MEMS微传感器与微系统。近年来主要研究方向包括：基于MEMS技术的谐振式传感器、振动传感器、惯性传感器、无线无源传感器、微流控芯片以及微纳制造技术等。

每年招生博、硕士研究生共3名

招生专业

微电子与固体电子学
生物电子学

招生方向

1. 基于微纳米技术的传感器、执行器与系统
2. MEMS加工技术与工艺
3. 微流控芯片系统

080903-微电子学与固体电子学
080920-生物电子学

1998-09--2002-07   中国科学院电子学研究所   工学博士
1989-09--1992-07   中国科学院半导体研究所   理学硕士学位
1984-09--1989-07   北京清华大学   理学学士

2002-05--今 中国科学院电子学研究所 研究员
1998-05--2002-05 中国科学院电子学研究所 副研究员
1994-05--1998-05 中国科学院电子学研究所 助理研究员
1992-08--1994-05 中国科学院电子学研究所 研究实习员 

2003年 英国卢瑟福国家实验室高级访问学者

已指导三十多名研究生毕业，目前指导在读研究生10名，其中博士研究生7名。指导的博士生赵阳获得2017年度中科院优秀博士学位论文奖，此外还有多名研究生获得院长奖学金、国家奖学金以及顶秀奖学金等奖励。