从事电子束曝光、高亮度电子枪、微焦点X射线源的研究

电子束技术；精密机械

080805-电工理论与新技术

电子束技术及应用，微焦点射线源，高亮度电子枪，精密工件台
微纳加工与检测

1998-09--2012-01   南京航空航天大学   博士
1995-09--1998-07   福州大学   硕士
1991-09--1995-07   福州大学   学士

 研究生毕业  

 工学博士学位  

2018-01~, 中国科学院电工研究所, 研究员

2004-04~2017.12, 中国科学院电工研究所, 副研究员

2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后

2018-01~现在, 中国科学院电工研究所, 研究员
2005-01~2017-12,中国科学院电工研究所, 副研究员
2004-04~2004-12,中国科学院电工研究所, 助理研究员
2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后

   

（ 1 ） 一种具有静电消除功能的电子束加工装置, 发明专利, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113163564A

（ 2 ） 一种光学元件损伤的在线监测方法及系统, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111983032A

（ 3 ） 一种小型荷电控制电子枪, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111489947A

（ 4 ） 在钨材料表面制备微纳结构的方法和表面具有微纳结构的钨材料及其应用, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110055540A

（ 5 ） 一种多层膜X射线波带片的制备方法, 发明专利, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109994244A

（ 6 ） 一种多层膜X射线波带片的制备方法, 专利授权, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN109994244B

（ 7 ） 一种多层膜X射线波带片的制备方法, 发明专利, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109994244A

（ 8 ） 一种六硼化镧晶须的制备方法, 专利授权, 2020, 第 6 作者, 专利号: CN109628997B

（ 9 ） 高功率密度的电子束聚焦装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109585244A

（ 10 ） 一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置, 实用新型, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN208818160U

（ 11 ） 一种Nano CT成像质量检测用的分辨率测试卡及其制备方法, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN109060850B

（ 12 ） 一种二次电子发射系数测量和能谱分析装置, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN110161065A

（ 13 ） 一种固体绝缘材料表面介电特性综合测量装置, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110161317A

（ 14 ） 一种制备石墨烯的方法, 发明专利, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN108358189A

（ 15 ） 一种黑磷纳米材料的制备方法, 专利授权, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN108059137B

（ 16 ） 一种基于激光供能技术的X射线灯丝电源装置, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107666763B

（ 17 ） 一种镶嵌式结构的钨‑金刚石透射靶材及其制备方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107227442A

（ 18 ） 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105140088B

（ 19 ） 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105047509A

（ 20 ） 一种收集车辆闲散动能的多层振子压电发电装置, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN204442201U

（ 21 ） 一种收集车辆闲散动能的多层振子压电发电装置, 发明专利, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104467535A

（ 22 ） 一种工业CT机X射线管用透射靶及其制备方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104409304A

（ 23 ） 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104155478A

（ 24 ） 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104155477A

（ 25 ） 等离子体协同超声空化效应废水处理反应器, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104129833A

（ 26 ） 一种三维成型装置及方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104117566A

（ 27 ） 盲用电子书, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104112373A

（ 28 ） 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103645348A

（ 29 ） 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103645347A

（ 30 ） 一种电子枪真空放电检测装置, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103616621A

（ 31 ） 一种机械式点阵显示器, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103413504A

（ 32 ） 一种盲文电子书, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104112372A

（ 33 ） 一种盲用电子书, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104112381A

（ 34 ） 一种盲用电子书, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104112380A

（ 35 ） 一种用于收集车辆闲散动能的液压电磁发电装置, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102536691A

（ 36 ） 一种用于收集车辆闲散动能的液压电磁发电装置, 实用新型, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN202531367U

（ 37 ） 一种阵列式阀门, 发明专利, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102230550A

（ 38 ） 一种盲用电子书, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102222430A

（ 39 ） 自发电无线定位跟踪鞋, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101874659A

（ 40 ） 一种盲文打印装置, 发明专利, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101549592

（ 41 ） 蘸胶式盲文打印装置, 发明专利, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101518997

（ 42 ） 基于超级电容器储能的风力发电、光伏发电互补供电系统, 发明专利, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN101286655

（ 43 ） 惯性冲击电机驱动电源, 发明专利, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN101282095

（ 44 ） 一种宽频带压电振动发电装置, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN101272109

（ 45 ） 矩形真空插板阀, 发明专利, 2005, 第 3 作者, 专利号: CN2674217

（ 46 ） 矩形真空插板阀, 发明专利, 2007, 第 3 作者, 专利号: CN1309978

（ 47 ） 单定子三自由度超声电机, 发明专利, 2003, 第 2 作者, 专利号: CN1388637

   

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（1） 微纳加工中的精密工件台技术, Technology of precision stage for micro-nano fabrication, 北京工业大学出版社, 2004-12, 第 1 作者

（ 1 ） X射线微焦源研发, 技术负责, 国家级, 2012-01--2014-12；已结题
（ 2 ） 基于SEM的彩色Nano-CT系统研制, 负责, 部委级, 2015-01--2016-12；已结题
（ 3 ） 高功率密度微焦点射线源, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06；已结题
（ 4 ） 固体绝缘材料表面介电参数综合测试系统, 参与, 部委级, 2018-01--2019-12；已结题
（ 5 ） 微纳加工技术及装备研究团队, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05；已结题
（ 6 ） 电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 部委级, 2017-05--2019-05；已结题

（ 1 ） 高功率密度微焦点射线源, 负责人, 国家任务, 2017-07--2021-06
（ 2 ） 电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 中国科学院计划, 2020-04--2023-12
（ 3 ） 电子束控制和校正技术研究, 负责人, 地方任务, 2020-10--2023-09
（ 4 ） 微聚焦单色化 X 射线源的研制, 负责人, 国家任务, 2023-12--2026-11

已指导学生

杨洁  硕士研究生  080821-微纳电工技术  

杨刚  硕士研究生  080821-微纳电工技术  

陶璐璐  硕士研究生  080821-微纳电工技术  

文良栋  硕士研究生  080821-微纳电工技术  

吕洋  硕士研究生  430108-电气工程  

宋健  硕士研究生  080805-电工理论与新技术  

陈昊  硕士研究生  085207-电气工程  

王丽娟  硕士研究生  080805-电工理论与新技术  

史丽娜  硕士研究生  085207-电气工程  

孟彦亭  硕士研究生  085207-电气工程  

现指导学生

解孟涛  硕士研究生  085207-电气工程  

张雨露  硕士研究生  080805-电工理论与新技术  

王思霖  硕士研究生  080805-电工理论与新技术