MEMS器件与系统

   

140100-集成电路科学与工程

MEMS器件与系统

2000-09--2003-07   中国科学院半导体研究所   博士
1997-09--2000-07   航天部兰州物理研究所   硕士
1991-09--1995-07   郑州大学   学士

半导体所 --20030630 博士

-- 工学博士学位

   

2003-07~现在, 中国科学院半导体研究所, 任职
1995-07~1997-09,河南省民权县电信局, 工作

惯性MEMS器件与系统概述
微机电系统基础
微电子机械系统（MEMS）

已指导学生

康中波  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

钟卫威  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨健  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

李小明  硕士研究生  430110-集成电路工程  

张萌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

侯云虹  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘楠  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张萌  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

何昱蓉  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

刘佳慧  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

钟恺韬  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵英凯  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学