080903-微电子学与固体电子学

超导器件工艺
超导大规模集成工艺
超导薄膜制备研究

2005-09--2011-07   上海大学   博士
1999-09--2003-07   上海大学   学士

   

2022-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 正高级工程师
2018-01~2021-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 高级工程师
2013-05~2017-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2012-10~2013-04,日本产业技术综合研究所(AIST), 访问学者
2011-07~2012-09,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2008-08~2008-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者
2007-08~2007-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者

   

（ 1 ） 超导高频降频模块和方法、超导高频测试系统和方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: 202110367341.2

（ 2 ） 提高超导集成电路工作范围的方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: 202110426087.9

（ 3 ） 约瑟夫森结的制备方法, 专利授权, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110148664B

（ 4 ） 约瑟夫森结及其超导器件与制备方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202011518329.9

（ 5 ） 一种磁通驱动约瑟夫森参量放大器及其制备方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111953308A

（ 6 ） 超导连接通道及其制备方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111933787A

（ 7 ） 一种平面超导纳米桥结的制备方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111682096A

（ 8 ） 一种纳米超导量子干涉器件及其制备方法, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111463342A

（ 9 ） 全张量磁场梯度测量组件及制备方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN107329098B

（ 10 ） 一种超导数字电路设计方法, 发明专利, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN110032792A

（ 11 ） 三维磁场测量组件及制备方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN107229021B

（ 12 ） 金属侧壁的制备方法及器件结构, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910506664.8

（ 13 ） 一种超导电路结构及其制备方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN105633268B

（ 14 ） 氮化铌薄膜的制备方法、SQUID器件及其制备方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN105449094B

（ 15 ） 一种用于并行数据存储的超导高速缓冲存储器, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109508303A

（ 16 ） 氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN106816525B

（ 17 ） 基于ERSFQ电路的低温超导读出电路及读出系统, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN106767944B

（ 18 ） 集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN106953000B

（ 19 ） 台阶区域覆盖有超导覆盖层的超导电路结构及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN105702849B

（ 20 ） 一种双通道超导连接及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105428517B

（ 21 ） 一种超导量子干涉器件的封装结构, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN105489750B

（ 22 ） 约瑟夫森结电路模型和超导集成电路结构及建立方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN107704649A

（ 23 ） 无磁屏蔽环境下抑制磁场干扰的SQUID器件的结构, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN104377299B

（ 24 ） 一种经改进的高温SQUID的封装结构及方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103871976A

   

[1] Yang Gao, Xi Gao, Jie Ren, Liliang Ying, Minghui Niu, Hui Zhang, Weifeng Shi, Yujian Ding, Zhen Wang. New figure of merit to compare josephson balanced comparators. PHYSICA C: SUPERCONDUCTIVITY AND ITS APPLICATIONS. 2023, 610: http://dx.doi.org/10.1016/j.physc.2023.1354281.
[2] Li, Songrui, Chen, Liyun, Ying, Liliang, Ren, Jie, Wang, Zhen. Demonstration and Comparison of On-Chip High-Frequency Test Methods for RSFQ Circuits. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2023, 33(5): http://dx.doi.org/10.1109/TASC.2023.3234880.
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[8] Liliang Ying, Xue Zhang, Minghui Niu, Jie Ren, Wei Peng, Masaaki Maezawa, Zhen Wang. Development of Multi-Layer Fabrication Process for SFQ Large Scale Integrated Digital Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2021, 31(5): [9] Xu, Wanning, Ying, Liliang, Lin, Qian, Ren, Jie, Wang, Zhen. Design and implementation of bit-parallel RSFQ shift register memories. SUPERCONDUCTOR SCIENCE & TECHNOLOGY[J]. 2021, 34(8): [10] Liyun Chen, Minghui Niu, Guanqun Li, Xiaoping Gao, Wanning Xu, Liliang Ying, Jie Ren, Zhen Wang. Research On Power Dissipation of ERSFQ Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2021, 31(5): [11] Xu, Wanning, Wu, Yu, Jin, Hua, Ying, Liliang, Ren, Jie, Chen, Liyun, Shao, Yingyi, Li, Xiuting, Peng, Wei, Wang, Zhen. Investigation for Low-Rate Fenceless Al Etching Applied in Fabrication of Superconducting Circuits. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000575635800002.
[12] Liang, Tiantian, Zhang, Guofeng, Wu, Wentao, Wang, Yongliang, Zhang, Lu, Jin, Hua, Zhang, Xue, Ying, Liliang, Gao, Bo. Fabrication and Characterization of Molybdenum Thin-Film Resistor for Superconducting Quantum Devices. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000572134200001.
[13] Wei Xiong, Liliang Ying, Yu Wu, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang. Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions for Large Scale Integrated Digital Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2017, 27(4): 

   

（ 1 ） 大规模超导集成电路工艺研发, 负责人, 中国科学院计划, 2018-02--2023-12
（ 2 ） 中科院关键技术人才, 负责人, 中国科学院计划, 2018-01--2020-12
（ 3 ） 大规模超导集成电路高保真器件模型研究, 负责人, 地方任务, 2021-07--2023-06
（ 4 ） 高带宽超导模数转换器芯片, 负责人, 国家任务, 2023-12--2027-11

（1）超导大规模集成电路工艺研发   第十六届全国超导学术研讨会   应利良   2021-10-20
（2）Development of Multi-Layer Fabrication Process for SFQ Large Scale Integrated Digital Circuits   2020应用超导会议(ASC)   Liliang Ying, Xue Zhang, Minghui Niu, Jie Ren, Wei Peng, Masaaki Maezawa, and Zhen Wang   2020-10-29
（3）Development of 4-layer-Nb process for SFQ circuits   2018国际超导传感器和探测器研讨会(IWSSD)   Liliang Ying, Yu Wu, Wanning Xu, Guanqun Li, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang,   2018-07-25
（4）Measurement of Specific Capacitance for Nb/Al-AlOx/Nb Josephson Junctions in Single Flux Quantum Circuit Applications   2017国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying ，Wei Xiong, Yu Wu，Guanqun Li , Jie Ren, Wei Peng, and Zhen Wang   2017-06-15
（5）Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junction for Large Scale Integrated Digital Circuits   2016应用超导会议(ASC)   Liliang Ying*, Wei Xiong, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang   2016-09-06
（6）Fabrication and measurements of Nb/Al-AlOx/Nb tunnel junctions and DC SQUID   2015应用超导与电磁装置技术国际学术会议(ASEMD)   Wei Xiong, Liliang Ying, Hai Wang, Guofeng Zhang, Zhen Wang   2015-11-22
（7）Development of NbAl-AlOxNb Tunnel Junctions for DC SQUID Magnetometers   2015国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying, Wei Xiong,Hai Wang, Guofeng Zhang, Wei Peng, Xiangyan Kong, Xiaoming Xie, Zhen Wang   2015-07-08
（8）Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014应用超导会议(ASC)   应利良   2014-08-12
（9）Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014 SIMIT-NICT研讨会   应利良   2014-03-04
（10）约瑟夫森结中 Nb 膜表面阳极氧化层的研究及应用   第 12 届全国全国超导学术研讨会   应利良   2013-07-30