080402-测试计量技术及仪器

微纳光学加工和测试技术

2012-09--2017-06   中国科学院光电技术研究所   博士
2008-09--2012-06   南京理工大学   学士

   

2020-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-07~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-03~2017-06,中国学科院光电技术研究所, 研究实习员

   

（ 1 ） 一种非接触自动中心对准套刻投影光刻机, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111025855A
（ 2 ） 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103837966B
（ 3 ） 一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103837967B
（ 4 ） 一种点阵激光器的双远心成像系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104375264B
（ 5 ） 一种宽波段光纤-CCD耦合成像镜头, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN104360457B
（ 6 ） 一种有限元仿真分析中的轴承简化方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104239654B
（ 7 ） 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105259739B
（ 8 ） 一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105242500B
（ 9 ） 一种适用于无掩模数字光刻的邻近效应校正方法, 发明, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110456609B
（ 10 ） 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN104537182B
（ 11 ） 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN105259739B

   

（1） Intensity modulation based optical proximity optimization for the maskless lithography, Optics express, 2020, 通讯作者
（2） Dose-modulated maskless lithography for the efficient fabrication of compound eyes with enlarged field-of-view, IEEE Photonics Journal, 2020, 通讯作者
（3） Large range nano alignment for proximity lithography using complex grating, Optics & Laser Technology, 2019, 第 2 作者
（4） Spatial Modulation-Assisted Scanning White-Light Interferometry for Noise Suppression, Photonics Technology Letters, 2017, 第 2 作者
（5） The Anomaly of Periodicity Doubling in Projection Photolithography of Periodic Features, Photonics Technology Letters, 2016, 第 1 作者
（6） Depth-of-focus determination for Talbot lithography of large-scale free-standing periodic features, Photonics Technology Letters, 2016, 第 2 作者
（7） Spectrum-integral Talbot effect for UV photolithography with extended DOF, Photonics Technology Letters, 2015, 第 1 作者

   

（ 1 ） 二次谐波非线性自成像效应的高分辨光刻机理及工艺研究, 主持, 国家级, 2017-01--2019-12
（ 2 ） 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家级, 2012-01--2018-10
（ 3 ） 基于空域、时域联合调制的微纳器件三维形貌检测方法及技术研究, 主持, 省级, 2018-01--2021-07
（ 4 ） 超大面积中紫外高分辨直接光刻设备研制, 主持, 省级, 2018-01--2021-12
（ 5 ） 中科院西部青年学者项目——类三维光场扫描微立体光刻方法研究, 主持, 部委级, 2018-01--2020-12
（ 6 ） 亚微米紫外投影光刻设备研制, 主持, 省级, 2018-01--2021-12

   

孙海峰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  第一导师：胡松

刘江辉  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  第一导师：胡松