专利成果
( 1 ) 磁控溅射托盘及磁控溅射装置, 发明专利, 2025, 第 3 作者, 专利号: CN119824385A( 2 ) 基于热氧化硅片的巨磁阻效应自旋阀多层 膜结构及其制备方法和磁阻元件, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: CN 119212543 A( 3 ) 三轴隧道磁阻传感器及磁场检测方法, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN 119087313 A( 4 ) 基于二维磁通调制结构的MEMS磁阻传感器及其制备方法, 发明授权, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN114879104B( 5 ) 基于磁通聚集器的磁阻式传感器及其制造 方法, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN 118938093 A( 6 ) 检测探针和电路, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN 118697355 A( 7 ) 一种具备频率调制功能的磁电阻-超导复合磁探测器, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN118362946A( 8 ) 外延生长GMR的膜层结构及其制备方法、GMR传感器制备方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN118241154A( 9 ) 外延生长TMR的膜层结构及其制备方法、TMR传感器制备方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN118241171A( 10 ) 制造自旋霍尔振荡器件的方法及自旋霍尔振荡器件, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN118215385A( 11 ) 电流传感器和零漂补偿方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN117849432A( 12 ) 宽量程电流测量电路和宽量程电流测量方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN117849433A( 13 ) 一种磁阻运动调制的低频MEMS磁阻传感器制作方法, 发明授权, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN113562687B( 14 ) 磁阻元件-MEMS谐振器集成的混合磁传感器及其制作方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN117761591A( 15 ) 超导折叠结构磁通聚集器、磁传感器及其制备方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN117665663A( 16 ) 自旋转矩纳米振荡器及其制作方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: CN117597011A( 17 ) 一种低噪声磁电阻-超导复合磁探测器, 发明专利, 2024, 第 3 作者, 专利号: CN117597014A( 18 ) 基于TMR的MEMS加速度计及制备方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116990545A( 19 ) 神经磁极及其制备方法, 发明授权, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN113466754B( 20 ) 基于柔性磁体的通信装置及柔性磁体的制备方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116667869A( 21 ) 一种磁阻运动调制的低频MEMS磁阻传感器, 发明授权, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN113567898B( 22 ) 基于磁电子皮肤的可穿戴传感装置及其组件制备方法, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116380296A( 23 ) 神经微探针及其制备方法, 发明授权, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN113476050B( 24 ) MEMS磁通门传感器检测系统及方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114994578A( 25 ) 钴基Heusler合金结构及提升其有序化的制备方法, 发明授权, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN111549317B( 26 ) 基于二维磁通调制结构的MEMS磁阻传感器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114879104A( 27 ) 一种分层式大长径比磁性纤毛传感器、制备方法及其应用, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114812875A( 28 ) 一种两级放大的低频磁阻传感器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114415086A( 29 ) 基于折叠波导的傅里叶光谱仪, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114018407A( 30 ) 优化弯曲波导的制备方法及其应用, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN113933933A( 31 ) 一种MEMS磁阻传感器, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN215340279U( 32 ) 一种MEMS磁阻传感器, 实用新型, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN215340279U( 33 ) 一种磁阻运动调制的低频MEMS磁阻传感器制作方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113562687A( 34 ) 一种磁阻运动调制的低频MEMS磁阻传感器, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113567898A( 35 ) 神经微探针及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113476050A( 36 ) 神经磁极及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113466754A( 37 ) 一种提高低频磁场分辨率的MEMS谐振式磁阻传感器, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111007442B( 38 ) 单晶自旋电子器件、制备方法及其三维集成制备方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111490157A( 39 ) 基于光谱仪的离子刻蚀终点检测装置及应用其的刻蚀系统, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111081584A( 40 ) 声源定位识别装置, 实用新型, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN209356668U( 41 ) 全流水高吞吐率累加器及其数据处理方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110187865A( 42 ) 基于视觉的侧脸姿态解算方法及情绪感知自主服务机器人, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109886173A( 43 ) 声源定位识别装置及方法, 发明专利, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN109343002A