极紫外/软x射线多层膜，极紫外光学

   

080300-光学工程

极紫外/软X射线多层膜
极紫外光学

2012-09--2016-06   中国科学院大学大珩学院   博士/研究生
2007-07--2009-07   哈尔滨工业大学   硕士/研究生
2003-08--2007-07   哈尔滨工业大学   学士/本科

   

2017-09~现在, 长春光机所, 副研究员
2011-09~2017-09,长春光机所, 助理研究员
2009-07~2011-09,长春光机所, 研究实习员

   

[1] 邓文渊, 喻波, 姚舜. 一种EUV掩膜板对准标记及其优化方法和制备方法. CN: CN113571408A, 2021-10-29.
[2] 邓文渊, 喻波, 姚舜. 一种EUV多层膜光学元件的综合测试装置及其测试方法. CN: CN113504173A, 2021-10-15.
[3] 姚舜, 喻波, 邓文渊. 一种大口径基底镀膜工装. CN: CN113322445A, 2021-08-31.
[4] 喻波, 姚舜, 邓文渊. 一种利用低温去除极紫外光刻收集镜表面Sn污染的方法. CN: CN113219795A, 2021-08-06.
[5] 姚舜, 喻波, 邓文渊. 一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法. CN: CN113219794A, 2021-08-06.
[6] 喻波, 姚舜, 邓文渊. 一种极紫外多层膜及其制备方法. CN: CN113204179A, 2021-08-03.
[7] 喻波, 郭涛, 金春水. 磁控溅射方法、装置、设备及可读存储介质. CN: CN112522671A, 2021-03-19.
[8] 郭涛, 喻波, 金春水. 一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法. CN: CN110850520A, 2020-02-28.
[9] 姚舜, 喻波, 靳京城. 测量光学薄膜厚度或均匀性的方法. CN: CN106595501A, 2017-04-26.
[10] 姚舜, 喻波, 龚学鹏, 靳京城, 宋源. 用于曲面镜反射率测量的夹持装置. CN: CN106596403A, 2017-04-26.
[11] 谢耀, 喻波, 王丽萍, 周烽, 金春水. 一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置及方法. CN: CN106338471A, 2017-01-18.
[12] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种极紫外多层膜及其制备方法. CN: CN106338882A, 2017-01-18.
[13] 邓文渊, 金春水, 喻波, 姚舜, 靳京城. 一种极紫外光学元件表面污染层厚度控制方法及装置. CN: CN106249550A, 2016-12-21.
[14] 邓文渊, 金春水, 姚舜, 喻波, 靳京城. 一种极紫外光学元件表面污染清洗装置及方法. CN: CN106238427A, 2016-12-21.
[15] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法. CN: CN105631193A, 2016-06-01.
[16] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于OD测量的金属膜厚度快速测量方法. CN: CN105627936A, 2016-06-01.
[17] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的磁控溅射调速曲线反演方法. CN: CN105608495A, 2016-05-25.
[18] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的磁控溅射速率空间分布反演方法. CN: CN105608494A, 2016-05-25.
[19] 姚舜, 郭本银, 喻波, 金春水. 用于较大口径光学基底的超声波清洗花篮. CN: CN105598084A, 2016-05-25.
[20] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种极紫外光学基底的清洁处理方法. CN: CN105583186A, 2016-05-18.
[21] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法. CN: CN105572068A, 2016-05-11.
[22] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种具有光谱纯化功能的极紫外多层膜. CN: CN105572769A, 2016-05-11.
[23] 靳京城, 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外凹面反射镜表面粗糙度评估方法. CN: CN105548617A, 2016-05-04.
[24] 喻波, 姚舜, 金春水. 高热稳定性极紫外多层膜. CN: CN105467472A, 2016-04-06.
[25] 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外波段宽带Mo/Si多层膜的制备方法. CN: CN105445819A, 2016-03-30.
[26] 靳京城, 喻波, 姚舜, 金春水. 一种极紫外凹面反射镜镀膜均匀性评估方法. CN: CN105444714A, 2016-03-30.
[27] 喻波, 姚舜, 金春水. 具有抗溅射损伤和抗氧化性的高热稳定性极紫外多层膜. CN: CN105445823A, 2016-03-30.
[28] 姚舜, 喻波, 金春水. 一种具有光谱纯化功能的角宽带极紫外多层膜. CN: CN105445822A, 2016-03-30.
[29] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置. CN: CN105445213A, 2016-03-30.
[30] 喻波, 姚舜, 金春水. 基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法. CN: CN105446087A, 2016-03-30.
[31] 姚舜, 喻波, 金春水. 具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法. CN: CN105022235A, 2015-11-04.
[32] 喻波, 王珣, 姚舜, 靳京城. 具有热稳定性及抗辐照损伤的极紫外多层膜. CN: CN104765078A, 2015-07-08.
[33] 喻波, 王珣, 姚舜, 靳京城. 具有极紫外光谱纯度及热稳定性的多层膜. CN: CN104749662A, 2015-07-01.
[34] 喻波, 王珣, 姚舜, 靳京城. 具有极紫外光谱纯度和抗辐照损伤的多层膜. CN: CN104749663A, 2015-07-01.

   

（1） Design method for an off-axis reflective anamorphic optical system with aberration balance and constraint control, APPLIED OPTICS, 2021, 第 5 作者
（2） Surface Plasmon Field-Enhanced Raman Scattering Based on Evanescent Field Excitation of Waveguide-Coupled Surface Plasmon Resonance Configuration, JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C, 2020, 第 8 作者
（3） Long-Range Surface Plasmon Resonance Configuration for Enhancing SERS with an Adjustable Refractive Index Sample Buffer to Maintain the Symmetry Condition, ACS OMEGA, 2020, 第 8 作者
（4） Design method for off-axis aspheric reflective optical system with extremely low aberration and large field of view, APPLIED OPTICS, 2020, 第 4 作者
（5） Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究, Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition, 光学学报, 2020, 第 3 作者
（6） Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究, Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers, 光学学报, 2020, 第 3 作者
（7） Mo/Si multilayers sputtered onto inclined substrates: experiments and simulations, OPTICS EXPRESS, 2020, 通讯作者
（8） Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating, OPTICAL ENGINEERING, 2019, 第 3 作者
（9） Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance, APPLIED OPTICS, 2017, 通讯作者
（10） 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备, 中国激光, 2016, 第 1 作者
（11） 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量, 中国激光, 2015, 第 3 作者
（12） Control of lateral thickness gradients of Mo-Si multilayer on curved substrates using genetic algorithm, OPTICS LETTERS, 2015, 通讯作者
（13） 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型, 光学学报, 2014, 第 4 作者
（14） 极紫外光学器件辐照污染检测技术, Techniques of radiation contamination monitoring for extreme ultraviolet devices, 中国光学, 2014, 第 4 作者
（15） 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用, 光学学报, 2014, 第 5 作者
（16） 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备, Design and Fabrication of the Multilayer Film of Enhancing Spectral-Purity in Extreme Ultraviolet, 光学学报, 2012, 第 4 作者
（17） 超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法, Testing Method for Optical Supersmooth Substrate Surface by Atomic Force Microscopy, 中国激光, 2011, 第 4 作者
（18） 基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量, 中国激光, 2011, 第 1 作者
（19） 基于掠入射X射线反射谱的Mo／Si多层膜扩散系数测量, Diffusion Coefficient Measurement by Grazing Incidence X-ray Reflection in a Mo/Si Multilayer, 中国激光, 2011, 第 1 作者
（20） Mo／Si多层膜小角X射线衍射结构表征, Structural characterization of Mo/Si multilayer by grazing incidence X-ray diffraction, 中国光学与应用光学, 2010, 第 1 作者

   

（ 1 ） 中国科学院青年创新促进会-喻波, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12
（ 2 ） 极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-12
（ 3 ） 大口径大陡度曲面基底极紫外/软X射线多层膜膜厚横向梯度控制, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 4 ） 极紫外多层膜技术研究, 参与, 国家任务, 2009-01--2018-11