基本信息
李海亮  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: lihailiang@ime.ac.cn
通信地址: 北京朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

研究领域

先进光刻器件,微纳加工技术

招生信息

光学,物理,半导体物理

招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程
招生方向
微纳加工,衍射光学元件

教育背景

2014-07--2018-01   中国科学院微电子研究所   获博士学位
学历

研究生

学位
博士

工作经历

   
工作简历
2018-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 新型存储器件及集成研究, 院级, 2018
专利成果
[1] 谢常青, 胡华奎, 李海亮, 曹富林, 姚楚豪. 一种正弦光栅的制备方法. CN: CN113064227A, 2021-07-02.
[2] 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 朱效立, 谢常青, 叶甜春. 图形化装置及其使用方法. CN: CN109244002A, 2019-01-18.
[3] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 王冠亚, 李海亮, 刘明. 一种相位型衍射光栅. CN: CN109212641A, 2019-01-15.
[4] 刘子维, 史丽娜, 浦探超, 牛洁斌, 李海亮, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法. CN: CN109160483A, 2019-01-08.
[5] 朱效立, 谢常青, 华一磊, 李海亮, 刘明, 施百龄. 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层. CN: CN107385486A, 2017-11-24.
[6] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 刘明. 一种极紫外高级抑制衍射光栅. CN: CN107045156A, 2017-08-15.
[7] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 王冠亚, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅. CN: CN106959482A, 2017-07-18.
[8] 史丽娜, 牛洁斌, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 谢常青, 刘明. 一种衍射光栅. CN: CN106772732A, 2017-05-31.
[9] 刘明, 赵盛杰, 牛洁斌, 李海亮, 胡媛, 张凯平, 张培文, 路程, 刘宇. 一种托盘及其加工工艺. CN: CN106754247A, 2017-05-31.
[10] 浦探超, 刘子维, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种极紫外单级衍射光栅. CN: CN106646710A, 2017-05-10.
[11] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106597588A, 2017-04-26.
[12] 史丽娜, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106094086A, 2016-11-09.
[13] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种单级衍射光栅. CN: CN106094087A, 2016-11-09.
[14] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 大高宽比纳米级金属结构的制作方法. CN: CN106094445A, 2016-11-09.
[15] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅. CN: CN106094084A, 2016-11-09.
[16] 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 刘明. 基于导波共振的传感器及传感器测试系统. CN: CN105044029A, 2015-11-11.
[17] 牛洁斌, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 龙世兵, 王冠亚, 张建宏, 李海亮, 史丽娜, 朱效立. 电子束光刻对准标记在芯片上的布局. CN: CN104932212A, 2015-09-23.
[18] 谢常青, 付杰, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法. CN: CN104176943A, 2014-12-03.
[19] 谢常青, 洪梅华, 史丽娜, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法. CN: CN103543128A, 2014-01-29.
[20] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. CN: CN103424985A, 2013-12-04.
[21] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立, 王子欧. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. CN: CN103365073A, 2013-10-23.
[22] 史丽娜, 杜宇禅, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 李冬梅, 刘明. 基于导波共振的传感器及其制备方法. CN: CN103245635A, 2013-08-14.
[23] 李海亮, 谢常青, 刘明, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅. 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法. CN: CN103163726A, 2013-06-19.
[24] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统. CN: CN103105378A, 2013-05-15.
[25] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体共振样品台及其制备方法. CN: CN103018167A, 2013-04-03.
[26] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 光子筛及其制作方法. CN: CN103018808A, 2013-04-03.
[27] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体增强对称结构及其制备方法. CN: CN103018800A, 2013-04-03.
[28] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 史丽娜, 朱效立. 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法. CN: CN103018806A, 2013-04-03.
[29] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法. CN: CN102954950A, 2013-03-06.
[30] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法. CN: CN102798615A, 2012-11-28.
[31] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种偶次级透射光栅. CN: CN102736152A, 2012-10-17.
[32] 李海亮, 谢常青, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法. CN: CN102683167A, 2012-09-19.
[33] 李海亮, 谢常青, 牛洁斌, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法. CN: CN102681335A, 2012-09-19.
[34] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 史丽娜. 制备大高宽比衍射光学元件的方法. CN: CN102608863A, 2012-07-25.
[35] 谢常青, 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 刘明. 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法. CN: CN102466967A, 2012-05-23.
[36] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 刘明. 基于电子束光刻和X射线曝光制作多层膜闪耀光栅的方法. CN: CN102466980A, 2012-05-23.
[37] 谢常青, 高南, 华一磊, 朱效立, 李海亮, 史丽娜, 李冬梅, 刘明. 复合光子筛投影式光刻系统. CN: CN102289157A, 2011-12-21.

出版信息

   
发表论文
[1] Yao, Chuhao, Li, Hailiang. Design and fabrication of wafer-scale highly uniform silicon nanowire arrays by metal-assisted chemical etching for antireflection film. RESULTSINPHYSICS[J]. 2021, [2] Zhao, Yue, Zhang, Kaiping, Li, Hailiang, Xie, Changqing. Fabrication and Characterization of Inverted Silicon Pyramidal Arrays with Randomly Distributed Nanoholes. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(8): http://dx.doi.org/10.3390/mi12080931.
[3] Zhou, Shaolin, Chen, Shanri, Wu, Yufei, Liao, Shaowei, Li, Hailiang, Xie, Changqing, Chan, Mansun. Bistable active spectral tuning of one-dimensional nanophotonic crystal by phase change. OPTICS EXPRESS[J]. 2020, 28(6): 8341-8349, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000522511600049.
[4] Tang, Feng, Ye, Xin, Li, Qingzhi, Li, Hailiang, Yu, Haichao, Wu, Weidong, Li, Bo, Zheng, Wanguo. Quadratic Meta-Reflectors Made of HfO(2)Nanopillars with a Large Field of View at Infrared Wavelengths. NANOMATERIALS[J]. 2020, 10(6): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000552473600001.
[5] Li, Hailiang, Xie, Changqing. Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (> 420:1) Al2O3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching. MICROMACHINES[J]. 2020, 11(4): http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000531830000040.
[6] Yi, Zao, Li, Jiakun, Lin, Jiangchuan, Qin, Feng, Chen, Xifang, Yao, Weitang, Liu, Zhimin, Cheng, Shubo, Wu, Pinghui, Li, Hailiang. Broadband polarization-insensitive and wide-angle solar energy absorber based on tungsten ring-disc array. NANOSCALE[J]. 2020, 12(45): 23077-23083, http://dx.doi.org/10.1039/d0nr04502k.
[7] Hailiang Li, Changqing Xie. Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (>420:1) Al 2 O 3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching. MICROMACHINES. 2020, 11(4): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7230905/.
[8] Qin, Feng, Chen, Xifang, Yi, Zao, Yao, Weitang, Yang, Hua, Tang, Yongjian, Yi, Yong, Li, Hailiang, Yi, Yougen. Ultra-broadband and wide-angle perfect solar absorber based on TiN nanodisk and Ti thin film structure. SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS[J]. 2020, 211: http://dx.doi.org/10.1016/j.solmat.2020.110535.
[9] Wang, Enliang, Niu, Jiebin, Liang, Yonghao, Li, HaiLiang, Hua, Yilei, Shi, Lina, Xie, Changqing. Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields. ADVANCED OPTICAL MATERIALS[J]. 2020, 8(6): http://dx.doi.org/10.1002/adom.201901674.
[10] Shang, Sihui, Tang, Feng, Ye, Xin, Li, Qingzhi, Li, Hailiang, Wu, Jingjun, Wu, Yiman, Chen, Jun, Zhang, Zhihong, Yang, Yuanjie, Zheng, Wanguo. High-Efficiency Metasurfaces with 2 pi Phase Control Based on Aperiodic Dielectric Nanoarrays. NANOMATERIALS[J]. 2020, 10(2): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000522456300069.
[11] Li, Hailiang, Niu, Jiebin, Zhang, Congfen, Niu, Gao, Ye, Xin, Xie, Changqing. Ultra-Broadband High-Efficiency Solar Absorber Based on Double-Size Cross-Shaped Refractory Metals. NANOMATERIALS[J]. 2020, 10(3): https://doaj.org/article/c26934c9ede946f08afcc4fd17474894.
[12] Li, Hailiang, Niu, Jiebin, Wang, Guanya. Dual-band, polarization-insensitive metamaterial perfect absorber based on monolayer graphene in the mid-infrared range. RESULTS IN PHYSICS[J]. 2019, 13: 102313-, http://dx.doi.org/10.1016/j.rinp.2019.102313.
[13] Li, Hailiang, Wang, Guanya, Niu, Jiebin, Wang, Enliang, Niu, Gao, Xie, Changqing. Preparation of TiO2 nanotube arrays with efficient photocatalytic performance and super-hydrophilic properties utilizing anodized voltage method. RESULTS IN PHYSICS[J]. 2019, 14: 102499-, http://dx.doi.org/10.1016/j.rinp.2019.102499.
[14] Li, Hailiang, Niu, Jiebin, Wang, Guanya, Wang, Enliang, Xie, Changqing. Direct Production of Silicon Nanostructures with Electrochemical Nanoimprinting. ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS[J]. 2019, 1(7): 1070-1075, [15] Liang, Yonghao, Wang, Enliang, Li, Hailiang, Xie, Changqing. Tailoring focused optical vortices by using spiral forked plates. OPTICS LETTERS[J]. 2019, 44(4): 935-938, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000458786800054.
[16] Wang, Enliong, Shi, Lino, Niu, Jiebin, Hua, Yilei, Li, Hailiang, Zhu, Xiaoli, Xie, Chongqing, Ye, Tianchun. Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments. ADVANCED OPTICAL MATERIALS[J]. 2019, 7(8): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000465160400006.
[17] Wang, Enliang, Liang, Yonghao, Li, Hailiang, Xie, Changqing. Composited holograms for the generation of cylindrical optical lattices and flower modes. APPLIED OPTICS[J]. 2018, 57(16): 4633-4638, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000433959100039.
[18] Li Hailiang, Zhu Xiaoli, Xie Changqing. Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings. J. MICRO/NANOLITH. MEMS MOEMS[J]. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18137.
[19] 李海亮, 谢常青, 王冠亚, 牛洁斌, 史丽娜. 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试. 光学精密工程[J]. 2017, 25(11): 2803-2809, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7000410008.
[20] Li, Hailiang, Shi, Lina, Wei, Lai, Xie, Changqing, Cao, Leifeng. Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2017, 110(4): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000392837300004.
[21] Li Hailiang, Shi Lina, Ye Tianchun, Xie Changqing. Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching. J. MICROMECH. MICROENG[J]. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18135.
[22] Li, Hailiang, Ye, Tianchun, Shi, Lina, Xie, Changqing. Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING[J]. 2017, 27(12): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000415860000001.
[23] 牛洁斌, 李海亮, 谢常青, 浦探超, 史丽娜, 刘子维. High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array. PHOTOPTICSnull. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18284.
[24] 浦探超, 刘子维, 李海亮, 史丽娜, 谢常青, 高南. The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18286.
[25] Gao, Nan, Li, Hailiang, Zhu, Xiaoli, Hua, Yilei, Xie, Changqing. Quasi-periodic gratings: diffraction orders accelerate along curves. OPTICS LETTERS[J]. 2013, 38(15): 2829-2831, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092006.
[26] Xie, Changqing, Zhu, Xiaoli, Li, Hailiang, Niu, Jiebin, Hua, Yilei, Shi, Lina. Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications. OPTICAL ENGINEERING[J]. 2013, 52(3): http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1092003.
[27] Xie, Changqing, Zhu, Xiaoli, Li, Hailiang, Shi, Lina, Hua, Yilei, Liu, Ming. Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves. OPTICS LETTERS[J]. 2012, 37(4): 749-751, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000300706500102.
[28] Shi, Lina, Li, Hailiang, Du, Yuchan, Xie, Changqing. Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films. JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS[J]. 2012, 29(12): 3377-3385, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000311990300025.
[29] 李海亮, 马杰, 朱效立, 吴坚, 谢常青, 陈宝钦, 刘明. 33331/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试. 微纳电子技术[J]. 2010, 47(3): 174-178, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=33068232.
[30] Xie, Changqing, Zhu, Xiaoli, Li, Hailiang, Shi, Lina, Wang, Yanhua. Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves. OPTICS LETTERS[J]. 2010, 35(23): 4048-4050, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000284832200064.
[31] 马杰, 曹磊峰, 谢常青, 吴璇, 李海亮, 朱效立, 刘明, 陈宝钦, 叶甜春. 带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作. 光电工程[J]. 2009, 36(10): 30-34, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=31864814.
[32] 李海亮. 极紫外光刻掩模及元件制造关键技术研究. 

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于双面两步金属催化化学腐蚀法的穿透、超高深宽比功能微结构阵列加工基础研究, 主持, 国家级, 2019-01--2021-12
( 2 ) “水窗”波段高分辨率X射线波带片, 主持, 市地级, 2016-06--2018-05
( 3 ) DUV光栅测试掩模版研制, 主持, 院级, 2018-01--2019-12
( 4 ) 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家级, 2009-06--2016-12
( 5 ) 亚光波长微分干涉相衬光子筛, 参与, 国家级, 2012-10--2017-12
( 6 ) 基于脉冲反向函数的电化学沉积, 参与, 国家级, 2017-11--2022-12

指导学生

现指导学生

孙小凡  硕士研究生  085400-电子信息  

姚昊  硕士研究生  085400-电子信息