080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学

光刻技术，光电探测

2007-09--2010-04   长春理工大学   获得硕士学位
2003-09--2007-08   长春理工大学   获得学士学位

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2018-07~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师
2012-07~2018-07,中国科学院光电研究院, 工程师
2010-04~2012-06,中国科学院光电研究院, 助理工程师
2007-09~2010-04,长春理工大学, 获得硕士学位
2003-09~2007-08,长春理工大学, 获得学士学位

   

（ 1 ） 光学系统主光轴的调试方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114397762A

（ 2 ） 用于光学系统调焦调平的检测装置及方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114383822A

（ 3 ） 多干涉仪组合应用安装调整装置, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN114088215A

（ 4 ） 六自由度调整装置, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114047590A

（ 5 ） 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2021, 第 7 作者, 专利号: CN110927880B

（ 6 ） 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN112394531A

（ 7 ） 一种衍射光栅结构及其制备方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111580206A

（ 8 ） 高稳定低串扰分束装置, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN110927983A

（ 9 ） 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN209483926U

（ 10 ） 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A

（ 11 ） 一种减振装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110081117A

（ 12 ） 一种活动密封装置, 2019, 第 9 作者, 专利号: CN110067493A

（ 13 ） 一种气浴装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110068122A

（ 14 ） 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置, 2019, 第 10 作者, 专利号: CN110031027A

（ 15 ） 一种穿板密封装置, 2019, 第 11 作者, 专利号: CN110030436A

（ 16 ） 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108803248A

（ 17 ） 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076920U

（ 18 ） 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208076921U

（ 19 ） 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN208026629U

（ 20 ） 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108681212A

（ 21 ） 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN207965338U

（ 22 ） 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108508709A

（ 23 ） 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108227150A

（ 24 ） 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108195799A

（ 25 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN207050670U

（ 26 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206990194U

（ 27 ） 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U

（ 28 ） 一种微位移测量装置, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN206905706U

（ 29 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN206862290U

（ 30 ） 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107421448A

（ 31 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107179052A

（ 32 ） 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107144419A

（ 33 ） 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN107131855A

（ 34 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206440452U

（ 35 ） 一种深紫外光学系统共焦对准装置, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206363009U

（ 36 ） 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN206269927U

（ 37 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106768886A

（ 38 ） 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106705886A

（ 39 ） 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106644107A

（ 40 ） 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106646867A

（ 41 ） 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN205826946U

（ 42 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105973809A

（ 43 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN204788651U

（ 44 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2015, 第 7 作者, 专利号: CN104913843A

（ 45 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104375385A

（ 46 ） 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104345429A

（ 47 ） 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104337492A

（ 48 ） 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN204008073U

（ 49 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104101487A

（ 50 ） 用于摄像适配器的光机结构, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203873725U

（ 51 ） 摄像适配器光学系统, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN203882001U

（ 52 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN203882092U

（ 53 ） 投影物镜波像差在线检测装置, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN203133474U

（ 54 ） 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103076724A

   

（1） 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计, Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region, 半导体光电, 2020, 第 7 作者
（2） Design of digital light processing mini-projection lens, 9TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGIES, 2019, 
（3） 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, 中国激光, 2019, 第 4 作者
（4） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 第 4 作者
（5） Confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIX, 2016, 
（6） 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 4 作者
（7） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: OPTICAL TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT, 2014, 
（8） 激光雷达测距系统中滤光片的制备, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, 红外与激光工程, 2010, 第 3 作者
（9） 激光雷达测距系统中滤光片的制备（英文）, Fabrication of filter film using in lidar ranging system, INFRARED AND LASER ENGINEERING, 2010, 
（10） 中小口径双非球面数控抛光技术研究, Computer controlled polishing for middle or small double-sided aspheric lens, 应用光学, 2009, 第 3 作者
（11） ZF6重火石玻璃非球面数控加工技术的研究, Investigation on the computer controlled fabrication of ZF6 dense flint glass aspheric surface, 光学仪器, 2009, 第 1 作者

   

（ 1 ） 投影曝光系统性能检测与评估, 负责人, 国家任务, 2009-07--2021-05
（ 2 ） 14nm浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2022-12
（ 3 ） 照明系统接口及光路设计方案研究, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-08
（ 4 ） 大尺寸FCBGA封装材料验证方案研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12