李国庆 男 硕士研究生导师
中国科学院自动化研究所
精密感知与智能控制中心
多模态人工智能系统全国重点实验室
电子邮件: guoqing.li@ia.ac.cn
通信地址: 北京市海淀区中关村东路95号自动化大厦207
邮政编码: 100190
研究领域
主要研究领域:半导体制程全晶圆纳米级量检测系统及其自动化;智能化图像与视频处理;类脑智能结构分析与建模研究。
长期从事纳米电镜系统集成研发工作。2007年获北京交通大学电子科学与技术(集成电路)专业工学学士学位,2012年获中国科学院大学工学博士学位,计算机应用技术专业。至今任中国科学院自动化所副研究员,中国科学院大学硕士生导师。已负责主持国家基金委项目1项;主持科学院级(省部级)仪器功能开发项目1项;作为科研骨干同时参与省市级多项科学项目研发,2019年4月受邀代表中国科学院和中科院自动化所参与连接组学国际会议并做大会演讲报告,首次面向国际,系统性地介绍了自主研发高通量微观脑图谱扫描电镜三维影像系统。2021年8月申请并成功获评昆山市双创人才;2022年1月申请并成功获评苏州市姑苏双创人才;2023已申报省级首台套(重大)技术产业系统设备。
当前研究方向:
(1)半导体制程全晶圆纳米级量检测系统及其自动化
本人曾赴美国硅谷全球顶级半导体检测设备制造Hermes-Microvision Inc.(简称HMI)工作,任图像算法高级工程师。2012年,HMI的核心半导体产线设备的成像图像分辨率达1.5纳米,半导体生产工艺缺陷检测成功率达97%;本人所在的图像算法组负责电镜系统的大规模连续成像控制及高性能实时缺陷智能化检测计算的核心算法研发。(据相关消息披露,2014年Intel通过该套HMI系统设备,突破14纳米半导体制程的关键工艺。据可靠消息报道,2017年HMI被光刻机龙头企业荷兰ASML收购成为ASML-HMI,收购金额超过30亿美元。)
在相关政府部门的大力支持下并在国内成熟电子光学系统级供应商的协作下,2022年9月起,本人作为负责人负责全晶圆光刻工艺纳米级自动化量检测设备系统的研发,目前相关核心功能已经全部研发完成,并通过光刻领域相关国产企业的小规模批量测试,获得了客户厂商的初步认可,进入小批量生产测试阶段,如下图所示。
半导体制程全晶圆纳米级量检测系统及其研发过程示意图
本系列产品的基本型号已经通过光刻领域相关国产企业的小规模批量测试,获得了客户厂商的初步认可,产品报告输出如下图所示,由于客户保密原因虚化处理,相关结果达到或优于国外同类型设备。
光刻行业企业指定需求的全晶圆测试报告
(由于企业协议要求虚化处理,相关结果达到或优于国外同类型设备)
目前该系统已经部分实现了产业化。
(2)智能化图像与视频处理
基于深度学习网络的方法颠覆了传统的图像与视频处理的模式;YOLO、Transformer等优秀深度学习框架的方法提升了各个应用领域的处理精度与效率。本课题组主要在现有骨架网络的结构基础上,针对需要的处理领域改进网络结构设计,将智能化图像与视频处理方法同需求应用领域相结合,从而提高科技生产力。主要应用领域有:自然图像的计算机视觉处理、基于深度网络的序列切片图像分割、基于深度网络的图像超分辨率算法(去噪、去模糊、像素提升)等领域;本课题组在该领域逐年有相关成果产出。
(3)类脑智能结构分析与建模研究
基于计算机深度网络的人工智能在特定问题上的计算精确性与计算速度已经达到高水平,但其仍无法同生物神经系统形成的智能相比拟。从模式动物的神经系统出发研究生物智能的仿真建模有重要的研究价值,本人所在的微观重建与智能分析课题组目前建有全国最高通量的微观脑图谱重建平台,基于微观神经连接组的智能研究具备先发优势。课题组开展基于微观神经连接环路的类脑智能重建与建模研究工作,其中基于哺乳动物视网膜神经连接环路建模研究是本人重点关注的研究方向之一。
主要研究经历:
2022年至今,中国科学院自动化研究所多模态人工智能系统全国重点实验室,副研究员,从事人工智能系统产业应用以及纳米级先进集成电路制程中智能技术的产业化应用研究。
2015年至2022年,中国科学院自动化研究所类脑智能研究中心任副研究员,主要从事国产高通量扫描电镜成像系统研发、智能化图像与视频处理以及类脑智能结构分析与建模研究。
2013年至2015年,赴美国硅谷半导体电子束检测设备制造商Hermes-Microvision Ltd.(HMI)工作,任半导体电子束缺陷检测系统(EBI)图像算法高级工程师;HMI2017年底被荷兰全球光刻机龙头企业ASML收购后成为ASML-HMI(目前仍是全球半导体缺陷检测领域内的龙头企业之一)。
2007年至2013年,中国科学院国家空间科学研究中心博士毕业(2012年),留所任助理研究员,主要工作:(1)国家空间科学中心自主研发的探空火箭遥测跟踪天线的全自动跟踪定位,确保箭头发射机数据准确无误被遥测站接收。(2)天宫一号部分回传科学图像的处理研究。
招生信息
2020年起招收硕士研究生,每年计划招收硕士生 1-2名,
招生专业:081104-模式识别与智能系统,081203-计算机应用技术,085400-电子信息
研究方向:智能化图像与视频处理;类脑智能结构分析与建模等
工作经历
2017.10-至今/now 副研究员,中国科学院自动化研究所/Associate Researcher, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences.
2015.04-2017.09 助理研究员,中国科学院自动化研究所/Assistant Researcher, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences.
2014.04-2015.03 高级图像算法工程师,Hermes Micro-vision ltd.(现ASML.HMI),美国圣何塞米尔皮塔斯(硅谷)/Senior Image Algorithm Engineer, Hermes Micro-vision ltd.(CA,USA).
2012.07-2014.03 助理研究员,中国科学院国家空间科学中心/Assistant Researcher, National Space Science Center, CAS.
工作简历
专利与奖励
专利成果
出版信息
发表论文
科研活动
科研项目:
( 1 ) 面向超薄序列切片的三维电镜自动成像技术研究, 主持, 国家级, 2018-01--2020-12
( 2 ) 高通量扫描电镜三维影像系统产业化, 主持, 省级, 2018-01--2020-12
( 3 ) 面向脑微观图谱的高通量技术体系研发及商业化应用, 参与, 省级, 2020-09--2022-12
( 4 ) 斑马鱼全脑微介观联接图谱绘制, 参与, 部委级, 2020-08--2021-12
( 5 ) 脑连接图谱绘制新技术, 参与, 部委级, 2018-01--2022-12
会议报告:
(1)Microscopic Reconstruction and Analysis Platform for Connectomics in Institute of Automation,Guoqing Li,Max-Planck / HHMI International Conference of Connectomics 2019, 2019-04-18, Berlin.
科研项目
参与会议
指导学生
现指导学生
高楷涵 硕士研究生 085400-电子信息
指导(协助指导)学生
指导培养学生
姓名 年级 状态 硕士/博士 录取专业 本科生源 毕业去向
高楷涵 2021 在读 硕士 电子信息 北京交通大学(推免) 未毕业
协助培养学生
姓名 年级 状态 硕士/博士 录取专业 本科生源 毕业去向
孙国栋 2019 在读 硕士 模式识别 华北电力大学(推免) 商汤科技
王泽锦 2018 在读 硕博 模式识别 武汉理工大学(推免) 未毕业
赵盼 2016 毕业 硕士 计算机应用技术 哈尔滨理工(联培) 腾讯(offer)
杨茂柯 2015 毕业 硕士 计算机应用技术 中南大学(推免) 深动科技