1. GAA/CFET器件与关键技术

2. 单片3D-IC集成技术

3. 低功耗铁电新原理器件与电路

4. 低维纳米材料与器件

5. 先进半导体辐射探测器

每年招收博士、硕士研究生2-5名，以博士研究生为主

140100-集成电路科学与工程

集成电路先导工艺技术
半导体器件
物联网与传感器技术

2000-03--2003-03   中国科学院微电子研究所   博士学位
1996-09--1999-07   中国科学院微电子研究所   硕士学位
1992-09--1996-07   天津大学   学士学位

博士研究生

工学博士

长期从事集成电路的先进器件与关键工艺技术研究，国家科技创新领军人才（WR计划），科学院高层次海外引进人才（BR计划）。在22-14nm技术代，提出TiN金属栅应变调控新方法和介质隔离的FinFET新结构；在5-3nm及以下技术代，提出了与FinFET兼容的后栅GAA晶体管集成方法，以及多模态铁电存算一体器件，实现晶体管综合特性提升，目前从事3nm以下GAA/CFET器件与关键工艺、单片3D-IC集成技术、铁电新原理器件与电路等方向的研究。已发表SCI学术论文100余篇，引用2400余次，获发明专利授权256项，成功转移到中芯国际、武汉新芯等重点企业，获得国家、省部级科研奖励5项。

2017-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 副主任/研究员
2010-08~2017-04,中国科学院微电子研究所, 研究员
2003-07~2010-07,韩国三星电子（集团）综合技术院, 高级研究员

半导体器件物理
半导体工艺与制造技术
半导体制造技术

已指导学生

徐唯佳  硕士研究生  085209-集成电路工程  

明希  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

杨君  硕士研究生  085209-集成电路工程  

侯朝昭  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

马小龙  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

姚佳欣  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

秦长亮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陶桂龙  硕士研究生  085209-集成电路工程  

蔡豫威  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张璐  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

顾杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

徐忍忍  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

罗彦娜  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

曹磊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张学祥  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵朋  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

魏延钊  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

田国良  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张兆浩  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李庆坤  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

钟琨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

包运娇  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

颜刚平  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

朱晓晖  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

孙朋  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学