基本信息
赵立新 男 硕导 中国科学院光电技术研究所
电子邮件: zhaolixin@ioe.ac.cn
通信地址: 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码: 610209
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研究领域
微电子专用设备研究
招生信息
招生专业
080401-精密仪器及机械
招生方向
机械设计自动化控制
教育背景
2003-03--2006-09 电子科技大学 硕士1994-09--1998-06 武汉测绘科技大学 本科
工作经历
工作简历
2008-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员2003-01~2007-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员1998-07~2002-12,中国科学院光电技术研究所, 实习研究员
专利与奖励
奖励信息
(1) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2008(2) 四川省科技进步二等奖, 二等奖, 省级, 2005(3) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2001
专利成果
( 1 ) 一种红外成像光学读出系统的照明装置, 发明, 2010, 第 2 作者, 专利号: 201010608942.6( 2 ) 一种光刻机掩模刀口移动装置, 发明, 2010, 第 2 作者, 专利号: 201010200465.3( 3 ) 一种投影光刻机中的光束稳定装置, 发明, 2010, 第 5 作者, 专利号: 201010256374.1( 4 ) 一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法, 发明, 2010, 第 3 作者, 专利号: 201010276966.X( 5 ) 一种光刻机真空曝光装置, 发明, 2010, 第 3 作者, 专利号: 201010605511.8( 6 ) 一种光刻机真空曝光装置, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL201010605511.8( 7 ) 一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: ZL201110216470.8( 8 ) 一种二维扫描精密激光曝光系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200610012094.X( 9 ) 一种具有面积微分的球面光刻系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810056381.X( 10 ) 一种阵列微梁单元偏角测量系统, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL200810102776.9( 11 ) 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910237659.8( 12 ) 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410543114.0( 13 ) 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201510002637.9( 14 )  基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 201410085381.8( 15 )  一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201410076488.6( 16 ) 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构, 发明, 2009, 第 3 作者, 专利号: 200910237660.0( 17 ) 基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510601326.4( 18 ) 一种单焦点光子筛, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510757846.4( 19 ) 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510862320.2( 20 ) 一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510758399.4( 21 ) 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: 201510770348.3( 22 ) 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: 201510002637.9( 23 ) 一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510100566.6
出版信息
发表论文
(1) UV spectrum-integral Talbot lithography for amplitude periodic micro-grating fabrication, SPIE, 2016, 通讯作者(2) High precision locating control system based on VCM for Talbot lithography, SPIE, 2016, 通讯作者(3) Focal length measurement of a microlens-array by grating shearing interferometry, APPLIED OPTICS, 2014, 第 3 作者(4) Wafer focusing measurement of optical lithography system based on Hartmann–Shack wavefront testing, Optics and Lasers in Engineering, 2014, 第 3 作者(5) Design of a projection objective with high numeric aperture and large view field, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者(6) Model and calibrating of a 5-DOF objective, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者(7) Study of the influence of the shape of projection lens focal plane on the focus control of advanced lithography, Optik, 2014, 第 3 作者(8) 基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计, 机械设计与制造工程, 2014, 第 4 作者(9) A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment, Optkl, 2013, 第 3 作者(10) Iterative Learning Control for Synchronization of Reticle Stage and Wafer Stage in Step-and-Scan Lithgraphic Equipment, Proc.SPIE, 2013, 第 3 作者(11) Synchronous Control Strategy of Wafer and Reticle Stage of Step and Scan Lithography, Proc.SPIE, 2012, 第 3 作者(12) Tilt-modulated spatial phase imaging method for wafer-mask leveling in proximity lighography, Optics letters, 2010, 第 3 作者(13) 双工件台光刻机中的调平调焦技术, 微纳电子技术, 2010, 第 2 作者(14) Phase photon sieves, Journal of Computerized and Theoretical of Nanoscience, 2010, 第 3 作者(15) Design and application of phase photon sieve, Optik, 2010, 第 3 作者(16) 基于矢量衍射理论的振幅型光子筛的设计, 光学学报, 2010, 第 3 作者(17) Focusing and Leveling in Dual Stage Lithographic System, Proc.SPIE, 2010, 第 2 作者(18) 微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析, 四川大学学报, 2009, 第 3 作者(19) 位相型衍射光学元件设计的混合算法, 光电工程, 2009, 第 3 作者(20) Fabrication of nanoscale line width using the improved optical maskless lithographic system, Journal of Computerized and Theoretical of Nanoscience, 2009, 第 3 作者(21) 数字灰度投影光刻技术, 微纳电子技术, 2009, 第 1 作者(22) 球面投影光刻物镜的设计, 光电工程, 2009, 第 1 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 高精度投影光刻物镜结构设计与分析, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12( 2 ) 双工件台原理实验与验证, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12
指导学生
已指导学生
李兰兰 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
何渝 博士研究生 080300-光学工程
邓茜 硕士研究生 085202-光学工程
程依光 博士研究生 080300-光学工程
陈楚怡 硕士研究生 085208-电子与通信工程
姚靖威 硕士研究生 080300-光学工程
现指导学生
张绍宇 硕士研究生 085203-仪器仪表工程
刘锡 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
刘江辉 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
罗文韬 硕士研究生 080401-精密仪器及机械
位浩杰 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器