080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

集成电路先导工艺技术
MEMS传感器技术

1989-09--1992-07   中国科技大学研究生院（北京）   硕士
1985-09--1989-07   浙江大学   学士

   

2009-05~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
1997-07~1998-07,香港科技大学, 访问学者
1992-08~1997-07,中国科学院微电子中心, 助理研究员

   

（1） 北京市科技进步奖, 二等奖, 省级, 2005

（ 1 ）  红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267982.8
（ 2 ） 非制冷红外探测器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010262233.0
（ 3 ） 非平面结构的非挥发性存储器单元及制作方法, 发明, 2003, 第 1 作者, 专利号: 01139666.0
（ 4 ） 嵌入式快闪存储器中隧穿氧化层的制备方法, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: 02120379.2
（ 5 ） 红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267967.8
（ 6 ） 热电堆红外探测传感器及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010267981.8
（ 7 ） 微透镜阵列及其制作方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110131361.6
（ 8 ） 一种双面微透镜阵列及其制造方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 201110126266.7

   

（1） 基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台, 红外与激光工程, 2014, 通讯作者
（2） Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology, AIP Advances, 2014, 通讯作者
（3） Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates, SCIENCE CHINA Information Sciences, 2014, 通讯作者
（4） Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers, CHINESE JOUＲNAL OF SENSOＲS AND ACTUATOＲS, 2014, 通讯作者
（5） SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计, 红外与毫米波学报, 2014, 第 2 作者
（6） 一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 , 传感技术学报, 2014, 通讯作者
（7） Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, Journal of Infrared And Millimeter Waves, 2013, 第 2 作者
（8） Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays, ？J. Micromech. Microeng, 2013, 第 2 作者
（9） Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 第 3 作者
（10） MEMS无源无线压力传感器研究, 仪表技术与传感器, 2013, 第 2 作者
（11） Design and Fabrication of Novel Microlens-micromirrors Array for Infrared Focal Plane Array, MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2012, 第 2 作者
（12） Fabrication of a 100percent fill factor silicon microlens array, 半导体学报, 2012, 第 2 作者
（13） 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器, 红外技术, 2012, 第 2 作者
（14） Kinetics investigation of RIE lag phenomenon by GaAs ICP etching, China Semiconductor Technology International Conference 2012, 2012, 第 4 作者
（15） 基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器, 仪表技术与传感器, 2012, 第 3 作者
（16） A design of thermopile infrared detector based on black silicon as absorption, 传感技术学报, 2012, 第 3 作者
（17） CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器的设计, 红外技术, 2012, 第 3 作者
（18）  “CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究“, 半导体学报, 2004, 第 2 作者
（19） 闪速存储器的单管多位技术, 微电子学, 2004, 第 2 作者
（20） SCDI Flash Memory Device II：Experiments andCharacteristics, 半导体学报, 2004, 第 1 作者
（21） SCDI Flash Memory Device I：Simulation and Analysis, 半导体学报, 2004, 第 1 作者
（22） Flash 器件中氧化硅/氮化硅/氧化硅的特性, 半导体学报, 2003, 第 1 作者
（23） Novel nonplanar Flash Memory Device, 半导体学报, 2002, 第 1 作者

   

（ 1 ） 复合功能二维像素阵列探测器, 参与, 国家级, 2016-06--2020-12

已指导学生

傅凌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵利俊  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

吕玉菲  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘谨  硕士研究生  430110-集成电路工程  

张文博  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张海苗  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张乐  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张宇  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

孙占鹏  硕士研究生  085211-计算机技术  

王岩  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

刘洋  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

卢赢  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

侯影  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

霍慧清  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

焦磊涛  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

卢圣文  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

申洪霞  硕士研究生  085208-电子与通信工程