基本信息
侯煜  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: houyu@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
激光微米纳米加工,光场调控,纳米测量

教育背景

2011-10--2016-06   英国贝德福特大学   博士学位
2009-09--2012-04   长春理工大学   硕士学位
2005-09--2009-06   长春理工大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2019-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2016-09~2019-03,中国科学院微电子研究所, 博士后/助理研究员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 激光微米纳米加工技术及其专用设备的应用, 一等奖, 其他, 2021
专利成果
( 1 ) 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112904601A

( 2 ) 一种裂片装置, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112847853A

( 3 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 专利授权, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN109738975B

( 4 ) 一种法诺共振光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 专利授权, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN108226098B

( 5 ) 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109738975A

( 6 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107252982B

( 7 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN107378255B

( 8 ) 一种激光加工晶圆的方法及系统, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN107378258B

( 9 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107685196A

( 10 ) 一种光学氢气传感器及其制备方法和应用系统, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108169185A

( 11 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107234343A

( 12 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107214419A

( 13 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107214418A

( 14 ) 一种激光加工晶圆的装置及方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107433396A

( 15 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107252981A

( 16 ) 一种激光加工晶圆的控制方法及系统, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107239088A

( 17 ) 一种激光加工晶圆的方法及装置, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107214420A

出版信息

   
发表论文
[1] 盛渤轩, 侯煜, 张帆, 张昆鹏, 张喆, 张紫辰. 飞秒激光加工快速测高随动方法研究. 激光与红外[J]. 2022, 52(5): 641-645, [2] 李曼, 彭川, 冯晨, 侯煜, 宋琦, 石海燕, 王秋明, 张紫辰. Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制. 电子产品可靠性与环境试验[J]. 2022, 40(4): 17-23, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107883761.
[3] Wen, Zhidong, Shi, Haiyan, Yue, Song, Li, Man, Zhang, Zhe, Wang, Ran, Song, Qi, Xu, Ziye, Zhang, Zichen, Hou, Yu. Large-Scale Black Silicon Induced by Femtosecond Laser Assisted With Laser Cleaning. FRONTIERS IN PHYSICS[J]. 2022, 10: http://dx.doi.org/10.3389/fphy.2022.862605.
[4] Guo, Huifang, Yue, Song, Wang, Ran, Hou, Yu, Li, Man, Zhang, Kunpeng, Zhang, Zichen. Design of Polarization-Independent Reflective Metalens in the Ultraviolet-Visible Wavelength Region. NANOMATERIALS[J]. 2021, 11(5): http://dx.doi.org/10.3390/nano11051243.
[5] Zhe Zhang, Zhidong Wen, Haiyan Shi, Qi Song, Ziye Xu, Man Li, Yu Hou, Zichen Zhang, Aiqun Liu. Dual Laser Beam Asynchronous Dicing of 4H-SiC Wafer. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(11): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC8621418/.
[6] 李曼, 彭川, 冯晨, 王然, 侯煜, 岳嵩, 张紫辰. 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制. 电子产品可靠性与环境试验[J]. 2020, 38(4): 98-102, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102668929.
[7] Yue, Song, Hou, Maojing, Wang, Ran, Guo, Huifang, Hou, Yu, Li, Man, Zhang, Zhe, Wang, Yu, Zhang, Zichen. Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials. OPTICS EXPRESS[J]. 2020, 28(21): 31844-31861, http://dx.doi.org/10.1364/OE.403551.
[8] Wang, R, Yue, S, Hou, Y, Liu, S, Li, M, Zhang, Z, IOP. A carpet cloak based on gradient metasurfaces. 20TH ANNUAL CONFERENCE AND 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE OF CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECHNOLOGYnull. 2019, 1209: [9] 李家发, 曹立雅, 张紫辰, 侯煜. 用于InSb探测器芯片的激光划片工艺方案简析. 红外[J]. 2018, 39(12): 16-19, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001035812.
[10] Yue, Song, Liu, Song, Hou, Yu, Zhang, Zichen. Tailorable chiral optical response through coupling among plasmonic meta-atoms with distinct shapes. OPTICS LETTERS[J]. 2018, 43(5): 1111-1114, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000427415100038.
[11] Hou, Yu, Wang, Zuobin, Li, Dayou, Qiu, Renxi, Li, Yan, Jiang, Jinlan. Cellular Shear Adhesion Force Measurement and Simultaneous Imaging by Atomic Force Microscope. JOURNAL OF MEDICAL AND BIOLOGICAL ENGINEERING[J]. 2017, 37(1): 102-111, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000395053000011.
[12] Hou, Yu, Wang, Zuobin, Hu, Yaowei, Li, Dayou, Qiu, Renxi. Capture and sorting of multiple cells by polarization-controlled three-beam interference. JOURNAL OF OPTICS[J]. 2016, 18(3): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000375750000021.
[13] 侯煜, \\胡贞, \\王作斌, \\翁占坤. 应用于大面积光刻的激光图案检测系统. 中国科技论文[J]. 2015, 10(8): 948-951, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=664858245.
[14] Lei Yinbao, Wang Zuobin, Xu Jia, Zhang Jinjin, Wang Dapeng, Hou Yu, Yue Yong, Li Dayou, Eichhorn V, Xie H, Liu R, Yu M. Determination of Two-Dimensional Phase Shifts in Three-Beam Laser Interference Patterns. 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO)null. 2012, 9-13,