基本信息
谭满清  男  博导  中国科学院半导体研究所
电子邮件: mqtan@semi.ac.cn
通信地址: 半导体林科宿舍11#881
邮政编码: 100083

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080901-物理电子学
招生方向
半导体光电子器件及集成技术
光纤传感光源及工程化技术

教育背景

1993-09--1996-07   北京理工大学   工学博士
1990-09--1993-07   北京师范大学   理学硕士

工作经历

   
工作简历
2018-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员二级
2009-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员三级
2001-09~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员四级
1998-08~2001-08,中国科学院半导体研究所, 副研究员
1996-08~1998-07,中国科学院半导体研究所, 博士后
1986-07~1990-08,湖南省岳云中学, 中学物理教师
社会兼职
2018-01-01-今,中国科学院半导体研究所学术委员会, 委员
2013-09-12-今,中国核学会辐射物理分会, 理事
2012-06-26-2025-12-31,北京市光纤传感系统工程技术研究中心, 技术委员会委员
2011-09-30-今,国家****评审专家,

教授课程

光学薄膜技术及其应用
光学薄膜及其应用

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 多波段宽带光源, 二等奖, 部委级, 2022
(2) 高功率超辐射模块, 一等奖, 部委级, 2019
(3) 超辐射发光二极管, 二等奖, 部委级, 2009
(4) 670nm半导体量子阱激光器批量生产, 二等奖, 国家级, 2001
(5) 高功率激光二极管列阵, 二等奖, 部委级, 2000
(6) 670nm半导体量子阱激光器批量生产, 一等奖, 部委级, 1999
专利成果
[1] 谭满清, 游道明. 一种半导体光放大器芯片. CN: CN114530762A, 2022-05-24.
[2] 谭满清, 刘维华. 用于固定光纤的支架及其制备方法. CN: CN114200607A, 2022-03-18.
[3] 谭满清, 游道明, 王栋. 双层钝化薄膜材料及其制备方法. CN: CN113764979A, 2021-12-07.
[4] 刘海锋, 谭满清, 郭小峰, 郭文涛. 基于模块化设计的高信噪比光学电流互感器. CN: CN111239464B, 2021-06-08.
[5] 刘海锋, 谭满清, 郭文涛, 郭小峰. 混合集成的光纤传感用光学器件. CN: CN111256738B, 2021-04-02.
[6] 廖文渊, 谭满清, 韦欣, 郭文涛. 垂直腔面发射半导体激光器结构. CN: CN111435781B, 2022-03-18.
[7] 廖文渊, 谭满清, 韦欣, 郭文涛. 垂直腔面发射半导体激光器结构. CN: CN111435781B, 2022-03-18.
[8] 谭满清, 郭文涛, 郭小峰, 马骁宇, 曹营春. 带透明窗口的超辐射发光二极管结构. CN: CN109037403B, 2020-09-04.
[9] 熊迪, 谭满清, 郭文涛, 曹营春, 赵亚利. 非对称模式扩展小发散角半导体激光器. CN: CN108899761A, 2018-11-27.
[10] 熊迪, 谭满清, 郭文涛, 焦健, 郭小峰. 一种SOI平面波导布拉格光栅及制作方法. CN: CN108919414A, 2018-11-30.
[11] 郭文涛, 谭满清, 熊迪, 赵亚利, 曹营春, 万丽丽, 刘珩. 基于模斑转换结构的超辐射发光二极管. CN: CN108616034A, 2018-10-02.
[12] 郭文涛, 谭满清, 熊迪, 赵亚利, 曹营春, 万丽丽, 刘珩. 低发散角的超辐射发光二极管结构. CN: CN108447954A, 2018-08-24.
[13] 谭满清, 熊迪, 郭文涛, 曹营春, 王子杰, 韦欣, 郭小峰. 基于光纤透镜与光栅集成的窄线宽外腔激光器结构. CN: CN106159672A, 2016-11-23.
[14] 郭文涛, 谭满清. 980nm半导体激光器结构及制备方法. CN: CN105826815A, 2016-08-03.
[15] 谭满清, 郭文涛. 高掺杂宽光谱的铒镱共掺超荧光光纤光源集成装置. CN: CN105811228A, 2016-07-27.
[16] 杜峰, 谭满清, 焦健, 郭小峰, 郭文涛, 孙宁宁. 一种光纤激光器装置. CN: CN104051938A, 2014-09-17.
[17] 谭满清, 杜峰, 焦健, 郭小峰, 郭文涛, 孙宁宁. 一种小型化的铒镱共掺超荧光光纤光源. CN: CN103811985A, 2014-05-21.
[18] 谭满清, 孙宁宁, 焦健, 郭小峰, 郭文涛. 准直分光镜系统. CN: CN103513429A, 2014-01-15.
[19] 廖文渊, 谭满清. 半导体激光合束装置. CN: CN104300368A, 2015-01-21.
[20] 廖文渊, 谭满清, 郭小峰, 郭文涛. 半导体激光合束装置. CN: CN104300368B, 2018-05-22.
[21] 孙宁宁, 谭满清. 一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器. CN: CN103346477A, 2013-10-09.
[22] 谭满清, 郭小峰, 刘珩, 曹迎春, 赵亚利. 一种表面贴装LED用的陶瓷外壳. CN: CN203300690U, 2013-11-20.
[23] 郭文涛, 谭满清. 分布式反馈激光器及其制备方法. CN: CN102738701A, 2012-10-17.
[24] 焦健, 谭满清. 光纤陀螺用集成光学收发模块. CN: CN102607550A, 2012-07-25.
[25] 常金龙, 谭满清. 用于光纤陀螺的掺铒超荧光光纤光源结构. CN: CN102064456A, 2011-05-18.
[26] 谭满清, 焦健. 一种低波纹系数半导体超辐射发光二极管的制备方法. CN: CN102117868A, 2011-07-06.
[27] 谭满清, 孙孟相. 实现半导体超辐射发光二极管无制冷封装耦合的方法. CN: CN101728468A, 2010-06-09.
[28] 王小东, 渠红伟, 谭满清. 长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法. CN: CN101179177A, 2008-05-14.
[29] 吴旭明, 王小东, 谭满清. 集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法. CN: CN101093931A, 2007-12-26.
[30] 吴旭明, 王小东, 谭满清. 砷化镓/氧化铝型可调谐滤波器及制作方法. CN: CN101093266A, 2007-12-26.
[31] 吴旭明, 王小东, 谭满清. 砷化镓/空气型可调谐滤波器及制作方法. CN: CN101093265A, 2007-12-26.
[32] 吴旭明, 王小东, 谭满清. 长波长微机械可调谐滤波器的结构和制作方法. CN: CN101051162A, 2007-10-10.
[33] 何国荣, 渠红伟, 谭满清, 杨国华, 宋国锋, 陈良惠. 长波长垂直腔面发射激光器的结构和制作方法. CN: CN101022208A, 2007-08-22.
[34] 谭满清, 周代兵. 不同折射率膜层的制备方法. CN: CN1936069A, 2007-03-28.
[35] 谭满清, 赵妙. 提高硅薄膜致密性的制备方法. CN: CN1936070A, 2007-03-28.
[36] 谭满清, 茅冬生. 磷化铟表面清洁方法. CN: CN1124643C, 2003-10-15.
[37] 谭满清, 茅冬生. 砷化镓表面清洁方法. CN: CN1254946A, 2000-05-31.

出版信息

   
发表论文
[1] Ceramics International. 2024,   通讯作者  
[2] Infrared Physics & Technology. 2024,   通讯作者  
[3] Vacuum. 2024,   通讯作者  
[4] Daoming You, Yu Jiang, Yingchun Cao, Wentao Guo, Manqing Tan. Broadband antireflective coatings in the optical communication band deposited by ion-assisted reactive magnetron sputtering. INFRARED PHYSICS AND TECHNOLOGY. 2023, 第 5 作者  通讯作者  131: http://dx.doi.org/10.1016/j.infrared.2023.104664.
[5] You, Daoming, Liu, Weihua, Jiang, Yu, Cao, Yingchun, Guo, Wentao, Tan, Manqing. Effect of ion assistance on silicon nitride films deposited by reactive magnetron sputtering. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING[J]. 2023, 第 6 作者  通讯作者  157: http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107312.
[6] 游道明, 谭满清, 郭文涛, 曹营春, 王子杰, 杨秋蕊, 万丽丽, 王鑫, 刘珩. 光纤光栅外腔激光器光学薄膜的研制. 中国光学(中英文)[J]. 2023, 第 2 作者16(2): 447-457, http://www.chineseoptics.net.cn/cn/article/doi/10.37188/CO.EN.2022-0010.
[7] Ling Yang, Yizheng Huang, Zhigang Song, Manqing Tan, Yude Yu, Zhao Li. A 640×640 ISFET array for detecting cell metabolism. 半导体学报:英文版[J]. 2023, 第 4 作者44(2): 84-91, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7109095236.
[8] You, Daoming, Jiang, Yu, Zhao, Yali, Guo, Wentao, Tan, Manqing. Widely tunable refractive index silicon nitride films deposited by ion-assisted pulsed DC reactive magnetron sputtering. OPTICAL MATERIALS[J]. 2023, 第 5 作者  通讯作者  136: http://dx.doi.org/10.1016/j.optmat.2022.113354.
[9] 游道明, 谭满清, 陈文彬, 刘维华. 腔面反射对锥形激光器光束质量的影响. 中国激光[J]. 2023, 第 2 作者50(2): 29-37, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7109218522.
[10] 游道明, 谭满清, 郭小峰, 郭文涛, 曹营春, 陈文彬. 低纹波超辐射发光二极管的增透膜研制. 中国激光[J]. 2023, 第 2 作者50(13): 26-35, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7110372081.
[11] 谭满清, 游道明, 郭文涛, 刘维华. 单片集成式主振荡功率放大器研究进展. 中国光学(中英文)[J]. 2023, 第 1 作者16(1): 61-75, http://www.chineseoptics.net.cn/cn/article/doi/10.37188/CO.2022-0022.
[12] Zhen, Zixin, Wang, Quan, Qin, Yanbin, Chen, Changxi, Xu, Jiankai, Jiang, Lijuan, Xiao, Hongling, Wang, Qian, Wang, Xiaoliang, Tan, Manqing, Feng, Chun. Comparative Study on Characteristics of AlGaN/GaN Metal-Insulator-Semiconductor High-Electron-Mobility Transistors. PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE[J]. 2022, 第 10 作者219(10): http://dx.doi.org/10.1002/pssa.202200010.
[13] 刘海锋, 郭宏杰, 谭满清, 李智勇. 铌酸锂薄膜调制器的研究进展. 中国光学[J]. 2022, 第 3 作者15(1): 1-13, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106554695.
[14] 郭宏杰, 刘海锋, 王振诺, 谭满清, 李智勇, 雷明, 郭文涛. 基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计. 红外与毫米波学报[J]. 2022, 第 4 作者41(3): 626-630, http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/article/abstract/2021263?st=article_issue.
[15] Yuan, Xinxin, Zhang, Xuelian, Huang, Yizheng, Jie, Junyao, Wei, Qingquan, Tan, Manqing, Yu, Yude. Development of an Electrochemical Sensor for Chloride ion Detection Using Ion-Sensitive Field-Effect Transistor Array. INTERNATIONAL JOURNAL OF ELECTROCHEMICAL SCIENCE[J]. 2021, 第 6 作者16(1): http://dx.doi.org/10.20964/2021.01.60.
[16] Huang, Xingrui, Liu, Yang, Guan, Huan, Yu, Zhiguo, Tan, Manqing, Li, Zhiyong. Exploring a Band-Edge Bragg Grating Modulator on a Hybrid Thin-Film Lithium Niobate Platform. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2021, 第 5 作者13(6): http://dx.doi.org/10.1109/JPHOT.2021.3120786.
[17] Huang, Xingrui, Liu, Yang, Li, Zezheng, Guan, Huan, Wei, Qingquan, Tan, Manqing, Li, Zhiyong. 40 GHz high-efficiency Michelson interferometer modulator on a silicon-rich nitride and thin-film lithium niobate hybrid platform. OPTICS LETTERS[J]. 2021, 第 6 作者46(12): 2811-2814, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000661728300004.
[18] Huang, Xingrui, Liu, Yang, Guan, Huan, Yu, Zhiguo, Tan, Manqing, Li, Zhiyong. High-Efficiency, Slow-Light Modulator on Hybrid Thin-Film Lithium Niobate Platform. IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS[J]. 2021, 第 5 作者33(19): 1093-1096, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000690436400002.
[19] Zhen, Zixin, Feng, Chun, Wang, Quan, Niu, Di, Wang, Xiaoliang, Tan, Manqing. Single Event Burnout Hardening of Enhancement Mode HEMTs With Double Field Plates. IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE[J]. 2021, 第 6 作者68(9): 2358-2366, 
[20] 刘海锋, 谭满清, 张学亮, 于中权, 尚艳玲. 光纤陀螺脱骨架光纤环温度性能研究. 天津大学学报:自然科学与工程技术版[J]. 2021, 第 2 作者54(10): 1070-1075, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7104824097.
[21] Liao, Wenyuan, Li, Chuanchuan, Li, Jian, Guo, Xiaofeng, Guo, Wentao, Wei, Xin, Tan, Manqing. Polarization control and mode optimization of 850 nm multi-mode VCSELs using surface grating. APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS[J]. 2021, 第 7 作者  通讯作者  127(2): http://dx.doi.org/10.1007/s00340-020-07570-w.
[22] WenYuanLiao, JianLi, ChuanChuanLi, XiaoFengGuo, WenTaoGuo, WeiHuaLiu, YangJieZhang, XinWei, ManQingTan. Oxide-aperture-dependent output characteristics of circularly symmetric VCSEL structure. Chinese Physics B[J]. 2020, 第 9 作者  通讯作者  29(2): 24201-024201, https://cpb.iphy.ac.cn/EN/10.1088/1674-1056/ab5fbd.
[23] Jie, Junyao, Hu, Shiming, Liu, Wenwen, Wei, Qingquan, Huang, Yizheng, Yuan, Xinxin, Ren, Lufeng, Tan, Manqing, Yu, Yude. Portable and Battery-Powered PCR Device for DNA Amplification and Fluorescence Detection. SENSORS[J]. 2020, 第 8 作者20(9): https://doaj.org/article/edd84b25b83b44bcaad73af209542aa5.
[24] Hu, Shiming, Liu, Wenwen, Jie, Junyao, Huang, Yizheng, Wei, Qingquan, Tan, Manqing, Yu, Yude. Structured illumination microscopy based on fiber devices. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2020, 第 6 作者460: http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2019.125099.
[25] 郭文涛, 郭小峰, 谭满清. 974 nm双光纤光栅激光器随温度变化特性. 中国激光[J]. 2020, 第 3 作者47(7): 307-313, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102611278.
[26] Liu, Lei, Chang, Limin, Kuang, Yingxin, Li, Zezheng, Liu, Yang, Guan, Huan, Tan, Manqing, Yu, Yude, Li, Zhiyong. Low-cost hybrid integrated 4 x 25 GBaud PAM-4 CWDM ROSA with a PLC-based arrayed waveguide grating de-multiplexer. PHOTONICS RESEARCH[J]. 2019, 第 7 作者7(7): 722-727, http://dx.doi.org/10.1364/PRJ.7.000722.
[27] Hu, Shiming, Liu, Lei, Huang, Yizheng, Liu, Wenwen, Wei, Qingquan, Tan, Manqing, Yu, Yude. Compact and low-cost structured illumination microscopy using an optical fiber coupler. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2019, 第 6 作者436: 227-231, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2018.12.035.
[28] Wang, Chenyu, Ren, Lufeng, Liu, Wenwen, Wei, Qingquan, Tan, Manqing, Yu, Yude. Fluorescence quantification of intracellular materials at the single-cell level by an integrated dual-well array microfluidic device. ANALYST[J]. 2019, 第 5 作者144(8): 2811-2819, http://dx.doi.org/10.1039/c9an00153k.
[29] Liu, Lei, Guan, Huan, Liu, Yang, Chang, Limin, Kuang, Yingxin, Tan, Manqing, Yu, Yude, Li, Zhiyong. Compact and Broadband Optical Add-Drop De-Multiplexer With Cascaded Elliptical Micro-Rings on SOI. IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS[J]. 2019, 第 6 作者31(6): 451-454, http://dx.doi.org/10.1109/LPT.2019.2897819.
[30] Liu Lei, Chang Limin, Kuang Yingxin, Li Zezheng, Liu Yang, Guan Huan, Tan Manqing, Yu Yude, Li Zhiyong. Low-cost hybrid integrated 4 × 25 GBaud PAM-4 CWDM ROSA with a PLC-based arrayed waveguide grating de-multiplexer. PHOTONICS RESEARCH[J]. 2019, 第 7 作者7(7): 722-727, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7002734267.
[31] Zhang Yangjie, Guo Wentao, Xiong Di, Guo Xiaofeng, Liao Wenyuan, Liu Haifeng, Liu Weihua, Tan Manqing. Simulation of structural design with high coupling efficiency in external cavity semiconductor laser. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2019, 第 8 作者  通讯作者  40(10): http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7003038434.
[32] Yangjie Zhang, Wentao Guo, Di Xiong, Xiaofeng Guo, Wenyuan Liao, Haifeng Liu, Weihua Liu, Manqing Tan. Simulation of structural design with high coupling efficiency in external cavity semiconductor laser. 半导体学报:英文版[J]. 2019, 第 8 作者40(10): 99-103, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7003038434.
[33] Xiong Di, Guo WenTao, Guo XiaoFeng, Liu HaiFeng, Liao WenYuan, Liu WeiHua, Zhang YangJie, Cao YingChun, Tan ManQing. Simulation and fabrication of 1.55 mu m AlGaInAs/InP quantum well lasers with low beam divergence. JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES[J]. 2019, 第 9 作者  通讯作者  38(4): 412-418, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000485097100004.
[34] Chang, LiMin, Liu, Lei, Gong, YuanHao, Tan, ManQing, Yu, YuDe, Li, ZhiYong. Polarization-independent directional coupler and polarization beam splitter based on asymmetric cross-slot waveguides. APPLIED OPTICS[J]. 2018, 第 4 作者57(4): 678-683, http://dx.doi.org/10.1364/AO.57.000678.
[35] Wang, Chenyu, Liu, Wenwen, Wei, Qingquan, Ren, Lufeng, Tan, Manqing, Yu, Yude. A novel dual-well array chip for efficiently trapping single-cell in large isolated micro-well without complicated accessory equipment. BIOMICROFLUIDICS[J]. 2018, 第 5 作者12(3): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000437095100006.
[36] Yang, Ling, Zhang, Xuelian, Zhang, Qiang, Tan, Manqing, Yu, Yude. A high-speed small-area pixel 16 x 16 ISFET array design using 0.35-mu m CMOS process. MICROELECTRONICS JOURNAL[J]. 2018, 第 4 作者79: 107-112, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000443154300014.
[37] Wang, Chenyu, Liu, Wenwen, Tan, Manqing, Sun, Hongbo, Yu, Yude. An open-pattern droplet-in-oil planar array for single cell analysis based on sequential inkjet printing technology. BIOMICROFLUIDICS[J]. 2017, 第 3 作者11(4): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28751.
[38] Gong, Yuanhao, Liu, Lei, Chang, Limin, Li, Zhiyong, Tan, Manqing, Yu, Yude, Qiu, M, Gu, M, Yuan, X, Zhou, Z. Silicon-on-insulator-based polarization-independent 1x3 broadband beam splitter with adiabatic coupling. AOPC2017OPTOELECTRONICSANDMICRONANOOPTICS. 2017, 第 5 作者10460: 
[39] Guo Wentao, Du Feng, Tan Manqing, Jiao Jian, Guo Xiaofeng. Theoretical study on erbium ytterbium co-doped super-fluorescent fiber source. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2016, 第 3 作者37(1): 
[40] Xing Jiejiang, Li Zhiyong, Zhou Peiji, Gong Yuanhao, Yu Yude, Tan Manqing, Yu Jinzhong. Compact silicon-on-insulator-based 2 × 2 Mach-Zehnder interferometer electro-optic switch with low crosstalk. CHINESE OPTICS LETTERS[J]. 2015, 第 6 作者13(6): 061301-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=5458715&detailType=1.
[41] Jiejiang Xing, Zhiyong Li, Peiji Zhou, Yuanhao Gong, Yude Yu, Manqing Tan, Jinzhong Yu. Compact silicon-on-insulator-based 2x2 Mach-Zehnder interferometer electro-optics switch with low crosstalk. CHINESE OPTICS LETTERS[J]. 2015, 第 6 作者13(6): 061301, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26726.
[42] Xing, Jiejiang, Li, Zhiyong, Zhou, Peiji, Gong, Yuanhao, Yu, Yude, Tan, Manqing, Yu, Jinzhong. Compact silicon-on-insulator-based 2 x 2 Mach-Zehnder interferometer electro-optic switch with low crosstalk. CHINESE OPTICS LETTERS[J]. 2015, 第 6 作者13(6): http://dx.doi.org/10.3788/COL201513.061301.
[43] Sun Ningning, Tan Manqing, Li Ping, Jiao Jian, Guo Xiaofeng, Guo Wentao. Long-term storage life of light source modules by temperature cycling accelerated life test. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2014, 第 2 作者35(5): 054010-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=5175794&detailType=1.
[44] Guo Wentao, Tan Manqing, Jiao Jian, Guo Xiaofeng, Sun Ningning. 980 nm fiber grating external cavity semiconductor lasers with high side mode suppression ratio and high stable frequency. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2014, 第 2 作者35(8): 084007-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=5208966&detailType=1.
[45] Guo Xiaofeng, Tan Manqing, Wei Xin, Jiao Jian, Guo Wentao, Sun Ningning. Rapid evaluation method for the normal lifetime of an infrared light-emitting diode. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2013, 第 2 作者34(11): 114009, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24804.
[46] 郭文涛, 谭满清, 焦健, 郭小峰, 孙宁宁. Study on improving the compactness of SiO2 thin film by PECVD. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS[J]. 2013, 第 2 作者42(4): 577-581, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24830.
[47] 谭满清. PECVD提高SiO2薄膜致密性的研究. 人工晶体学报. 2013, 第 1 作者
[48] Jiao Jian, Tan Manqing, Zhao Miao, Chang Jinlong. A neutron radiation-hardened superluminescent diode. 半导体学报[J]. 2012, 第 2 作者33(9): 094006-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43279974.
[49] 焦健, 谭满清, 赵妙, 常金龙. A neutron radiation-hardened superluminescent diode. 半导体学报[J]. 2012, 第 2 作者33(9): 094006-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=43279974.
[50] Manqing Tan. Research on a neutron radiation-hardened Superluminescent Diode. Journal of Semiconductors. 2012, 第 1 作者
[51] 常金龙, 谭满清. Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes. 半导体学报[J]. 2011, 第 2 作者32(10): 62-66, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=39451804.
[52] Manqing Tan. Experimental Optimization of Erbium-doped Super-fluorescent Fiber Source for Fiber Optic Gyros. Journal of Semiconductors. 2011, 第 1 作者
[53] Chang Jinlong, Tan Manqing. Experimental optimization of an erbium-doped super-fluorescent fiber source for fiber optic gyroscopes. 半导体学报[J]. 2011, 第 2 作者32(10): 103002-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=39451804.
[54] 孙孟相, 谭满清, 王鲁峰. 1300nm超辐射发光二极管寿命测试. 光学学报[J]. 2008, 第 2 作者28(10): 1994-1997, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=28494732.
[55] 谭满清. 1300nm超辐射发光二级管的寿命测试. 光学学报. 2008, 第 1 作者
[56] Zhao, M, Tan, M Q, Wu, X M, Sun, M X. The effect of proton radiation on a superlumine scent diode (SLD). NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS[J]. 2007, 260(2): 623-627, http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2007.04.236.
[57] 吴旭明, 王晓东, 赵妙, 谭满清, 周代兵. 双源电子束蒸发提高光学薄膜致密性的工艺研究. 光电子.激光[J]. 2007, 第 4 作者18(1): 40-42, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=24019270.
[58] 吴旭明, 王小东, 何国荣, 王青, 曹玉莲, 谭满清. 一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析. 半导体学报[J]. 2007, 第 6 作者28(1): 117-121, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=23664029.
[59] 吴旭明, 王小东, 何国荣, 王青, 曹玉莲, 谭满清. InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟. 半导体学报[J]. 2007, 第 6 作者28(2): 280-283, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=23924831.
[60] 司国民, 谭满清. 用于WDM系统的垂直腔可调谐光电器件. 光通信技术[J]. 2007, 第 2 作者31(12): 45-47, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26072114.
[61] 王小东, 吴旭明, 王青, 曹玉莲, 何国荣, 谭满清. 数值分析渐变DBR对垂直腔面发射激光器谐振腔模的影响. 半导体学报[J]. 2006, 第 6 作者27(11): 2011-2014, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16475.
[62] 赵妙, 周代兵, 谭满清, 王晓东, 吴旭明. 双源电子束蒸发制备Si/SiO2光学薄膜的工艺. 半导体学报[J]. 2006, 第 3 作者27(9): 1586-1589, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=22775330.
[63] Wang XiaoDong, Wu XuMing, Wang Qing, Cao YuLian, He GuoRong, Tan ManQing. Optical characteristics of DBR with inhomogeneous graded interfaces. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2006, 第 6 作者55(10): 4983-4986, http://dx.doi.org/10.7498/aps.55.4983.
[64] Wang XiaoDong, Wu XuMing, Wang Qing, Cao YuLian, He GuoRong, Tan ManQing. Optical characteristics of DBR with inhomogeneous graded interfaces. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2006, 第 6 作者55(10): 4983-4986, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10354.
[65] 黄永箴, 胡永红, 于丽娟, 陈沁, 谭满清, 马骁宇. 1550nm偏振不灵敏半导体光放大器的研制. 光电子·激光[J]. 2006, 第 5 作者17(10): 1157-1160, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16449.
[66] 侯识华, 孙捷, 毛容伟, 吴旭明, 马骁宇, 谭满清, 陈良惠. 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器. 半导体光电[J]. 2006, 第 6 作者27(5): 543-546, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16493.
[67] 侯识华, 赵鼎, 孙永伟, 苏艳梅, 谭满清, 陈良惠. 台面尺寸对垂直腔面发射激光器电学特性的影响. 半导体光电[J]. 2005, 第 5 作者26(5): 378-381, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=20281878.
[68] 林涛, 江李, 王俊, 谭满清, 刘素平, 韦欣, 王国宏, 马骁宇. 大功率670nm半导体激光器的研制. 半导体学报[J]. 2005, 第 4 作者176-179, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1000267851.
[69] 侯识华, 赵鼎, 叶晓军, 钟源, 谭满清, 陈良惠. 吸收对垂直腔面发射激光器光学特性的影响. 光子学报[J]. 2005, 第 5 作者34(1): 18-21, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=12093761.
[70] Hou Shihua, Zhao Ding, Sun Yongwei, Tan Manqing, Chen Lianghui. Effect of Mesa Size on Thermal Characteristics of Vertical-cavity Surface-emitting Lasers. SEMICONDUCTOR PHOTONICS AND TECHNOLOGY[J]. 2005, 第 4 作者11(3): 170-173, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=20142319.
[71] 侯识华, 赵鼎, 叶晓军, 孙永伟, 谭满清, 陈良惠. 键合界面阻抗对VCSEL的电、热学特性的影响. 光子学报[J]. 2005, 第 5 作者34(4): 503-506, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=15509687.
[72] 侯识华, 赵鼎, 孙永伟, 徐云, 谭满清, 陈良惠. 垂直腔面发射激光器的热学特性. 半导体学报[J]. 2005, 第 5 作者26(4): 805-811, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=15518266.
[73] 侯识华, 赵鼎, 孙永伟, 杨国华, 谭满清, 陈良惠. 厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移的影响. 光学与光电技术[J]. 2004, 第 5 作者2(4): 31-33, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10155586.
[74] 蓝永生, 方高瞻, 马骁宇, 王国宏, 谭满清. 准连续17kW 808nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵. 中国激光[J]. 2004, 第 5 作者31(6): 649-653, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=10075028.
[75] Lijuan Yu Weihua Guo Chunlin Han Yong-Zhen Huang Xiaoyu Ma Manqing Tan. The Fabrication and Characterization of Polarization Insensitive Semiconductor Optical Amplifier. 光学学报[J]. 2003, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=1000384434.
[76] 谭满清, 冯小明, 潘贵生, 方高瞻, 肖建伟, 马骁宇. 准连续5kW叠层激光二极管列阵. 高技术通讯[J]. 2002, 第 1 作者12(5): 41-44, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=6307681.
[77] Fang Gaozhan, Xiao Jianwei, Ma Xiaoyu, Xu Zuntu, Zhang Jinming, Tan Manqing, Liu Zongshun, Liu Suping, Feng Xiaoming. High Power 940 nm Al-free Active Region Laser Diodes and Bars with a Broad Waveguide. CHINESE JOURNAL OF LASERS[J]. 2002, 第 6 作者11(1): 9-13, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17603.
[78] Fang Gaozhan, Xiao Jianwei, Ma Xiaoyu, Feng Xiaoming, Wang Xiaowei, Liu Yuanyuan, Liu Bin, Tan Manqing, Lan Yongsheng. High Power 808nm AlGaAs/GaAs Quantum Well Laser Diodes with Broad Waveguide. 半导体学报[J]. 2002, 第 8 作者23(8): 809-812, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18069.
[79] Fang Gaozhan, Xiao Jianwei, Ma Xiaoyu, Xu Zuntu, Zhang Jinming, Tan Manqing, Liu Zongshun, Liu Suping, Feng Xiaoming. High Power 940 nm Al-free Active Region Laser Diodes and Bars with a Broad Waveguide. CHINESE JOURNAL OF LASERS. B[J]. 2002, 第 6 作者11(1): 9-13, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=1364517&detailType=1.
[80] 马骁宇, 刘素平, 鲁琳, 谭满清, 刘宗顺, 方高瞻, 王梅, 胡长虹, 肖建伟, 李秀芳. 157W准连续AlGaAs/GaAs激光二极管线列阵. 半导体学报[J]. 2000, 第 4 作者21(1): 102-104, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=4091024.
[81] 方高瞻, 刘宗顺, 谭满清, 冯小明, 肖建伟, 马骁宇, 刘素平. 带有腔面非注入区的大功率808nm GaAs/AlGaAs激光二极管列阵. 高技术通讯[J]. 2000, 第 3 作者10(12): 9, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18461.
[82] 谭满清, 陆建祖, 李玉鉴. ECR Plasma CVD淀积光电器件介质膜的工艺模拟. 功能材料与器件学报[J]. 2000, 第 1 作者6(3): 248-251, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=4567084.
[83] 谭满清, 茅冬生. ECR PlasmaCVD法淀积介质膜技术在半导体光电器件中的应用. 半导体学报[J]. 1999, 第 1 作者20(9): 837-840, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3697501.
[84] 谭满清, 茅冬生. InP衬底表面的H2/N2等离子体清洁技术. 半导体学报[J]. 1999, 第 1 作者20(10): 941-944, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3646430.
[85] 茅冬生, 陈良惠, 李玉璋, 谭满清. ECR plasma CVD法淀积980nm大功率半导体激光器端面光学膜技术. 中国激光[J]. 1999, 第 4 作者26(9): 811-814, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3818059.
[86] 谭满清, 茅冬生. ECR Plasma CVD法淀积808nm大功率半导体激光器光学膜工艺研究. 半导体学报[J]. 1999, 第 1 作者20(7): 589-592, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3553931.
[87] 王仲明, 谭满清, 茅冬生. 反射率小于10^—4的1310nm光电子器件增透膜技术的研究. 光学学报[J]. 1999, 第 2 作者19(2): 235-238, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3418129.
[88] 谭满清, 陆建祖, 李玉鉴, 茅冬生. ECR Plasma CVD淀积介质膜折射率的神经网络模拟. 半导体学报[J]. 1999, 第 1 作者20(12): 1109-1114, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3746798.
[89] 谭满清, 陆建祖. ECR Plasma CVD淀积介质膜的工艺模拟. 光学仪器[J]. 1999, 第 1 作者21(4): 51-55, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=3812401.
[90] 谭满清, 林永昌. 过渡金属超薄膜的光学性质及其应用. 中国激光[J]. 1997, 第 1 作者24(4): 323, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2451761.
[91] 谭满清, 林永昌. 用超薄金属膜和不对称法布里-珀罗干涉滤光片设计窄带高膜. 光学学报[J]. 1996, 第 1 作者16(12): 1781, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=308475&detailType=1.
[92] 谭满清, 林永昌, 赵达尊. 含n=k超薄金属膜的周期对称膜系的性质及窄带高反膜设计. 光子学报[J]. 1996, 第 1 作者25(11): 1021, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2248493.
[93] 谭满清, 林永昌, 周建. 窄带高反膜的研究. 北京理工大学学报[J]. 1996, 第 1 作者16(4): 375, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2244265.
[94] 谭满清, 林永昌. 用超薄金属膜和不对称法布里—珀罗干涉滤光片设计窄带高反膜. 光学学报[J]. 1996, 第 1 作者16(12): 1781-1785, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=2236864.
[95] Daoming You, Weihua Liu, Yu Jiang, Yingchun Cao, Wentao Guo, Manqing Tan. Effect of ion assistance on silicon nitride films deposited by reactive magnetron sputtering. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. 第 6 作者http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107312.
[96] Daoming You, Yu Jiang, Yinchun Cao, Yali Zhao, Wentao Guo, Manqing Tan. Nb2O5 Deposited by Ion-Assisted Reactive Magnetron Sputtering for Near-Infrared Optical Coating: Power Modulation and Performance Degradation. INFRARED PHYSICS AND TECHNOLOGY. 第 6 作者  通讯作者  http://dx.doi.org/10.1016/j.infrared.2023.104978.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 宽带半导体增益激光器, 负责人, 国家任务, 2023-05--2026-04
( 2 ) 抗辐射项目, 负责人, 国家任务, 2022-10--2025-11
( 3 ) XX光源关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2021-11--2026-11
( 4 ) 收发集成模块, 负责人, 国家任务, 2021-11--2023-12
( 5 ) 用于光学传感的多量子阱半导体光源设计及稳定控制技术研究, 负责人, 境内委托项目, 2020-12--2022-12
( 6 ) 光纤耦合**激光二极管, 负责人, 国家任务, 2020-07--2022-12
( 7 ) 小型化激光光源, 负责人, 境内委托项目, 2019-09--2022-09
( 8 ) ****超辐射光源技术, 负责人, 国家任务, 2018-11--2020-12
( 9 ) **半导体激光器系列, 负责人, 国家任务, 2017-12--2019-12
( 10 ) 无致冷激光模块技术, 负责人, 国家任务, 2017-05--2020-12
( 11 ) 用于卫星的****光源, 参与, 国家任务, 2016-09--2019-12
( 12 ) 高效率***发光二极管**, 负责人, 国家任务, 2016-09--2020-12
( 13 ) 光电/电光器件抗空间辐射*****, 负责人, 国家任务, 2016-08--2019-12
( 14 ) XXX模块技术及评价方法的研究, 负责人, 国家任务, 2016-01--2018-12
( 15 ) xxx窄线宽光源技术, 负责人, 国家任务, 2015-07--2016-06
( 16 ) XXXX光源技术, 负责人, 国家任务, 2012-11--2015-10
( 17 ) XXXX发光二极管, 负责人, 国家任务, 2011-05--2014-12
( 18 ) 超辐射发光二极管XX集成技术, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 19 ) 超辐射发光二极管XXX技术, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12
( 20 ) 光纤陀螺光学器件, 负责人, 国家任务, 2011-01--2015-12

指导学生

已指导学生

王小东  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵妙  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

孙孟相  博士研究生  080901-物理电子学  

焦健  博士研究生  080901-物理电子学  

常金龙  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郭小峰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

孙宁宁  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郭文涛  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邢界江  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杜峰  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

李钊  博士研究生  080901-物理电子学  

常丽敏  博士研究生  080901-物理电子学  

杨翎  博士研究生  080901-物理电子学  

巩源浩  博士研究生  080901-物理电子学  

王琛瑜  博士研究生  080901-物理电子学  

刘海锋  博士研究生  080901-物理电子学  

刘磊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

熊迪  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

胡诗铭  博士研究生  080901-物理电子学  

张杨杰  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

节俊尧  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

廖文渊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄义征  博士研究生  080901-物理电子学  

刘维华  博士研究生  080901-物理电子学  

袁欣欣  博士研究生  080901-物理电子学  

黄星瑞  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

郭宏杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张振宁  博士研究生  085600-材料与化工  

张学琛  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李文青  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨永康  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

游道明  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈文彬  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

申奥捷  博士研究生  085600-材料与化工  

杨兴宇  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

屈柏昂  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学