集成电路先导工艺技术
CMOS器件与工艺；半导体器件与工艺

材料、化学以及电子工程相关专业学生

140100-集成电路科学与工程

集成电路先导工艺技术

2006-09--2010-06   瑞典皇家工学院（KTH）   工学博士
2005-09--2006-09   复旦大学   博士在读
2002-09--2005-07   厦门大学   工学硕士
1999-09--2002-07   华中科技大学   管理学学士
1998-09--2002-07   中国地质大学（武汉）   工学学士

研究生

工学博士

   

2017-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2010-08~2017-04,中科院微电子所, 助理研究员/副研究员

2024-03-13-2029-03-13,Journal of Materials Science: Materials in Engineering主编, 主编
2023-06-01-2024-06-01,商务部两用物项出口管制专家, 两用物项出口管制专家
2023-04-19-2026-04-19,科技部“微纳电子技术”重点研发计划总体专家组专家, 副组长
2022-12-01-2025-12-31,滨州魏桥国科高等技术研究院兼职教授, 兼职教授
2020-09-27-2024-09-27,超弦存储器研究院副理事长, 副理事长
2019-06-30-今,Wiley series on Materials for Electronics and Photonics, 编辑
2017-10-31-今,Journal of Materials Science: Materials in Electronics副主编, 副主编

集成电路制造技术
集成电路制造工艺与研究方法
先进集成电路制造品质控制：理论与实务
半导体工艺与制造技术
半导体工艺与制造技术二班
先进半导体器件物理与工艺技术
Si基CMOS和光子学的新兴技术
高等计算电磁学
半导体制造技术
集成电路制造工艺与设备

已指导学生

李昱东  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张韫韬  硕士研究生  085209-集成电路工程  

王文  硕士研究生  085209-集成电路工程  

田阳雨  硕士研究生  085209-集成电路工程  

盛捷  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张国栋  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

孙祥烈  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

马浩东  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

何国伟  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

侯西亮  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李梦华  硕士研究生  085209-集成电路工程  

于沛玥  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈佳  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

谭鑫广  硕士研究生  085209-集成电路工程  

孔梦娟  硕士研究生  085400-电子信息  

孙祥烈  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘金彪  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李帅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

周雪冰  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘靖雄  硕士研究生  085400-电子信息  

李海荣  硕士研究生  085400-电子信息  

杨腾智  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

曹纬  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵磊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张丹  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王欣哲  硕士研究生  085400-电子信息  

刘耀东  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

高海粟  硕士研究生  085400-电子信息  

丰蜜  硕士研究生  085400-电子信息  

杨博文  硕士研究生  085400-电子信息  

陈博涵  硕士研究生  085400-电子信息  

李彦如  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈旭  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

徐步青  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

熊文娟  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

张毅文  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

何燕萍  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄真  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

申博文  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邹思楠  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张文俊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘建宏  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄靖淞  硕士研究生  085400-电子信息  

刘锐  硕士研究生  085400-电子信息  

占超妮  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

尹雨生  硕士研究生  085400-电子信息  

刘思蓉  硕士研究生  140100-集成电路科学与工程  

阮晓欣  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张馨月  博士研究生  140100-集成电路科学与工程  

韩雅轩  博士研究生  085400-电子信息  

高海粟  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘祥圣  硕士研究生  140100-集成电路科学与工程  

王奥博  硕士研究生  085403-集成电路工程  

曾思源  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邱志坤  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

余冯意  硕士研究生  085403-集成电路工程  

王昊宇  硕士研究生  085403-集成电路工程  

童克友  博士研究生  140100-集成电路科学与工程  

龚帅宇  博士研究生  140100-集成电路科学与工程