基本信息
蔡清元 男 上海技术物理研究所
电子邮件:qycai@mail.sitp.ac.cn
通信地址:上海市玉田路500号
邮政编码:

研究领域

光学薄膜;偏振及光谱测量技术

招生信息

   
招生专业
070207-光学
招生方向
光学薄膜;偏振及光谱测量技术

教育背景

2006-09--2011-06 复旦大学 博士学位
2002-09--2006-07 复旦大学 理科学士学位
学历
研究生
学位
博士

工作经历

   
工作简历
2013-09--今 中国科学院上海技术物理研究所 副研究员
2011-07--2013-08 中国科学院上海技术物理研究所 助理研究员

专利与奖励

   
专利成果
(1) 一种基于全内反射偏振位相差测量来监控薄膜生长的方法,发明,2013,第1作者,专利号:CN201310590551.3
(2) 一种快速反演薄膜生长厚度的光学监控追迹方法,发明,2012,第1作者,专利号:CN201210501871.2
(3) 二氧化碲基底上的一种中短波红外增透膜,发明,2014,第3作者,专利号:CN201410258890.6
(4) 超窄带滤光片的透射率光谱测量装置及方法,发明,2014,第4作者,专利号:CN201410403279.8
(5) 一种用于光谱设备的光束精确校准辅助装置,发明,2012,第3作者,专利号:CN201210506306.5
(6) 一种温度可变椭圆偏振仪样品室装置及其变温方法,发明,2011,第2作者,专利号:CN201110030726.6

出版信息

   
发表论文
(1) An optical monitoring method for depositing dielectric layers of arbitrary thickness using reciprocal of transmittance,Optics Express,2015,第1作者
(2) 不同沉积温度下单纯蒸镀二氧化硅薄膜的光学特性研究,光学学报,2014,通讯作者
(3) 基于全内反射的偏振相位差快速测量,光学学报,2013,第1作者
(4) Design of non-polarizing cut-off filters based on dielectric-metal-dielectric stacks,Optics Express,2013,第1作者
(5) Application of image spectrometer to in situ infrared broadband optical monitoring for thin film deposition,Optics Express,2011,第1作者
(6) Evolution of optical constants of silicon dioxide on silicon from ultrathin films to thick films,J. Phys. D: Appl. Phys,2010,第1作者

科研活动

   
科研项目
(1) 基于全内反射方式的实时椭圆偏振测量技术研究,主持,省级,2013-10--2016-09
参与会议
(1) 基于全内反射的偏振位相差快速测量研究,2013年中国光学学会学术大会,2013-08,蔡清元