近期内主要开展：
（1）MEMS振荡器、滤波器
（2）MEMS衰减器

（3）扫描探针

（4）MEMS生化传感器，等

招生专业：


微电子与固体电子学

半导体器件与物理

材料科学 


研究方向：

MEMS传感器

080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程

微纳机电系统
微机电系统器件

1994-09--1997-06   中国科学院物理研究所   博士
1990-09--1993-06   中国科学院金属研究所   硕士
1986-09--1990-06   北京理工大学   学士

-- 研究生

中国科学院物理研究所理学博士学位

工作经历

1.              1993年7月—1994年8月，电子工业部磁记录研究所，助研。

2.              1998年4月—2000年3月，日本东北大学，非常勤讲师。

3.              2000年4月—2002年7月，德国Freiburg大学微系统技术研究所（IMTEK）， Research Associate。

4.              2002年8月—2004年7月，IBM Zurich Research Laboratory和Basel大学， Research Associate。

5.              2004年—至今，中国科学院半导体研究所，研究员，中国科学院大学教授。

 

主要研究成果

长期从事MEMS器件研究，发表论文100余篇，SCI总引1000余次。合著两本丛书，应邀为《Encyclopedia of Nanotechnology》和《Handbook of MEMS》撰写文章。PCT国际专利1项，申请发明专利50项，授权38项。

1.        研制了MEMS谐振器件：高成品率制作了覆盖宽频率范围（MHz-GHz）、高Q值的不同结构微纳谐振器。研制了板级MEMS振荡器，实现了高频率稳定性和低相位噪声，比肩国际报道的最好结果。

2.        研制了高灵敏、快速MEMS生化检测系统，正在推进其实用化。

3.        研制了MEMS光衰减器阵列，正在推进器件在光通讯中的应用。

4.        研制了不同功能的高空间分辨率扫描探针，已应用于不同扫描力显微镜系统中，正在推向市场。

5.        承担了国家级和省部级项目20余项。

6.        2004年中科院“****”获得者

7.        2016年中国侨界贡献创新人才奖。

2004-07~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员
2002-08~2004-06,瑞士巴塞尔大学/IBM苏黎士实验室, 研究助理
2000-04~2002-07,德国弗莱堡大学, 研究助理
1998-04~2000-03,日本东北大学, 非常勤讲师
1993-07~1994-08,电子工业部磁记录研究所, 助理研究员

微机电系统基础
新兴射频和生化微机电系统传感器及其应用
微电子机械系统（MEMS）

已指导学生

周威  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

唐龙娟  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张逢新  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘云飞  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

解婧  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

郑海洋  硕士研究生  430110-集成电路工程  

朱银芳  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

魏伟伟  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

骆伟  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

方志强  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王晶晶  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

吕兴东  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵晖  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王帅鹏  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学