基本信息
赵立新  男  硕导  中国科学院光电技术研究所
电子邮件: zhaolixin@ioe.ac.cn
通信地址: 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码: 610209

研究领域

微电子专用设备研究


招生信息

   
招生专业
080401-精密仪器及机械
招生方向
机械设计
自动化控制

教育背景

2003-03--2006-09   电子科技大学   硕士
1994-09--1998-06   武汉测绘科技大学   本科

工作经历

   
工作简历
2008-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2003-01~2007-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
1998-07~2002-12,中国科学院光电技术研究所, 实习研究员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2008
(2) 四川省科技进步二等奖, 二等奖, 省级, 2005
(3) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2001
专利成果
( 1 ) 一种红外成像光学读出系统的照明装置, 发明, 2010, 第 2 作者, 专利号: 201010608942.6
( 2 ) 一种光刻机掩模刀口移动装置, 发明, 2010, 第 2 作者, 专利号: 201010200465.3
( 3 ) 一种投影光刻机中的光束稳定装置, 发明, 2010, 第 5 作者, 专利号: 201010256374.1
( 4 ) 一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法, 发明, 2010, 第 3 作者, 专利号: 201010276966.X
( 5 ) 一种光刻机真空曝光装置, 发明, 2010, 第 3 作者, 专利号: 201010605511.8
( 6 ) 一种光刻机真空曝光装置, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201010605511.8
( 7 ) 一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: ZL201110216470.8
( 8 ) 一种二维扫描精密激光曝光系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200610012094.X
( 9 ) 一种具有面积微分的球面光刻系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810056381.X
( 10 ) 一种阵列微梁单元偏角测量系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810102776.9
( 11 ) 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910237659.8
( 12 ) 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410543114.0
( 13 ) 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201510002637.9
( 14 )  基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201410085381.8
( 15 )  一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201410076488.6
( 16 ) 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构, 发明, 2009, 第 3 作者, 专利号: 200910237660.0
( 17 ) 基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510601326.4
( 18 ) 一种单焦点光子筛, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510757846.4
( 19 ) 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510862320.2
( 20 ) 一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510758399.4
( 21 ) 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510770348.3
( 22 ) 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510002637.9
( 23 ) 一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510100566.6

出版信息

   
发表论文
(1) UV spectrum-integral Talbot lithography for amplitude periodic micro-grating fabrication, SPIE, 2016, 通讯作者
(2) High precision locating control system based on VCM for Talbot lithography, SPIE, 2016, 通讯作者
(3) Focal length measurement of a microlens-array by grating shearing interferometry, APPLIED OPTICS, 2014, 第 3 作者
(4) Wafer focusing measurement of optical lithography system based on Hartmann–Shack wavefront testing, Optics and Lasers in Engineering, 2014, 第 3 作者
(5) Design of a projection objective with high numeric aperture and large view field, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者
(6) Model and calibrating of a 5-DOF objective, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者
(7) Study of the influence of the shape of projection lens focal plane on the focus control of advanced lithography, Optik, 2014, 第 3 作者
(8) 基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计, 机械设计与制造工程, 2014, 第 4 作者
(9) A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment, Optkl, 2013, 第 3 作者
(10) Iterative Learning Control for Synchronization of Reticle Stage and Wafer Stage in Step-and-Scan Lithgraphic Equipment, Proc.SPIE, 2013, 第 3 作者
(11) Synchronous Control Strategy of Wafer and Reticle Stage of Step and Scan Lithography, Proc.SPIE, 2012, 第 3 作者
(12) Tilt-modulated spatial phase imaging method for wafer-mask leveling in proximity lighography, Optics letters, 2010, 第 3 作者
(13) 双工件台光刻机中的调平调焦技术, 微纳电子技术, 2010, 第 2 作者
(14) Phase photon sieves, Journal of Computerized and Theoretical of Nanoscience, 2010, 第 3 作者
(15) Design and application of phase photon sieve, Optik, 2010, 第 3 作者
(16) 基于矢量衍射理论的振幅型光子筛的设计, 光学学报, 2010, 第 3 作者
(17) Focusing and Leveling in Dual Stage Lithographic System, Proc.SPIE, 2010, 第 2 作者
(18) 微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析, 四川大学学报, 2009, 第 3 作者
(19) 位相型衍射光学元件设计的混合算法, 光电工程, 2009, 第 3 作者
(20) Fabrication of nanoscale line width using the improved optical maskless lithographic system, Journal of Computerized and Theoretical of Nanoscience, 2009, 第 3 作者
(21) 数字灰度投影光刻技术, 微纳电子技术, 2009, 第 1 作者
(22) 球面投影光刻物镜的设计, 光电工程, 2009, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 高精度投影光刻物镜结构设计与分析, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12
( 2 ) 双工件台原理实验与验证, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12

指导学生

已指导学生

李兰兰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

何渝  博士研究生  080300-光学工程  

邓茜  硕士研究生  085202-光学工程  

程依光  博士研究生  080300-光学工程  

陈楚怡  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

姚靖威  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

张绍宇  硕士研究生  085203-仪器仪表工程  

刘锡  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

刘江辉  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

罗文韬  硕士研究生  080401-精密仪器及机械  

位浩杰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器