 ) 带透明窗口的超辐射发光二极管结构, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN109037403B

( 3 ) 半导体激光合束装置, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111613969A

( 4 ) 低发散角的超辐射发光二极管结构, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN108447954B

( 5 ) 980nm半导体激光器结构及制备方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN105826815B

( 6 ) 基于模斑转换结构的超辐射发光二极管, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108616034A

( 7 ) 基于光纤透镜与光栅集成的窄线宽外腔激光器结构, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106159672A

( 8 ) 高掺杂宽光谱的铒镱共掺超荧光光纤光源集成装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN105811228A

( 9 ) 一种光纤激光器装置, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104051938A

( 10 ) 一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103811985A

( 11 ) 准直分光镜系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103513429A

( 12 ) 一种表面贴装LED用的陶瓷外壳, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN203300690U

( 13 ) 一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103346477A

( 14 ) 分布式反馈激光器及其制备方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102738701A

( 15 ) 光纤陀螺用集成光学收发模块, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102607550A

( 16 ) 一种低波纹系数半导体超辐射发光二极管的制备方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102117868A

( 17 ) 用于光纤陀螺的掺铒超荧光光纤光源结构, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102064456A

( 18 ) 实现半导体超辐射发光二极管无制冷封装耦合的方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101728468A

( 19 ) 不同折射率膜层的制备方法, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN100491584

( 20 ) 砷化镓/氧化铝型可调谐滤波器及制作方法, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN100445787

( 21 ) 长波长微机械可调谐滤波器的结构和制作方法, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN100435018

( 22 ) 长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN100428593

( 23 ) 集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法, 2007, 第 3 作者, 专利号: CN101093931

( 24 ) 砷化镓/空气型可调谐滤波器及制作方法, 2007, 第 3 作者, 专利号: CN101093265

( 25 ) 提高硅薄膜致密性的制备方法, 2007, 第 1 作者, 专利号: CN1936070

( 26 ) 磷化铟表面清洁方法, 2000, 第 1 作者, 专利号: CN1264163

( 27 ) 砷化镓表面清洁方法, 2000, 第 1 作者, 专利号: CN1254946

出版信息

   
发表论文
(1) Development of an Electrochemical Sensor for Chloride ion Detection Using Ion-Sensitive Field-Effect Transistor Array, INTERNATIONAL JOURNAL OF ELECTROCHEMICAL SCIENCE, 2021, 第 6 作者
(2) 40 GHz high-efficiency Michelson interferometer modulator on a silicon-rich nitride and thin-film lithium niobate hybrid platform, OPTICS LETTERS, 2021, 第 6 作者
(3) High-Efficiency, Slow-Light Modulator on Hybrid Thin-Film Lithium Niobate Platform, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2021, 第 5 作者
(4) Single Event Burnout Hardening of Enhancement Mode HEMTs With Double Field Plates, IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE, 2021, 第 6 作者
(5) 光纤陀螺脱骨架光纤环温度性能研究, Temperature Performance of FOG De-Skeleton Sensing Fiber Coil, 天津大学学报:自然科学与工程技术版, 2021, 第 2 作者
(6) Polarization control and mode optimization of 850 nm multi-mode VCSELs using surface grating, APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS, 2021, 通讯作者
(7) Oxide-aperture-dependent output characteristics of circularly symmetric VCSEL structure, Oxide-aperture-dependent output characteristics of circularly symmetric VCSEL structure, CHINESE PHYSICS B, 2020, 通讯作者
(8) Portable and Battery-Powered PCR Device for DNA Amplification and Fluorescence Detection, SENSORS, 2020, 第 8 作者
(9) Structured illumination microscopy based on fiber devices, OPTICS COMMUNICATIONS, 2020, 第 6 作者
(10) 974 nm双光纤光栅激光器随温度变化特性, Temperature-Dependent Characteristics of a 974 nm Dual-Fiber Bragg Grating Laser, 中国激光, 2020, 第 3 作者
(11) Low-cost hybrid integrated 4 x 25 GBaud PAM-4 CWDM ROSA with a PLC-based arrayed waveguide grating de-multiplexer, PHOTONICS RESEARCH, 2019, 第 7 作者
(12) Compact and low-cost structured illumination microscopy using an optical fiber coupler, OPTICS COMMUNICATIONS, 2019, 第 6 作者
(13) Fluorescence quantification of intracellular materials at the single-cell level by an integrated dual-well array microfluidic device, ANALYST, 2019, 第 5 作者
(14) Compact and Broadband Optical Add-Drop De-Multiplexer With Cascaded Elliptical Micro-Rings on SOI, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2019, 第 6 作者
(15) Low-cost hybrid integrated 4 × 25 GBaud PAM-4 CWDM ROSA with a PLC-based arrayed waveguide grating de-multiplexer, Photonics Research, 2019, 第 7 作者
(16) Simulation of structural design with high coupling efficiency in external cavity semiconductor laser, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2019, 通讯作者
(17) Simulation and fabrication of 1.55 mu m AlGaInAs/InP quantum well lasers with low beam divergence, JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2019, 通讯作者
(18) Polarization-independent directional coupler and polarization beam splitter based on asymmetric cross-slot waveguides., APPLIED OPTICS, 2018, 第 4 作者
(19) A novel dual-well array chip for efficiently trapping single-cell in large isolated micro-well without complicated accessory equipment, BIOMICROFLUIDICS, 2018, 第 5 作者
(20) A high-speed small-area pixel 16 x 16 ISFET array design using 0.35-mu m CMOS process, MICROELECTRONICS JOURNAL, 2018, 第 4 作者
(21) An open-pattern droplet-in-oil planar array for single cell analysis based on sequential inkjet printing technology, BIOMICROFLUIDICS, 2017, 第 3 作者
(22) Silicon-on-insulator-based polarization-independent 1x3 broadband beam splitter with adiabatic coupling, AOPC 2017: OPTOELECTRONICS AND MICRO/NANO-OPTICS, 2017, 
(23) Theoretical study on erbium ytterbium co-doped super-fluorescent fiber source, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2016, 第 3 作者
(24) Compact silicon-on-insulator-based 2 × 2 Mach-Zehnder interferometer electro-optic switch with low crosstalk, Chinese Optics Letters, 2015, 第 6 作者
(25) Compact silicon-on-insulator-based 2x2 Mach-Zehnder interferometer electro-optics switch with low crosstalk, Chinese optics letters, 2015, 第 6 作者
(26) Compact silicon-on-insulator-based 2 x 2 Mach-Zehnder interferometer electro-optic switch with low crosstalk, CHINESE OPTICS LETTERS, 2015, 第 6 作者
(27) Long-term storage life of light source modules by temperature cycling accelerated life test, Journal of Semiconductors, 2014, 第 2 作者
(28) 980 nm fiber grating external cavity semiconductor lasers with high side mode suppression ratio and high stable frequency, Journal of Semiconductors, 2014, 第 2 作者
(29) Rapid evaluation method for the normal lifetime of an infrared light-emitting diode, Journal of semiconductors, 2013, 第 2 作者
(30) Study on improving the compactness of SiO2 thin film by PECVD, Study on improving the compactness of SiO2 thin film by PECVD, Journal of synthetic crystals, 2013, 第 2 作者
(31) PECVD提高SiO2薄膜致密性的研究, 人工晶体学报, 2013, 第 1 作者
(32) A neutron radiation-hardened superluminescent diode, A neutron radiation-hardened superluminescent diode, 半导体学报, 2012, 第 2 作者
(33) A neutron radiation-hardened superluminescent diode, A neutron radiation-hardened superluminescent diode, 半导体学报, 2012, 第 2 作者
(34) Research on a neutron radiation-hardened Superluminescent Diode, Journal of Semiconductors, 2012, 第 1 作者
(35) Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes, Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes, 半导体学报, 2011, 第 2 作者
(36) Experimental Optimization of Erbium-doped Super-fluorescent Fiber Source for Fiber Optic Gyros, Journal of Semiconductors, 2011, 第 1 作者
(37) Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes, Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes, 半导体学报, 2011, 第 2 作者
(38) 1300nm超辐射发光二极管寿命测试, Lifetime Tests of 1300 nm Superluminesent Diodes, 光学学报, 2008, 第 2 作者
(39) 1300nm超辐射发光二级管的寿命测试, 光学学报, 2008, 第 1 作者
(40) The effect of proton radiation on a superlumine scent diode (sld), NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007, 
(41) 双源电子束蒸发提高光学薄膜致密性的工艺研究, Study of the Compact in Si/SiO2 Optical Thin Film by Double Source Electron Beam Evaporation Technology, 光电子.激光, 2007, 第 4 作者
(42) 一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析, Design and Analysis of a Long Wavelength MOEMS Tunable Filter, 半导体学报, 2007, 第 6 作者
(43) InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟, Deformation Simulation on the Beam of InP-Based MOEMS Tunable Devices, 半导体学报, 2007, 第 6 作者
(44) 用于WDM系统的垂直腔可调谐光电器件, Vertical cavity tunable photonic devices used in WDM systems, 光通信技术, 2007, 第 2 作者
(45) 双源电子束蒸发制备Si/SiO2光学薄膜的工艺, Preparation of Si/SiO2 Optical Thin Film by Double Source Electron Beam Evaporation Technology, 半导体学报, 2006, 第 3 作者
(46) 数值分析渐变DBR对垂直腔面发射激光器谐振腔模的影响, 半导体学报, 2006, 第 6 作者
(47) Optical characteristics of DBR with inhomogeneous graded interfaces, ACTA PHYSICA SINICA, 2006, 第 6 作者
(48) Optical characteristics of DBR with inhomogeneous graded interfaces, ACTA PHYSICA SINICA, 2006, 第 6 作者
(49) 1550nm偏振不灵敏半导体光放大器的研制, 光电子·激光, 2006, 第 5 作者
(50) 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器, 半导体光电, 2006, 第 6 作者
(51) 台面尺寸对垂直腔面发射激光器电学特性的影响, Effect of Mesa Size on the Electrical Characteristics of Vertical-cavity Surface-emitting Lasers, 半导体光电, 2005, 第 5 作者
(52) 大功率670nm半导体激光器的研制, Fabrication of High Power 670nm Laser Diodes, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(53) 吸收对垂直腔面发射激光器光学特性的影响, 光子学报, 2005, 第 5 作者
(54) Effect of Mesa Size on Thermal Characteristics of Vertical-cavity Surface-emitting Lasers, Semiconductor photonics and technology, 2005, 第 4 作者
(55) 键合界面阻抗对VCSEL的电、热学特性的影响, 光子学报, 2005, 第 5 作者
(56) 垂直腔面发射激光器的热学特性, 半导体学报, 2005, 第 5 作者
(57) 厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移的影响, 光学与光电技术, 2004, 第 5 作者
(58) 准连续17kW 808nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵, 中国激光, 2004, 第 5 作者
(59) The Fabrication and Characterization of Polarization Insensitive Semiconductor Optical Amplifier, The Fabrication and Characterization of Polarization Insensitive Semiconductor Optical Amplifier, 光学学报, 2003, 
(60) 准连续5kW叠层激光二极管列阵, 高技术通讯, 2002, 第 1 作者
(61) High Power 940 nm Al-free Active Region Laser Diodes and Bars with a Broad Waveguide, Chinese journal of lasers, 2002, 第 6 作者
(62) High Power 808nm AlGaAs/GaAs Quantum Well Laser Diodes with Broad Waveguide, 半导体学报, 2002, 第 8 作者
(63) High Power 940 nm Al-free Active Region Laser Diodes and Bars with a Broad Waveguide, Chinese Journal of Lasers. B, 2002, 第 6 作者
(64) 157W准连续AlGaAs/GaAs激光二极管线列阵, 半导体学报, 2000, 第 4 作者
(65) 带有腔面非注入区的大功率808nm GaAs/AlGaAs激光二极管列阵, 高技术通讯, 2000, 第 3 作者
(66) ECR Plasma CVD淀积光电器件介质膜的工艺模拟, 功能材料与器件学报, 2000, 第 1 作者
(67) InP衬底表面的H2/N2等离子体清洁技术, 半导体学报, 1999, 第 1 作者
(68) ECR PlasmaCVD法淀积介质膜技术在半导体光电器件中的应用, 半导体学报, 1999, 第 1 作者
(69) ECR plasma CVD法淀积980nm大功率半导体激光器端面光学膜技术, 中国激光, 1999, 第 4 作者
(70) 反射率小于10^—4的1310nm光电子器件增透膜技术的研究, 光学学报, 1999, 第 2 作者
(71) ECR Plasma CVD法淀积808nm大功率半导体激光器光学膜工艺研究, 半导体学报, 1999, 第 1 作者
(72) ECR Plasma CVD淀积介质膜折射率的神经网络模拟, 半导体学报, 1999, 第 1 作者
(73) ECR Plasma CVD淀积介质膜的工艺模拟, 光学仪器, 1999, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 光纤陀螺光学器件, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 2 ) XXXX光源技术, 负责人, 国家任务, 2012-11--2015-10
( 3 ) XXXX发光二极管, 负责人, 国家任务, 2011-05--2014-12
( 4 ) 超辐射发光二极管XXX技术, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 5 ) 超辐射发光二极管XX集成技术, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 6 ) XXX模块技术及评价方法的研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
( 7 ) xxx窄线宽光源技术, 负责人, 国家任务, 2015-07--2016-06
( 8 ) 光电/电光器件抗空间辐射*****, 负责人, 国家任务, 2016-08--2019-12
( 9 ) 高效率***发光二极管**, 负责人, 国家任务, 2016-09--2020-12
( 10 ) 用于卫星的****光源, 参与, 国家任务, 2016-09--2019-12
( 11 ) 无致冷激光模块技术, 负责人, 国家任务, 2017-05--2020-12
( 12 ) **半导体激光器系列, 负责人, 国家任务, 2017-12--2019-12
( 13 ) ****超辐射光源技术, 负责人, 国家任务, 2018-11--2020-12
( 14 ) 小型化激光光源, 负责人, 企业委托, 2019-09--2022-09
( 15 ) 用于光学传感的多量子阱半导体光源设计及稳定控制技术研究, 负责人, 企业委托, 2020-12--2022-12
( 16 ) 光纤耦合**激光二极管, 负责人, 国家任务, 2020-07--2022-12
( 17 ) 收发集成模块, 负责人, 国家任务, 2021-11--2023-12
( 18 ) XX光源关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2021-11--2026-11